公开(公告)号：US07696015B2

公开(公告)日：2010-04-13

申请号：US11448232

申请日：2006-06-07

申请人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu

发明人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L21/48 ,  H01L21/44

CPC分类号： F04B17/00 ,  F04B19/006 ,  H01L23/473 ,  H01L25/0657 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2225/06589 ,  H01L2924/01322

摘要： A stack of heat generating integrated circuit chips may be provided with intervening cooling integrated circuit chips. The cooling integrated circuit chips may include microchannels for the flow of the cooling fluid. The cooling fluid may be pumped using the integrated electroosmotic pumps. Removal of cooling fluid gases may be accomplished using integrated re-combiners in some embodiments.

摘要翻译： 一组发热集成电路芯片可以设置有中间冷却集成电路芯片。 冷却集成电路芯片可以包括用于冷却流体流动的微通道。 可以使用集成的电渗泵泵送冷却流体。 在一些实施方案中，使用集成的重组合器可以实现冷却流体气体的去除。

公开(公告)号：US07274106B2

公开(公告)日：2007-09-25

申请号：US10669212

申请日：2003-09-24

申请人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu

发明人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu

IPC分类号： H01L23/12 ,  H01L23/52 ,  H01L23/48

CPC分类号： H01L23/473 ,  H01L23/34 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/73253 ,  H01L2224/82

摘要： An integrated electroosmotic pump may be incorporated in the same integrated circuit package with a re-combiner, and an integrated circuit chip to be cooled by fluid pumped by the electroosmotic pump.

摘要翻译： 集成电渗泵可以结合在具有再组合器的相同的集成电路封装中，以及通过由电渗泵泵送的流体冷却的集成电路芯片。

公开(公告)号：US07723208B2

公开(公告)日：2010-05-25

申请号：US10669205

申请日：2003-09-24

申请人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu

发明人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu

IPC分类号： H01L21/30

CPC分类号： F04B19/006 ,  H01L23/473 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/73253 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/00

摘要： Trenches may be formed in the upper surfaces of a pair of wafers. Each trench may be coated with a catalyst that is capable of removing oxygen or hydrogen from a fluid used for cooling in a system making use of the electroosmotic effect for pumping. Channels may be formed to communicate fluid to and from the trench coated with the catalyst. The substrates may be combined in face-to-face abutment, for example using copper-to-copper bonding to form a re-combiner.

摘要翻译： 沟槽可以形成在一对晶片的上表面中。 每个沟槽可以涂覆有能够在利用用于泵送的电渗效应的系统中用于冷却的流体中除去氧气或氢气的催化剂。 可以形成通道以将流体与涂覆有催化剂的沟槽连通。 基板可以以面对面邻接方式组合，例如使用铜 - 铜键合来形成再组合器。

公开(公告)号：US07576432B2

公开(公告)日：2009-08-18

申请号：US11270071

申请日：2005-11-09

申请人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu ,  Ravi Prasher ,  Ravi Mahajan ,  Gilroy Vandentop

发明人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu ,  Ravi Prasher ,  Ravi Mahajan ,  Gilroy Vandentop

IPC分类号： H01L23/52 ,  H01L23/48 ,  H01L29/40

CPC分类号： H01L23/473 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/73253 ,  H01L2224/82

摘要： An integrated circuit to be cooled may be abutted in face-to-face abutment with a cooling integrated circuit. The cooling integrated circuit may include electroosmotic pumps to pump cooling fluid through the cooling integrated circuits via microchannels to thereby cool the heat generating integrated circuit. The electroosmotic pumps may be fluidically coupled to external radiators which extend upwardly away from a package including the integrated circuits. In particular, the external radiators may be mounted on tubes which extend the radiators away from the package.

摘要翻译： 要冷却的集成电路可以与冷却集成电路面对面邻接。 冷却集成电路可以包括电渗泵，以通过微通道将冷却流体泵送通过冷却集成电路，从而冷却发热集成电路。 电渗泵可以流体耦合到从包括集成电路的包装向上延伸的外部散热器。 特别地，外部散热器可以安装在使散热器远离封装的管上。

公开(公告)号：US07084495B2

公开(公告)日：2006-08-01

申请号：US10687127

申请日：2003-10-16

申请人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu

发明人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu

IPC分类号： H01L23/34

CPC分类号： F04B17/00 ,  F04B19/006 ,  H01L23/473 ,  H01L25/0657 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2225/06589 ,  H01L2924/01322

摘要： A stack of heat generating integrated circuit chips may be provided with intervening cooling integrated circuit chips. The cooling integrated circuit chips may include microchannels for the flow of the cooling fluid. The cooling fluid may be pumped using the integrated electroosmotic pumps. Removal of cooling fluid gases may be accomplished using integrated re-combiners in some embodiments.

摘要翻译： 一组发热集成电路芯片可以设置有中间冷却集成电路芯片。 冷却集成电路芯片可以包括用于冷却流体流动的微通道。 可以使用集成的电渗泵泵送冷却流体。 在一些实施方案中，使用集成的重组合器可以实现冷却流体气体的去除。

公开(公告)号：US06992381B2

公开(公告)日：2006-01-31

申请号：US10698749

申请日：2003-10-31

申请人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu ,  Ravi Prasher ,  Ravi Mahajan ,  Gilroy Vandentop

发明人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James G. Maveety ,  Alan M. Myers ,  Quat T. Vu ,  Ravi Prasher ,  Ravi Mahajan ,  Gilroy Vandentop

IPC分类号： H01L23/34

CPC分类号： H01L23/473 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/73253 ,  H01L2224/82

摘要： An integrated circuit to be cooled may be abutted in face-to-face abutment with a cooling integrated circuit. The cooling integrated circuit may include electroosmotic pumps to pump cooling fluid through the cooling integrated circuits via microchannels to thereby cool the heat generating integrated circuit. The electroosmotic pumps may be fluidically coupled to external radiators which extend upwardly away from a package including the integrated circuits. In particular, the external radiators may be mounted on tubes which extend the radiators away from the package.

公开(公告)号：US06981849B2

公开(公告)日：2006-01-03

申请号：US10323084

申请日：2002-12-18

申请人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James Maveety ,  Alan Myers ,  Quat T. Vu ,  Ravi Prasher ,  Ravindranath V. Mahajan

发明人： Sarah E. Kim ,  R. Scott List ,  James Maveety ,  Alan Myers ,  Quat T. Vu ,  Ravi Prasher ,  Ravindranath V. Mahajan

IPC分类号： F04B44/08

CPC分类号： F04B19/006 ,  H01L23/473 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： The present disclosure relates generally to microelectronic technology, and more specifically, to an apparatus used for the cooling of active electronic devices utilizing electro-osmotic pumps and micro-channels.

摘要翻译： 本公开一般涉及微电子技术，更具体地，涉及使用电渗透泵和微通道来冷却有源电子器件的装置。

公开(公告)号：US07667319B2

公开(公告)日：2010-02-23

申请号：US11012519

申请日：2004-12-15

申请人： R. Scott List ,  Alan Myers ,  Quat T. Vu

发明人： R. Scott List ,  Alan Myers ,  Quat T. Vu

IPC分类号： H01L23/34

CPC分类号： F04B17/00 ,  F04B19/006

摘要： An electroosmotic pump may be fabricated using semiconductor processing techniques with a nanoporous open cell dielectric frit. Such a frit may result in an electroosmotic pump with better pumping capabilities.

摘要翻译： 可以使用具有纳米多孔开孔电介质玻璃料的半导体加工技术制造电渗泵。 这种玻璃料可能导致具有更好泵送能力的电渗泵。

公开(公告)号：US06861274B2

公开(公告)日：2005-03-01

申请号：US10402435

申请日：2003-03-28

申请人： R. Scott List ,  Alan Myers ,  Quat T. Vu

发明人： R. Scott List ,  Alan Myers ,  Quat T. Vu

IPC分类号： F04B17/00 ,  F04B19/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： F04B17/00 ,  F04B19/006

摘要： An electroosmotic pump may be fabricated using semiconductor processing techniques with a nanoporous open cell dielectric frit. Such a frit may result in an electroosmotic pump with better pumping capabilities.

摘要翻译： 可以使用具有纳米多孔开孔电介质玻璃料的半导体加工技术制造电渗泵。 这种玻璃料可能导致具有更好泵送能力的电渗泵。

公开(公告)号：US06388328B1

公开(公告)日：2002-05-14

申请号：US09143295

申请日：1998-08-28

申请人： Brian Doyle ,  Quat T. Vu ,  Leopold Yau

发明人： Brian Doyle ,  Quat T. Vu ,  Leopold Yau

IPC分类号： H01L2348

CPC分类号： H01L21/76834 ,  H01L21/7682 ,  H01L21/76852 ,  H01L23/5222 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S148/012 ,  Y10S438/916 ,  Y10S438/977 ,  H01L2924/00

摘要： The present invention provides an interconnect system. The interconnect system includes a substrate, a first dielectric layer deposited upon the substrate. The interconnect system further includes at least two electrically conductive interconnect lines formed upon the first dielectric layer. Each of the at least two interconnect lines have a top surface and side surfaces. Adjacent side surfaces of two adjacent interconnect lines define therebetween a space that has a dielectric constant substantially equal to 1. A dielectric film is bonded upon the top surface of the at least two interconnect lines. The dielectric film substantially prevents obstruction of the space by further process.

摘要翻译： 本发明提供一种互连系统。 互连系统包括衬底，沉积在衬底上的第一电介质层。 互连系统还包括形成在第一介电层上的至少两个导电互连线。 所述至少两个互连线中的每一个具有顶表面和侧表面。 两个相邻的互连线的相邻侧表面在其间限定具有基本上等于1的介电常数的空间。电介质膜结合在至少两个互连线的顶表面上。 电介质膜通过进一步的处理基本上防止了空间的阻塞。