公开(公告)号：US06882126B2

公开(公告)日：2005-04-19

申请号：US09997144

申请日：2001-11-29

申请人： Douglas C. Watson ,  Mike Binnard ,  Andrew J. Hazelton ,  Martin E. Lee

发明人： Douglas C. Watson ,  Mike Binnard ,  Andrew J. Hazelton ,  Martin E. Lee

IPC分类号： B64C17/06 ,  G05B1/06

CPC分类号： B23Q1/623

摘要： A stage assembly (10) for moving and positioning a device (26) includes a device table (20), a device holder (24) that retains the device (26), and a stage mover assembly (14). The stage assembly (10) includes one or more features that can isolate the device holder 24 and the device (26) from deformation. In some embodiments, the stage assembly (10) allows precise rotation of the device (26) between a first position (42) and a second position (44) without influencing the flatness of the device (26) and without deflecting and distorting the device (26). For example, the stage assembly (10) can include a carrier (60) and a holder connector assembly (62). The carrier (60) is supported above the device table (20) and rotates relative to the device table (20). The holder connector assembly (62) connects the device holder (24) to the carrier (60). Further, the stage assembly (10) can include a holder mover (120) that rotates the device holder (24) relative to the device table (20). Additionally, the stage assembly (10) can include a fluid connector (94) that connects the device holder (24) in fluid communication with the device table (20).

摘要翻译： 用于移动和定位装置（26）的平台组件（10）包括装置台（20），保持装置（26）的装置保持器（24）和平台移动器组件（14）。 台架组件（10）包括可以隔离设备保持器24和设备（26）不变形的一个或多个特征。 在一些实施例中，台架组件（10）允许装置（26）在第一位置（42）和第二位置（44）之间精确地旋转，而不影响装置（26）的平坦度，并且不会使装置偏转和变形 （26）。 例如，台架组件（10）可以包括托架（60）和托架连接器组件（62）。 载体（60）被支撑在装置台（20）上方并相对于装置台（20）旋转。 支架连接器组件（62）将装置支架（24）连接到支架（60）上。 此外，台架组件（10）可以包括相对于设备台（20）旋转设备保持器（24）的保持器移动器（120）。 另外，台架组件（10）可以包括流体连接器（94），其连接与装置台（20）流体连通的装置保持器（24）。

公开(公告)号：US06958808B2

公开(公告)日：2005-10-25

申请号：US10458384

申请日：2003-06-11

申请人： Keiichi Tanaka ,  Mike Binnard ,  Andrew J. Hazelton

发明人： Keiichi Tanaka ,  Mike Binnard ,  Andrew J. Hazelton

IPC分类号： G03B27/62 ,  G03F7/20 ,  G03B27/42 ,  G03B27/58

CPC分类号： G03B27/62 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70708 ,  G03F7/70766 ,  G03F7/709

摘要： A stage assembly for moving and positioning a device is provided herein. The stage assembly includes a stage base, a stage, a stage mover assembly, a reaction mass assembly, a reaction mover assembly, and a control system. The stage mover assembly moves the stage relative to the stage base. The reaction mass assembly reduces the reaction forces created by the stage mover assembly that are transferred to the stage base. The reaction mover assembly adjusts the position of the reaction mass assembly relative to the stage base. Uniquely, the control system controls and directs current to the reaction mover assembly in a way that minimizes the influence of disturbances created by the reaction mover assembly on the stage assembly. More specifically, the timing and/or the amount of current from the control system directed to the reaction mover assembly is varied to minimize the influence of the disturbances created by the reaction mover assembly on the stage assembly. With this design, the reaction mover assembly has less influence upon the position of the stage base. This allows for more accurate positioning of the device by the stage assembly and better performance of the stage assembly.

摘要翻译： 本文提供了用于移动和定位设备的台架组件。 舞台组件包括舞台基座，舞台，舞台推动器组件，反作用组件，反作用器组件和控制系统。 平台移动器组件相对于舞台底座移动舞台。 反应物料组件减少由载物台组件产生的反应力，这些反作用力被传递到载物台底部。 反应动子组件调整反应物料组件相对于载物台的位置。 独特地，控制系统以最小化由反应动子组件产生在舞台组件上的扰动的影响的方式来控制和引导电流到反应动子组件。 更具体地，改变来自引导到反应动子组件的控制系统的时间和/或电流量，以最小化由反应动子组件产生在舞台组件上的干扰的影响。 通过这种设计，反作用器组件对舞台底座的位置的影响较小。 这允许通过平台组件更好地定位设备并且更好地实现舞台组件的性能。

公开(公告)号：US06313550B1

公开(公告)日：2001-11-06

申请号：US09496839

申请日：2000-02-02

申请人： Mike Binnard ,  Andrew J. Hazelton

发明人： Mike Binnard ,  Andrew J. Hazelton

IPC分类号： H02K4100

CPC分类号： H02K41/031 ,  H02K9/197 ,  H02K2201/18

摘要： A coil assembly (14) used with a magnet assembly (12) for a linear or planar electric motor (10) is provided herein. The coil assembly (14) includes a plurality of coils (18) attached to a coil base (16) with a plurality of coil supports (22). The coil supports (22) secure the coils (18) to the coil base (16) with the coils (18) spaced apart from a first surface (23) of the coil base (16). As a result thereof, both sides (32), (34) of each coil (18) are exposed for cooling. Further, the coil supports (22) allow the coils (18) to expand laterally with minimal stress and thermal deformation. The coil assembly (14) can also include a plurality of spaced apart covers (62). Each cover (62) fits over one of the coils (18) and is secured to the coil base (16). A fluid (24) can be directed into a fluid passageway (58) around each coil (18) to cool each coil (18).

摘要翻译： 本发明提供了一种与用于线性或平面电动机（10）的磁体组件（12）一起使用的线圈组件（14）。 线圈组件（14）包括多个线圈（18），其连接到具有多个线圈支撑件（22）的线圈座（16）上。 线圈支撑件（22）将线圈（18）固定到线圈座（16）上，线圈（18）与线圈座（16）的第一表面（23）间隔开。 结果，每个线圈（18）的两侧（32），（34）被暴露以进行冷却。 此外，线圈支撑件（22）允许线圈（18）以最小的应力和热变形横向膨胀。 线圈组件（14）还可以包括多个间隔开的盖（62）。 每个盖（62）装配在一个线圈（18）上并且固定到线圈座（16）上。 流体（24）可被引导到围绕每个线圈（18）的流体通道（58）中以冷却每个线圈（18）。

公开(公告)号：US06885430B2

公开(公告)日：2005-04-26

申请号：US10458373

申请日：2003-06-11

申请人： Keiichi Tanaka ,  Mike Binnard ,  Andrew J. Hazelton

发明人： Keiichi Tanaka ,  Mike Binnard ,  Andrew J. Hazelton

IPC分类号： G03B27/62 ,  G03F7/20 ,  G03B27/32 ,  G03B27/42 ,  G03B27/58

CPC分类号： G03F7/707 ,  G03B27/62 ,  G03F7/70708 ,  G03F7/70766 ,  G03F7/709

摘要： A stage assembly includes a stage base, a stage, a stage mover assembly, a reaction mass assembly, a reaction mover assembly, and a control system. The stage mover assembly moves the stage relative to the stage base. The reaction mass assembly reduces the reaction forces created by the stage mover assembly that are transferred to the stage base. The reaction mover assembly adjusts the position of the reaction mass assembly relative to the stage base. The control system controls and directs current to the reaction mover assembly in a way that minimizes the influence of disturbances created by the reaction mover assembly on the stage assembly. The timing and/or the amount of current from the control system directed to the reaction mover assembly is varied to minimize the influence of the disturbances created by the reaction mover assembly on the stage assembly.

摘要翻译： 舞台组件包括舞台基座，舞台，舞台动子组件，反作用组件，反作用动力组件和控制系统。 平台移动器组件相对于舞台底座移动舞台。 反应物料组件减少由载物台组件产生的反应力，这些反作用力被传递到载物台底部。 反应动子组件调整反应物料组件相对于载物台的位置。 控制系统以最小化由反应动子组件产生在舞台组件上的扰动的影响的方式来控制和引导电流到反应动子组件。 改变来自引导到反应动子组件的控制系统的时间和/或电流量，以最小化由反应动子组件产生在舞台组件上的干扰的影响。

公开(公告)号：US06593997B1

公开(公告)日：2003-07-15

申请号：US09713911

申请日：2000-11-16

申请人： Doug Watson ,  Andrew J. Hazelton ,  Mike Binnard

发明人： Doug Watson ,  Andrew J. Hazelton ,  Mike Binnard

IPC分类号： G03B2742

CPC分类号： G03F7/70708 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70766

摘要： A stage assembly (10) for moving and positioning a device (26) is provided herein. The stage assembly (10) includes a stage base (12), a stage (14), a stage mover assembly (16), and a reaction assembly (18). The stage mover assembly (16) moves the stage (14) along an X axis and along a Y axis relative to the stage base (12). The reaction assembly (18) is coupled to the stage mover assembly (16). Uniquely, the reaction assembly (18) counteracts and reduces the reaction forces created by the stage mover assembly (16) in two degrees of freedom that are transferred to a reaction base (102). With this design, stage mover assembly (16) has less influence upon the position of the stage base (12). These features allow for more accurate positioning of the device (26) by the stage assembly (10) and better performance of the stage assembly (10).

摘要翻译： 本文提供了用于移动和定位装置（26）的平台组件（10）。 舞台组件（10）包括舞台基座（12），舞台（14），舞台推动器组件（16）和反作用组件（18）。 台架动子组件（16）使台架（14）沿着X轴线并相对于舞台底座（12）沿着Y轴移动。 反应组件（18）联接到载物台移动器组件（16）。 独特地，反应组件（18）在转移到反应基体（102）的两个自由度上抵消并减少由载物台移动器组件（16）产生的反作用力。 通过这种设计，平台移动器组件（16）对舞台底座（12）的位置的影响较小。 这些特征允许通过平台组件（10）更准确地定位设备（26）并且使台架组件（10）具有更好的性能。

公开(公告)号：US06757053B1

公开(公告)日：2004-06-29

申请号：US09714747

申请日：2000-11-16

申请人： Andrew J. Hazelton ,  Mike Binnard

发明人： Andrew J. Hazelton ,  Mike Binnard

IPC分类号： G03B2758

CPC分类号： G03F7/70733 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70766

摘要： A stage assembly (10) for moving and positioning a device (26) is provided herein. The stage assembly (10) includes a stage base (12), a stage (14), a stage mover assembly (16), and a reaction mass assembly (18). The stage mover assembly (16) moves the stage (14) along an X axis and along a Y axis relative to the stage base (12). The reaction mass assembly (18) is coupled to the stage mover assembly (16). Uniquely, the reaction mass assembly (18) reduces the reaction forces created by the stage mover assembly (16) in three degrees of freedom that are transferred to the stage base (12). With this design, stage mover assembly (16) has less influence upon the position of the stage base (12). These features allow for more accurate positioning of the device (26) by the stage assembly (10) and better performance of the stage assembly (10).

摘要翻译： 本文提供了用于移动和定位装置（26）的平台组件（10）。 舞台组件（10）包括舞台底座（12），舞台（14），舞台推动器组件（16）和反作用组件（18）。 台架动子组件（16）使台架（14）沿着X轴线并相对于舞台底座（12）沿着Y轴移动。 反应质量组件（18）联接到载物台移动器组件（16）。 独特地，反应物料组件（18）以三个自由度将由载物台移动器组件（16）产生的反作用力减小到传递到载物台基座（12）上。 通过这种设计，平台移动器组件（16）对舞台底座（12）的位置的影响较小。 这些特征允许通过平台组件（10）更准确地定位设备（26）并且使台架组件（10）具有更好的性能。

公开(公告)号：US06408767B1

公开(公告)日：2002-06-25

申请号：US09516492

申请日：2000-03-01

申请人： Mike Binnard ,  Douglas C. Watson

发明人： Mike Binnard ,  Douglas C. Watson

IPC分类号： A47B8500

CPC分类号： F16F15/0232 ,  F16C29/025 ,  F16F15/0275 ,  G03F7/70816

摘要： A suspension system (18) for suspending a stage (14) spaced apart from a stage base (12) is provided herein. The suspension system (18) includes a plurality of spaced apart suspension assemblies (20). Each suspension assembly (20) includes a fluid pad (22) and an adaptable section (24). A bearing fluid (48) is directed from the fluid pad (22) to create a fluid bearing (52) between the fluid pad (22) and the stage base (12). The fluid bearing (52) allows for large displacement, frictionless motion along an X axis, along a Y axis and rotation about a Z axis. The adaptable section (24) secures the fluid pad (22) to the stage (14). The adaptable section (24) allows for relative movement between the fluid pad (22) and the stage (14). More specifically, the adaptable section (24) allows for small displacement, low stiffness motion along the Z axis and rotation about the X axis and the Y axis. In summary, the suspension system (18) permits six degrees of freedom motion and provides some vibration isolation along the Z axis.

摘要翻译： 本文提供了用于悬挂与台架（12）间隔开的台架（14）的悬架系统（18）。 悬挂系统（18）包括多个间隔开的悬挂组件（20）。 每个悬架组件（20）包括流体垫（22）和适应部分（24）。 轴承流体（48）从流体垫（22）引导以在流体垫（22）和载物台（12）之间产生流体轴承（52）。 流体轴承（52）允许沿着X轴的大的位移，无摩擦的运动沿Y轴和围绕Z轴的旋转。 适应部分（24）将流体垫（22）固定到台（14）上。 适应部分（24）允许流体垫（22）和台（14）之间的相对移动。 更具体地，适应部分（24）允许沿Z轴的小位移，低刚度运动和围绕X轴和Y轴的旋转。 总之，悬挂系统（18）允许六自由度运动，并且沿Z轴提供一些振动隔离。

公开(公告)号：US07221433B2

公开(公告)日：2007-05-22

申请号：US10767628

申请日：2004-01-28

申请人： Mike Binnard

发明人： Mike Binnard

IPC分类号： G03B27/58 ,  G03B27/62 ,  G03B27/42 ,  H02N3/00

CPC分类号： G03F7/70766 ,  G03B27/58 ,  G03F7/70733

摘要： A stage assembly (220) for moving and positioning a device (200) includes a stage base (202), a stage (206), a stage mover assembly (204), and a reaction assembly (226). The stage mover assembly (204) moves the stage (206) relative to the stage base (202). The reaction assembly (226) is coupled to the stage mover assembly (204). The reaction assembly (226) reduces the reaction forces created by the stage mover assembly (204) that are transferred to the stage base (202). In one embodiment, the reaction assembly (226) includes a pair of masses (250A), (250B) and a connector assembly (236) that connects the masses (250A), (250B) together, allows the masses to move independently along a first axis, and causes the masses (250A), (250B) to move concurrently along a second axis.

摘要翻译： 用于移动和定位装置（200）的平台组件（220）包括台架（202），台架（206），平台移动器组件（204）和反作用组件（226）。 平台移动器组件（204）相对于舞台底座（202）移动舞台（206）。 反应组件（226）联接到载物台移动器组件（204）。 反应组件（226）减小了由载物台组件（204）产生的转移到载物台（202）的反作用力。 在一个实施例中，反应组件（226）包括将质量（250A），（250B）连接在一起的一对质量块（250A），（250B）和连接器组件（236） 沿着第一轴线独立地移动，并使质量（250A），（250B）沿着第二轴同时移动。

公开(公告)号：US20050162635A1

公开(公告)日：2005-07-28

申请号：US10767628

申请日：2004-01-28

申请人： Mike Binnard

发明人： Mike Binnard

IPC分类号： G03B27/58

CPC分类号： G03F7/70766 ,  G03B27/58 ,  G03F7/70733

摘要： A stage assembly (220) for moving and positioning a device (200) includes a stage base (202), a stage (206), a stage mover assembly (204), and a reaction assembly (226). The stage mover assembly (204) moves the stage (206) relative to the stage base (202). The reaction assembly (226) is coupled to the stage mover assembly (204). The reaction assembly (226) reduces the reaction forces created by the stage mover assembly (204) that are transferred to the stage base (202). In one embodiment, the reaction assembly (226) includes a pair of masses (250A), (250B) and a connector assembly (236) that connects the masses (250A), (250B) together, allows the masses to move independently along a first axis, and causes the masses (250A), (250B) to move concurrently along a second axis.

摘要翻译： 用于移动和定位装置（200）的平台组件（220）包括台架（202），台架（206），平台移动器组件（204）和反作用组件（226）。 平台移动器组件（204）相对于舞台底座（202）移动舞台（206）。 反应组件（226）联接到载物台移动器组件（204）。 反应组件（226）减小了由载物台组件（204）产生的转移到载物台（202）的反作用力。 在一个实施例中，反应组件（226）包括将质量（250A），（250B）连接在一起的一对质量块（250A），（250B）和连接器组件（236） 沿着第一轴线独立地移动，并使质量（250A），（250B）沿着第二轴同时移动。

公开(公告)号：US06731372B2

公开(公告)日：2004-05-04

申请号：US09818163

申请日：2001-03-27

申请人： Mike Binnard ,  Douglas C. Watson

发明人： Mike Binnard ,  Douglas C. Watson

IPC分类号： G03B2742

CPC分类号： G03F7/70991 ,  F16F9/18 ,  F16F9/36 ,  F16F9/46 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709

摘要： A fluid mount (10) for an exposure apparatus (32) includes a first subsystem (12) and a second subsystem (14). The first subsystem (12) includes a first cylinder (18) and a first piston (20). The first piston (20) moves within the first cylinder (18) along a first axis (26). The second subsystem (14) includes a second cylinder (22) and a second piston (24). The second piston (24) moves within the second cylinder (22) along a second axis (28). Importantly, (i) the second subsystem (14) is stacked on top of the first subsystem (12), (ii) the second axis (28) is substantially coaxial with the first axis (26), and (iii) the first piston (20) is connected to the second piston (24) with a piston connector (16). The resulting fluid mount (10) has a relatively high load carrying capacity and a relatively small footprint.

摘要翻译： 用于曝光设备（32）的流体安装件（10）包括第一子系统（12）和第二子系统（14）。 第一子系统（12）包括第一气缸（18）和第一活塞（20）。 第一活塞（20）沿着第一轴线（26）在第一气缸（18）内移动。 第二子系统（14）包括第二气缸（22）和第二活塞（24）。 第二活塞（24）沿着第二轴线（28）在第二气缸（22）内移动。 重要的是，（i）第二子系统（14）堆叠在第一子系统（12）的顶部，（ii）第二轴线（28）与第一轴线（26）基本上同轴，和（iii）第一活塞 （20）通过活塞连接器（16）连接到第二活塞（24）。 所得到的流体支架（10）具有相对高的承载能力和相对较小的占地面积。