公开(公告)号：US4656636A

公开(公告)日：1987-04-07

申请号：US810611

申请日：1985-12-23

申请人： Markus-Christian Amann ,  Hans F. Mahlein ,  Bernhard Stegmueller ,  Wolfgang Thulke ,  Gerhard Winzer ,  Ulrich Wolff

发明人： Markus-Christian Amann ,  Hans F. Mahlein ,  Bernhard Stegmueller ,  Wolfgang Thulke ,  Gerhard Winzer ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H01S5/00 ,  H01S5/026 ,  H01S5/10 ,  H01S5/12 ,  H01S5/223 ,  H01S5/323 ,  H01S3/19 ,  B44C1/22 ,  H01L21/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： H01S5/12 ,  H01S5/026 ,  H01S5/1032 ,  H01S5/2231 ,  H01S5/32391

摘要： A method for integrating a DFB laser and a passive strip waveguide on a substrate. A layer stack is produced in a first epitaxy step, the layer stack having a laser-active layer and a surface-wide grating on the uppermost layer, and eroding the stack area-wise, but only down to a layer under the laser-active layer, not down to the substrate, by means of etching to create a step separating the laser region from the passive strip waveguide region. By employing an etching stop layer, the etching can ensue self-adjustingly, and the coupling between the laser-active layer and the passive strip waveguide region occurs not by end coupling, but by surface coupling. Only two epitaxy steps are required for the complete manufacture of the structure, and a strip required for the definition of the laser and of the waveguide can be produced in the same single method step.

摘要翻译： 一种在基板上集成DFB激光器和无源带状波导的方法。 在第一外延步骤中产生层堆叠，层堆叠在最上层具有激光有源层和表面宽光栅，并且在区域上仅侵蚀堆叠，但仅下降到激光活性 层，而不是通过蚀刻来形成将激光区域与无源带状波导区域分离的步骤。 通过使用蚀刻停止层，可以进行自适应的蚀刻，并且激光有源层和无源带状波导区域之间的耦合不是通过端部耦合而是通过表面耦合而发生的。 完全制造结构仅需要两个外延步骤，并且可以在相同的单一方法步骤中制造激光和波导的定义所需的条。

公开(公告)号：US4747649A

公开(公告)日：1988-05-31

申请号：US813954

申请日：1985-12-27

申请人： Jochen Heinen ,  Hans F. Mahlein ,  Reinhard Marz ,  Manfred Plihal ,  Heinrich Schlotterer ,  Gerhard Winzer ,  Ulrich Wolff

发明人： Jochen Heinen ,  Hans F. Mahlein ,  Reinhard Marz ,  Manfred Plihal ,  Heinrich Schlotterer ,  Gerhard Winzer ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： G02B6/12 ,  G02B6/34 ,  G02B6/42 ,  H01L31/102 ,  G02B6/10

CPC分类号： G02B6/12007 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/42 ,  G02B6/4246 ,  H01L31/102

摘要： A monolithically integrated WDM demultiplex module has a film wave guide of InGaAsP fashioned on a substrate, a photodiode of InGaAs being applied to the film wave guide. The photodiode is optically coupled to the film wave guide by a leakage coupling. A wavelength selection element in the form of a grating is provided in the surface of the film wave guide. The module can be manufactured with a single epitaxial step. Structures for increasing the crosstalk attenuation of the module and for a better coupling-in of radiation into the module are provided.

摘要翻译： 单片集成WDM解复用模块具有形成在衬底上的InGaAsP的膜波导，将InGaAs的光电二极管应用于膜波导。 光电二极管通过泄漏耦合光耦合到膜波导。 在光波导的表面设置有光栅形式的波长选择元件。 该模块可以用单个外延步骤制造。 提供了用于增加模块的串扰衰减和将辐射更好地耦合到模块中的结构。

公开(公告)号：US07589452B2

公开(公告)日：2009-09-15

申请号：US11574904

申请日：2005-08-18

申请人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rösler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

发明人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rösler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H03H9/25

CPC分类号： H03H9/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/02984

摘要： Elements and methods for forming elements that operate with acoustic waves are disclosed. The element includes a piezoelectric electric substrate that has a first thermal coefficient of expansion, electrically conducting element structures on an upper side of the substrate, a compensation layer on an underside of the substrate, and an SiO2 layer over the element structures.

摘要翻译： 公开了用于形成用声波操作的元件的元件和方法。 元件包括具有第一热膨胀系数的压电基板，在基板的上侧上的导电元件结构，在基板的下侧上的补偿层，以及元件结构上的SiO 2层。

公开(公告)号：US08184845B2

公开(公告)日：2012-05-22

申请号：US11816964

申请日：2006-02-08

申请人： Anton Leidl ,  Wolfgang Pahl ,  Ulrich Wolff

发明人： Anton Leidl ,  Wolfgang Pahl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H04R1/00

CPC分类号： H04R17/02 ,  B81B7/0061 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2207/012 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

摘要： An electrical module includes a base plate having an acoustic channel that opens into a first cavity at a first end and that is closed off by a microphone chip at a second end. The microphone chip borders a second cavity that opens to an exterior of the electrical module. The second cavity is separated from the acoustic channel by the microphone chip.

摘要翻译： 电气模块包括基板，该基板具有在第一端处打开到第一空腔中并且在第二端被麦克风芯片封闭的声学通道。 麦克风芯片接近通向电气模块外部的第二个腔体。 第二腔通过麦克风芯片与声学通道分离。

公开(公告)号：US20090129611A1

公开(公告)日：2009-05-21

申请号：US11816960

申请日：2006-02-08

申请人： Anton Leidl ,  Wolfgang Pahl ,  Ulrich Wolff

发明人： Anton Leidl ,  Wolfgang Pahl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H04R25/00

CPC分类号： H04R17/02

摘要： The invention relates to a microphone membrane (M1) comprising two piezoelectric layers (PS1, PS2) with c-axes oriented in the same direction. A first electroconductive surface (E11) is formed in the central metal layer and subjected to a first electrical potential. The piezoelectric layers (PS1, PS2) are respectively arranged between the central metal layer (ML2) and an outer metal layer (ML1, ML3). In a preferred embodiment, the membrane (M1) has a largely symmetrical structure in terms of the layer sequence and the layer thickness thereof.

摘要翻译： 本发明涉及一种麦克风膜（M1），包括两个压电层（PS1，PS2），其中c轴沿相同的方向定向。 第一导电表面（E11）形成在中心金属层中并经受第一电位。 压电层（PS1，PS2）分别设置在中心金属层（ML2）和外侧金属层（ML1，ML3）之间。 在优选的实施方案中，膜（M1）在层序列及其层厚方面具有很大的对称结构。

公开(公告)号：US20080267431A1

公开(公告)日：2008-10-30

申请号：US11816969

申请日：2006-02-08

申请人： Anton Leidl ,  Wolfgang Pahl ,  Ulrich Wolff

发明人： Anton Leidl ,  Wolfgang Pahl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H04R1/00

CPC分类号： H04R1/2838 ,  H04R1/283 ,  H04R17/02 ,  H04R2201/003

摘要： A microphone includes a first diaphragm and a second diaphragm coupled to the first diaphragm by a closed air volume. The first diaphragm and the second diaphragm each constitutes a piezoelectric diaphragm. The first diaphragm and the second diaphragm are electrically coupled so that movement of the first diaphragm causes movement of the second diaphragm.

摘要翻译： 麦克风包括第一隔膜和第二隔膜，其通过封闭的空气体积与第一隔膜相连。 第一膜片和第二膜片均构成压电膜片。 第一光阑和第二光阑电耦合，使得第一光阑的移动引起第二光阑的移动。

公开(公告)号：US20080247585A1

公开(公告)日：2008-10-09

申请号：US11816964

申请日：2006-02-08

申请人： Anton Leidl ,  Wolfgang Pahl ,  Ulrich Wolff

发明人： Anton Leidl ,  Wolfgang Pahl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H04R17/02 ,  H04R1/22 ,  H04R19/00

CPC分类号： H04R17/02 ,  B81B7/0061 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2207/012 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

摘要： An electrical module includes a base plate having an acoustic channel that opens into a first cavity at a first end and that is closed off by a microphone chip at a second end. The microphone chip borders a second cavity that opens to an exterior of the electrical module. The second cavity is separated from the acoustic channel by the microphone chip.

摘要翻译： 电气模块包括基板，该基板具有在第一端处打开到第一空腔中并且在第二端被麦克风芯片封闭的声学通道。 麦克风芯片接近通向电气模块外部的第二个腔体。 第二腔通过麦克风芯片与声学通道分离。

公开(公告)号：US5706373A

公开(公告)日：1998-01-06

申请号：US196039

申请日：1994-02-14

申请人： Gustav Mueller ,  Lothar Stoll ,  Ulrich Wolff ,  Bruno Acklin

发明人： Gustav Mueller ,  Lothar Stoll ,  Ulrich Wolff ,  Bruno Acklin

IPC分类号： G02B6/122 ,  G02F1/025 ,  G02F1/225 ,  G02F1/313 ,  G02B6/12

CPC分类号： G02F1/3138 ,  G02F1/3133 ,  G02F1/2257 ,  G02F2203/06

摘要： An integrated optical arrangement operated as a switch composed of at least three ridge waveguides on a substrate, the third ridge waveguide is utilized for an infeed of an optical waveguide proceeding between two parallel ridge waveguides forming the first and second waveguides having either a contacted pn-junction or a contacted pin-junction. As a result of asymmetrical switching of the junctions, the optical wave is coupled over into one or the other of the first and second waveguides. The advantage over traditional directional coupler switch structures are complete symmetry of the two switch conditions, "digital switching behavior", enhanced separation of the output waveguide, low switching losses and greater manufacturing tolerances, reduced polarization sensitivity and increased optical bandwidth.

摘要翻译： 作为由基板上的至少三个脊状波导组成的开关而操作的集成光学装置，第三脊波导用于在形成具有接触的pn-的波导的第一和第二波导之间的两个平行脊波导之间进行的光波导的进给， 接头或接触的针结。 由于结的非对称切换的结果，光波被耦合到第一和第二波导中的一个或另一个中。 传统的定向耦合器开关结构的优点是两个开关条件的完全对称，“数字开关行为”，输出波导的增强分离，低开关损耗和更大的制造公差，降低的极化灵敏度和增加的光学带宽。

公开(公告)号：US4633171A

公开(公告)日：1986-12-30

申请号：US699948

申请日：1985-02-08

申请人： Eckhard Storck ,  Ulrich Wolff

发明人： Eckhard Storck ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： G02B27/58 ,  G02F1/11 ,  G01R23/16

CPC分类号： G02F1/11 ,  G02B27/58

摘要： A window function optimum for apodization of diffraction at an aperture of a Bragg Cell spectral analyzer. A window function is derived which is simpler to realize and which comes very close to an optimum window function.

摘要翻译： 一种窗口函数，适用于在布拉格光谱分析仪孔径处的衍射变迹。 导出一个更简单实现的窗口函数，并且非常接近最佳窗口函数。

公开(公告)号：US07459991B2

公开(公告)日：2008-12-02

申请号：US10542970

申请日：2003-12-16

申请人： Werner Ruile ,  Ulrike Roesler ,  Ulrich Wolff ,  Anton Leidl ,  Gerd Scholl ,  Markus Hauser ,  Ulrich Knauer

发明人： Werner Ruile ,  Ulrike Roesler ,  Ulrich Wolff ,  Anton Leidl ,  Gerd Scholl ,  Markus Hauser ,  Ulrich Knauer

IPC分类号： H03H9/72 ,  H01L41/083

CPC分类号： H03H9/02929 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/14538

摘要： An apparatus including a piezoelectric substrate having at least one transducer electrode structure. The structure having a metallization formed by one or more metals with a mean specific density that is at least 50% higher than that of aluminum. The structure having a compensation layer that is applied fully or partially over the metallization. The compensation layer is of a material having a temperature dependence of elastic constants that counteracts the temperature coefficient of frequency of the substrate. The compensation layer has a thickness that is less than 15% of an acoustic wavelength of a wave capable of propagation in the structure.

摘要翻译： 一种包括具有至少一个换能器电极结构的压电基片的装置。 该结构具有由一种或多种平均比密度比铝高至少50％的金属形成的金属化。 该结构具有完全或部分地施加在金属化之上的补偿层。 补偿层是具有与基板的频率的温度系数抵消的弹性常数的温度依赖性的材料。 补偿层的厚度小于能够在结构中传播的波的声波长的15％。