公开(公告)号：US20100038827A1

公开(公告)日：2010-02-18

申请号：US12576030

申请日：2009-10-08

申请人： Pawan Kumar Nimmakayala ,  Tom H. Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip D. Schumaker ,  Daniel A. Babbs ,  Van Nguyen Truskett

发明人： Pawan Kumar Nimmakayala ,  Tom H. Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip D. Schumaker ,  Daniel A. Babbs ,  Van Nguyen Truskett

IPC分类号： B29C59/16 ,  G06K9/36

CPC分类号： G01B11/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/00 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7042 ,  G03F9/7049

摘要： The present invention features a method to determine relative spatial parameters between two coordinate systems, which may be a mold and a region of a substrate in which mold is employed to generate a pattern. The method includes sensing relative alignment between the two coordinate systems at multiple points and determines relative spatial parameters therebetween. The relative spatial parameters include a relative area and a relative shape.

摘要翻译： 本发明的特征在于确定两个坐标系之间的相对空间参数的方法，该坐标系可以是模具和其中模具用于产生图案的基板的区域。 该方法包括在多个点处检测两个坐标系之间的相对对准并且确定它们之间的相对空间参数。 相对空间参数包括相对面积和相对形状。

公开(公告)号：US07880872B2

公开(公告)日：2011-02-01

申请号：US12576030

申请日：2009-10-08

申请人： Pawan Kumar Nimmakayala ,  Tom H. Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip D. Schumaker ,  Daniel A. Babbs ,  Van Nguyen Truskett

发明人： Pawan Kumar Nimmakayala ,  Tom H. Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip D. Schumaker ,  Daniel A. Babbs ,  Van Nguyen Truskett

IPC分类号： G01B11/26

CPC分类号： G01B11/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/00 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7042 ,  G03F9/7049

摘要： The present invention features a method to determine relative spatial parameters between two coordinate systems, which may be a mold and a region of a substrate in which mold is employed to generate a pattern. The method includes sensing relative alignment between the two coordinate systems at multiple points and determines relative spatial parameters therebetween. The relative spatial parameters include a relative area and a relative shape.

摘要翻译： 本发明的特征在于确定两个坐标系之间的相对空间参数的方法，该坐标系可以是模具和其中模具用于产生图案的基板的区域。 该方法包括在多个点处检测两个坐标系之间的相对对准并且确定它们之间的相对空间参数。 相对空间参数包括相对面积和相对形状。

公开(公告)号：US07630067B2

公开(公告)日：2009-12-08

申请号：US11000321

申请日：2004-11-30

申请人： Pawan Kumar Nimmakayala ,  Tom H. Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip D. Schumaker ,  Daniel A. Babbs ,  Van N. Truskett

发明人： Pawan Kumar Nimmakayala ,  Tom H. Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip D. Schumaker ,  Daniel A. Babbs ,  Van N. Truskett

IPC分类号： G01B11/26

CPC分类号： G01B11/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/00 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7042 ,  G03F9/7049

摘要： The present invention features a method to determine relative spatial parameters between two coordinate systems, which may be a mold and a region of a substrate in which mold is employed to generate a pattern. The method includes sensing relative alignment between the two coordinate systems at multiple points and determines relative spatial parameters therebetween. The relative spatial parameters include a relative area and a relative shape.

摘要翻译： 本发明的特征在于确定两个坐标系之间的相对空间参数的方法，该坐标系可以是模具和其中模具用于产生图案的基板的区域。 该方法包括在多个点处检测两个坐标系之间的相对对准并且确定它们之间的相对空间参数。 相对空间参数包括相对面积和相对形状。

公开(公告)号：US07292326B2

公开(公告)日：2007-11-06

申请号：US11000331

申请日：2004-11-30

申请人： Pawan Kumar Nimmakayala ,  Tom H. Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip D. Schumaker ,  Daniel A. Babbs

发明人： Pawan Kumar Nimmakayala ,  Tom H. Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip D. Schumaker ,  Daniel A. Babbs

IPC分类号： G01B11/26

CPC分类号： G03F9/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/703 ,  G03F9/7042 ,  G03F9/7049 ,  G03F9/7076

摘要： The present invention features a system to determine relative spatial parameters between two coordinate systems, which may be a mold and a region of a substrate in which mold is employed to generate a pattern. The system senses relative alignment between the two coordinate systems at multiple points and determines relative spatial parameters therebetween. The relative spatial parameters include a relative area and a relative shape.

摘要翻译： 本发明的特征在于确定两个坐标系之间的相对空间参数的系统，其可以是模具和其中模具用于产生图案的基板的区域。 该系统在多个点处感测两个坐标系之间的相对对准，并确定它们之间的相对空间参数。 相对空间参数包括相对面积和相对形状。

公开(公告)号：US20060126058A1

公开(公告)日：2006-06-15

申请号：US11000331

申请日：2004-11-30

申请人： Pawan Nimmakayala ,  Tom Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip Schumaker ,  Daniel Babbs

发明人： Pawan Nimmakayala ,  Tom Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip Schumaker ,  Daniel Babbs

IPC分类号： G01B11/26 ,  G01B11/14

CPC分类号： G03F9/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/703 ,  G03F9/7042 ,  G03F9/7049 ,  G03F9/7076

摘要： The present invention features a system to determine relative spatial parameters between two coordinate systems, which may be a mold and a region of a substrate in which mold is employed to generate a pattern. The system senses relative alignment between the two coordinate systems at multiple points and determines relative spatial parameters therebetween. The relative spatial parameters include a relative area and a relative shape.

摘要翻译： 本发明的特征在于确定两个坐标系之间的相对空间参数的系统，其可以是模具和其中模具用于产生图案的基板的区域。 该系统在多个点处感测两个坐标系之间的相对对准，并确定它们之间的相对空间参数。 相对空间参数包括相对面积和相对形状。

公开(公告)号：US20060114450A1

公开(公告)日：2006-06-01

申请号：US11000321

申请日：2004-11-30

申请人： Pawan Nimmakayala ,  Tom Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip Schumaker ,  Daniel Babbs ,  Van Truskett

发明人： Pawan Nimmakayala ,  Tom Rafferty ,  Alireza Aghili ,  Byung-Jin Choi ,  Philip Schumaker ,  Daniel Babbs ,  Van Truskett

IPC分类号： G01C3/08 ,  G01C1/00 ,  G01B11/26 ,  B28B7/36

CPC分类号： G01B11/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/00 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7042 ,  G03F9/7049

摘要： The present invention features a method to determine relative spatial parameters between two coordinate systems, which may be a mold and a region of a substrate in which mold is employed to generate a pattern. The method includes sensing relative alignment between the two coordinate systems at multiple points and determines relative spatial parameters therebetween. The relative spatial parameters include a relative area and a relative shape.

公开(公告)号：US20100138456A1

公开(公告)日：2010-06-03

申请号：US12326363

申请日：2008-12-02

申请人： Alireza Aghili

发明人： Alireza Aghili

IPC分类号： G06F17/30 ,  G06F7/00

CPC分类号： G06F16/24557 ,  G06F16/2255

摘要： A system, method, and computer-readable medium for allocation of a Locality-sensitive Non-Unique Secondary Index are provided. The Locality-sensitive Non-Unique Secondary Index preserves the similarity of incorporated fields as well as improves the average secondary index sub-table look-up performance and is advantageously resilient to the type of predicates and workloads applied thereto. Rows of the secondary index having values of the columns that are hashed to determine a secondary index sub-table row location have a higher probability of being closely located within the secondary index than rows with more dissimilar column values that are hashed to determine the secondary index row location.

摘要翻译： 提供了用于分配局部敏感非唯一次要索引的系统，方法和计算机可读介质。 局部敏感的非唯一二级索引保留了合并字段的相似性，并且提高了平均辅助索引子表查找性能，并且有利地适用于应用于其的谓词类型和工作负载。 具有散列以确定次级索引子表行位置的列的值的次级索引的行具有与辅助索引更紧密地位于次要索引内的更高概率，该列具有较多不相似的列值，以便确定辅助索引 行位置。