公开(公告)号：US20060039005A1

公开(公告)日：2006-02-23

申请号：US10900529

申请日：2004-07-28

申请人： Kevin Fine ,  Greg Felix ,  John Bockman ,  Douglas Woolverton

发明人： Kevin Fine ,  Greg Felix ,  John Bockman ,  Douglas Woolverton

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01J9/0215 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02051 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261

摘要： An interferometer system includes a rhomboid assembly having a first optical stack and a second optical stack mounted on the first stack. The first stack includes a first prism having an angled face mounted to an angled face of a second prism. The interface between these angled faces includes a first polarizing beam-splitter. The second stack includes a third prism having an angled face mounted to an angled face of the fourth prism. The interface between these angled faces includes a second polarizing beam-splitter. First, second, third, and fourth wave plate elements are located in beam paths between the rhomboid assembly and at least one of a measurement optic and a reference optic. A redirecting optic is located at least adjacent to the vertical faces of the first and the third prisms.

摘要翻译： 干涉仪系统包括具有安装在第一堆叠上的第一光学堆叠和第二光学堆叠的菱形组件。 第一堆叠包括具有安装到第二棱镜的倾斜面的倾斜面的第一棱镜。 这些倾斜面之间的界面包括第一偏振分束器。 第二堆叠包括具有安装到第四棱镜的倾斜面的成角度的第三棱镜。 这些倾斜面之间的界面包括第二偏振分束器。 第一，第二，第三和第四波片元件位于菱形组件与测量光学元件和参考光学元件中的至少一个之间的光束路径中。 重定向光学器件至少邻近第一和第三棱镜的垂直面定位。

公开(公告)号：US20070109552A1

公开(公告)日：2007-05-17

申请号：US11266542

申请日：2005-11-03

申请人： Greg Felix ,  John Bockman

发明人： Greg Felix ,  John Bockman

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01B9/02051 ,  G01B9/02007 ,  G01B2290/15 ,  G01B2290/70 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70775

摘要： An optical interferometer includes a monolithic optical element.

摘要翻译： 光学干涉仪包括单片光学元件。

公开(公告)号：US20070024976A1

公开(公告)日：2007-02-01

申请号：US11195545

申请日：2005-08-01

申请人： W. Schluchter ,  Ron Bevis ,  John Bockman ,  Greg Felix ,  Terry Riener

发明人： W. Schluchter ,  Ron Bevis ,  John Bockman ,  Greg Felix ,  Terry Riener

IPC分类号： G02B27/28

CPC分类号： G02B27/285 ,  G02B5/305

摘要： A beam distribution apparatus includes a stack of parallelogram prisms and beam-splitting coatings each located between opposing parallel faces of adjacent parallelogram prisms. The stack is mounted on an entrance face of a triangular prism. The triangular prism includes the entrance face, a reflective face, and an exit face. The reflective face has optical surfaces for shaping output beams from the stack and reflecting the output beams through the exit face. A beam distribution apparatus includes a stack of parallelogram prisms and beam-splitting coatings each located between opposing parallel faces of adjacent parallelogram prisms in the stack. The beam-splitting coatings transmit light of a first polarization and reflect a portion of light of a second polarization. The apparatus further includes retardation plates each mounted on a face of a parallelogram prism adjacent to a beam-splitting coating, and corrective reflective optics for shaping output beams each mounted on a retardation plate.

摘要翻译： 光束分配装置包括平行四边形棱镜和分束涂层的叠层，每个位于相邻的平行四边形棱镜的相对的平行面之间。 堆叠安装在三角棱镜的入射面上。 三角棱镜包括入射面，反射面和出射面。 反射面具有光学表面，用于对来自堆叠的输出光束进行整形，并将输出光束反射通过出射面。 光束分配装置包括平行四边形棱镜和分束涂层的堆叠，每个层叠位于堆叠中的相邻平行四边形棱镜的相对的平行面之间。 分束涂层透射第一偏振光并反射第二偏振光的一部分。 该装置还包括各自安装在与分束涂层相邻的平行四边形棱镜的表面上的延迟板，以及校正反射光学器件，用于对每个安装在延迟板上的输出光束进行整形。

公开(公告)号：US20050128589A1

公开(公告)日：2005-06-16

申请号：US10734990

申请日：2003-12-11

申请人： Lawrence Lee ,  John Bockman

发明人： Lawrence Lee ,  John Bockman

IPC分类号： G01B9/02 ,  G02B5/122 ,  G02B5/30 ,  G02B27/28

CPC分类号： G01B9/02019 ,  G01B9/02058 ,  G01B2290/15 ,  G01B2290/70 ,  G02B5/122

摘要： A phase-compensating cube corner retroreflector includes three rear reflecting surfaces. The first and the third rear reflecting surfaces can be coated with a phase-compensating film stack that induces 2nπ phase difference upon reflection, where n is an integer including 0. Alternatively, all three rear reflecting surfaces can be coated with a phase-compensating film stack that induces nπ phase difference when handling linearly polarized light, or 2nπ phase difference when handling linearly or circularly polarized light. So coated, the phase-compensating cube corner preserves the polarization orientation and ellipticity of the incident light. Such a phase-compensating cube corner can be used to improve the accuracy of distance-measuring interferometers. The cube corner directs light to and from other optical elements, including a polarizing beam-splitters, mirrors, and quarter-wave plates.

摘要翻译： 相位补偿立方角后向反射器包括三个后反射面。 第一和第三后反射表面可以涂覆有相位补偿膜叠层，其在反射时引起2npi相位差，其中n是包括0的整数。或者，所有三个后反射表面可以涂覆有相位补偿膜 当处理线性偏振光时，会产生npi相位差，或者在处理线性偏振光或圆偏振光时产生2npi相位差。 如此涂层，相位补偿立方角保留入射光的偏振方向和椭圆度。 这种相位补偿立体角可用于提高距离测量干涉仪的精度。 立体角将光线引导到其他光学元件上，包括偏振光束分离器，反射镜和四分之一波片。

公开(公告)号：US20050264823A1

公开(公告)日：2005-12-01

申请号：US10856204

申请日：2004-05-28

申请人： Miao Zhu ,  John Bockman

发明人： Miao Zhu ,  John Bockman

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01V8/14 ,  G02B5/04

CPC分类号： G01B9/02019 ,  G01B9/02045 ,  G01B9/02059 ,  G01B2290/15 ,  G01B2290/70

摘要： Measurement systems that separate polarization components can use retroreflectors to preserve or transform polarization and avoid unwanted mixing of the polarization components. A suitable retroreflector can include a coated cube corner reflector with retardation plates having a slow axis set at a non-zero angle away from 45° with the directions of linearly polarized component beam. The non-zero angle can be set in situ to minimize polarization mixing in a measurement system. Alternatively, a cube corner reflector with one or more polarization manipulating elements controls the polarization of a reflected beam to preserve or transform the polarization of an incident beam.

摘要翻译： 分离偏振分量的测量系统可以使用后向反射器来保留或转换偏振，并避免偏振分量的不期望的混合。 合适的后向反射器可以包括具有延迟板的涂覆的立体角反射器，其具有以与线偏振分量光束的方向成45°的非零角度设定的慢轴。 可以在原位设置非零角度，以使测量系统中的极化混合最小化。 或者，具有一个或多个偏振操纵元件的立体角反射器控制反射光束的偏振，以保持或变换入射光束的偏振。

公开(公告)号：US20060262402A1

公开(公告)日：2006-11-23

申请号：US11492285

申请日：2006-07-24

申请人： Lawrence Lee ,  John Bockman

发明人： Lawrence Lee ,  John Bockman

IPC分类号： G02B5/122

CPC分类号： G01B9/02019 ,  G01B9/02058 ,  G01B2290/15 ,  G01B2290/70 ,  G02B5/122

摘要： A phase-compensating cube corner retroreflector includes three rear reflecting surfaces. All three rear reflecting surfaces can be coated with a phase-compensating film stack that induces 2nπ phase difference when handling polarized light. So coated, the phase-compensating cube corner preserves the polarization orientation and ellipticity of the incident light. Such a phase-compensating cube corner can be used to improve the accuracy of distance-measuring interferometers. The cube corner directs light to and from other optical elements, including a polarizing beam-splitters, mirrors, and quarter-wave plates.

摘要翻译： 相位补偿立方角后向反射器包括三个后反射面。 所有三个后反射表面都可以涂覆相位补偿薄膜叠层，在处理偏振光时会产生2npi的相位差。 如此涂层，相位补偿立方角保留入射光的偏振方向和椭圆度。 这种相位补偿立体角可用于提高距离测量干涉仪的精度。 立体角将光线引导到其他光学元件上，包括偏振光束分离器，反射镜和四分之一波片。

公开(公告)号：US20050264822A1

公开(公告)日：2005-12-01

申请号：US10857053

申请日：2004-05-28

申请人： John Bockman ,  Ludmila Golyanskaya ,  Kenneth Wayne ,  Miao Zhu

发明人： John Bockman ,  Ludmila Golyanskaya ,  Kenneth Wayne ,  Miao Zhu

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01J9/02 ,  G02B7/00

CPC分类号： G01B9/02057 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02049 ,  G01B9/02072 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261 ,  G02B7/006

摘要： An interferometer system includes a plane mirror interferometer, a turning mirror, a retardation plate assembly having a retardation plate that can be adjusted and then fixed, and a retroreflector. A light beam travels in a path comprising the plane mirror interferometer, the turning mirror, the retardation plate assembly, and the retroreflector. The retardation plate assembly may include a plurality of bearings, a ring riding on the bearings, the retardation plate mounted to the ring, and a plunger pushing the ring against the bearings. The retardation plate may be fixed by adhesive after determining an orientation that produces little polarization leakage in the system.

摘要翻译： 干涉仪系统包括平面镜干涉仪，转向镜，具有能够被调整然后固定的延迟板的相位差板组件和后向反射器。 光束在包括平面镜干涉仪，转向镜，延迟板组件和后向反射器的路径中行进。 延迟板组件可以包括多个轴承，骑在轴承上的环，安装到环上的相位差板和将环推到轴承上的柱塞。 在确定在系统中几乎不产生极化泄漏的取向之后，可以通过粘合剂固定延迟板。