公开(公告)号：US20100067653A1

公开(公告)日：2010-03-18

申请号：US12625336

申请日：2009-11-24

申请人： Marco Wedowski ,  Markus Weiss ,  Stephan Mûllender ,  Johann Trenkler ,  Hartmut Enkisch ,  Gisela Sipos ,  H.A. van Mierlo ,  Michiel David Nijkerk ,  Fokko Pieter Wieringa ,  Nadyeh Shariloo

发明人： Marco Wedowski ,  Markus Weiss ,  Stephan Mûllender ,  Johann Trenkler ,  Hartmut Enkisch ,  Gisela Sipos ,  H.A. van Mierlo ,  Michiel David Nijkerk ,  Fokko Pieter Wieringa ,  Nadyeh Shariloo

IPC分类号： G21K1/06 ,  A61N5/06 ,  G01J1/42

CPC分类号： G03F7/70958 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/70316 ,  G03F7/70916 ,  G21K1/00 ,  G21K1/062 ,  G21K2201/067

摘要： An optical element, especially a normal-incidence collector mirror, for radiation in the EUV and/or soft X-ray region of wavelengths is described. The element has a substrate, a multilayer coating with an optically active region, and a capacitor, having a first and a second capacitor electrode. At least one layer of the multilayer coating serves as the first capacitor electrode. At least one dielectric layer is provided between the two capacitor electrodes. Also described is an optical system with at least one optical element, having a first electrode arranged in the vicinity of the optical element.

摘要翻译： 描述了用于EUV和/或波长的软X射线区域中的辐射的光学元件，特别是法向入射收集镜。 元件具有基板，具有光学活性区域的多层涂层和具有第一和第二电容器电极的电容器。 多层涂层的至少一层用作第一电容器电极。 在两个电容器电极之间提供至少一个电介质层。 还描述了具有至少一个光学元件的光学系统，其具有布置在光学元件附近的第一电极。

公开(公告)号：US20070114466A1

公开(公告)日：2007-05-24

申请号：US11439854

申请日：2006-05-24

申请人： Marco Wedowski ,  Markus Weiss ,  Stephan Mullender ,  Johann Trenkler ,  Hartmut Enkisch ,  Gisela Sipos ,  H.A. van Mierlo ,  Michiel Nijkerk ,  Fokko Wieringa ,  Nadyeh Shariloo

发明人： Marco Wedowski ,  Markus Weiss ,  Stephan Mullender ,  Johann Trenkler ,  Hartmut Enkisch ,  Gisela Sipos ,  H.A. van Mierlo ,  Michiel Nijkerk ,  Fokko Wieringa ,  Nadyeh Shariloo

IPC分类号： G01J3/10

CPC分类号： G03F7/70958 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/70316 ,  G03F7/70916 ,  G21K1/00 ,  G21K1/062 ,  G21K2201/067

摘要： An optical element, especially a normal-incidence collector mirror, for radiation in the EUV and/or soft X-ray region of wavelengths is described. The element has a substrate, a multilayer coating with an optically active region, and a capacitor, having a first and a second capacitor electrode. At least one layer of the multilayer coating serves as the first capacitor electrode. At least one dielectric layer is provided between the two capacitor electrodes. Also described is an optical system with at least one optical element, having a first electrode arranged in the vicinity of the optical element.

摘要翻译： 描述了用于EUV和/或波长的软X射线区域中的辐射的光学元件，特别是法向入射收集镜。 元件具有基板，具有光学活性区域的多层涂层和具有第一和第二电容器电极的电容器。 多层涂层的至少一层用作第一电容器电极。 在两个电容器电极之间提供至少一个电介质层。 还描述了具有至少一个光学元件的光学系统，其具有布置在光学元件附近的第一电极。