公开(公告)号：US20110031465A1

公开(公告)日：2011-02-10

申请号：US12935455

申请日：2009-07-22

申请人： Satoru Mitani ,  Shunsaku Muraoka ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Koji Katayama ,  Ryoko Miyanaga ,  Satoru Fujii ,  Takeshi Takaji

发明人： Satoru Mitani ,  Shunsaku Muraoka ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Koji Katayama ,  Ryoko Miyanaga ,  Satoru Fujii ,  Takeshi Takaji

IPC分类号： H01L45/00 ,  H01L21/34

CPC分类号： H01L27/101 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1273 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1641

摘要： A resistance variable element of the present invention comprises a first electrode (103), a second electrode (107), and a resistance variable layer which is interposed between the first electrode (103) and the second electrode (107) to contact the first electrode (103) and the second electrode (107), the resistance variable layer being configured to change in response to electric signals with different polarities which are applied between the first electrode (103) and the second electrode (107), the resistance variable layer comprising an oxygen-deficient transition metal oxide layer, and the second electrode (107) comprising platinum having minute hillocks (108).

摘要翻译： 本发明的电阻可变元件包括第一电极（103），第二电极（107）和介于第一电极（103）和第二电极（107）之间的电阻变化层，以接触第一电极 （103）和第二电极（107），电阻变化层被配置为响应于施加在第一电极（103）和第二电极（107）之间的具有不同极性的电信号而改变，电阻变化层包括 氧缺乏的过渡金属氧化物层，以及包含具有分开的小丘（108）的铂的第二电极（107）。

公开(公告)号：US08022502B2

公开(公告)日：2011-09-20

申请号：US12307211

申请日：2008-03-26

申请人： Yoshihiko Kanzawa ,  Koji Katayama ,  Satoru Fujii ,  Shunsaku Muraoka ,  Koichi Osano ,  Satoru Mitani ,  Ryoko Miyanaga ,  Takeshi Takagi ,  Kazuhiko Shimakawa

发明人： Yoshihiko Kanzawa ,  Koji Katayama ,  Satoru Fujii ,  Shunsaku Muraoka ,  Koichi Osano ,  Satoru Mitani ,  Ryoko Miyanaga ,  Takeshi Takagi ,  Kazuhiko Shimakawa

IPC分类号： H01L47/00

CPC分类号： H01L27/101 ,  G11C13/0007 ,  G11C13/004 ,  G11C13/0069 ,  G11C2013/0073 ,  G11C2213/32 ,  G11C2213/71 ,  G11C2213/72 ,  G11C2213/79 ,  H01L27/2409 ,  H01L27/2436 ,  H01L27/2481 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1675 ,  Y10S438/90

摘要： A nonvolatile memory element comprises a first electrode layer (103), a second electrode (107), and a resistance variable layer (106) which is disposed between the first electrode layer (103) and the second electrode layer (107), a resistance value of the resistance variable layer varying reversibly according to electric signals having different polarities which are applied between the electrodes (103), (107), wherein the resistance variable layer (106) has a first region comprising a first oxygen-deficient tantalum oxide having a composition represented by TaOx (0

摘要翻译： 非易失性存储元件包括设置在第一电极层（103）和第二电极层（107）之间的第一电极层（103），第二电极（107）和电阻变化层（106），电阻 电阻变化层的值根据施加在电极（103），（107）之间的具有不同极性的电信号而可逆地变化，其中电阻变化层（106）具有第一区域，该第一区域包括第一氧缺陷型氧化钽， 由TaOx（0

公开(公告)号：US08309946B2

公开(公告)日：2012-11-13

申请号：US12935455

申请日：2009-07-22

申请人： Satoru Mitani ,  Shunsaku Muraoka ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Koji Katayama ,  Ryoko Miyanaga ,  Satoru Fujii ,  Takeshi Takagi

发明人： Satoru Mitani ,  Shunsaku Muraoka ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Koji Katayama ,  Ryoko Miyanaga ,  Satoru Fujii ,  Takeshi Takagi

IPC分类号： H01L47/00

CPC分类号： H01L27/101 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1273 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1641

摘要： A resistance variable element of the present invention comprises a first electrode (103), a second electrode (107), and a resistance variable layer which is interposed between the first electrode (103) and the second electrode (107) to contact the first electrode (103) and the second electrode (107), the resistance variable layer being configured to change in response to electric signals with different polarities which are applied between the first electrode (103) and the second electrode (107), the resistance variable layer comprising an oxygen-deficient transition metal oxide layer, and the second electrode (107) comprising platinum having minute hillocks (108).

摘要翻译： 本发明的电阻可变元件包括第一电极（103），第二电极（107）和介于第一电极（103）和第二电极（107）之间的电阻变化层，以接触第一电极 （103）和第二电极（107），电阻变化层被配置为响应于施加在第一电极（103）和第二电极（107）之间的具有不同极性的电信号而改变，电阻变化层包括 氧缺乏的过渡金属氧化物层，以及包含具有分开的小丘（108）的铂的第二电极（107）。

公开(公告)号：US08445319B2

公开(公告)日：2013-05-21

申请号：US13205408

申请日：2011-08-08

申请人： Yoshihiko Kanzawa ,  Koji Katayama ,  Satoru Fujii ,  Shunsaku Muraoka ,  Koichi Osano ,  Satoru Mitani ,  Ryoko Miyanaga ,  Takeshi Takagi ,  Kazuhiko Shimakawa

发明人： Yoshihiko Kanzawa ,  Koji Katayama ,  Satoru Fujii ,  Shunsaku Muraoka ,  Koichi Osano ,  Satoru Mitani ,  Ryoko Miyanaga ,  Takeshi Takagi ,  Kazuhiko Shimakawa

IPC分类号： H01L47/00

CPC分类号： H01L27/101 ,  G11C13/0007 ,  G11C13/004 ,  G11C13/0069 ,  G11C2013/0073 ,  G11C2213/32 ,  G11C2213/71 ,  G11C2213/72 ,  G11C2213/79 ,  H01L27/2409 ,  H01L27/2436 ,  H01L27/2481 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1675 ,  Y10S438/90

摘要： A nonvolatile memory element comprises a first electrode layer (103), a second electrode (107), and a resistance variable layer (106) which is disposed between the first electrode layer (103) and the second electrode layer (107), a resistance value of the resistance variable layer varying reversibly according to electric signals having different polarities which are applied between the electrodes (103), (107), wherein the resistance variable layer (106) has a first region comprising a first oxygen-deficient tantalum oxide having a composition represented by TaOx (0

摘要翻译： 非易失性存储元件包括设置在第一电极层（103）和第二电极层（107）之间的第一电极层（103），第二电极（107）和电阻变化层（106），电阻 电阻变化层的值根据施加在电极（103），（107）之间的具有不同极性的电信号而可逆地变化，其中电阻变化层（106）具有第一区域，该第一区域包括第一氧缺陷型氧化钽， 由TaOx（0

公开(公告)号：US20090283736A1

公开(公告)日：2009-11-19

申请号：US12307211

申请日：2008-03-26

申请人： Yoshihiko Kanzawa ,  Koji Katayama ,  Satoru Fujii ,  Shunsaku Muraoka ,  Koichi Osano ,  Satoru Mitani ,  Ryoko Miyanaga ,  Takeshi Takagi ,  Kazuhlko Shimakawa

发明人： Yoshihiko Kanzawa ,  Koji Katayama ,  Satoru Fujii ,  Shunsaku Muraoka ,  Koichi Osano ,  Satoru Mitani ,  Ryoko Miyanaga ,  Takeshi Takagi ,  Kazuhlko Shimakawa

IPC分类号： H01L45/00 ,  H01L21/16 ,  H01L29/12

CPC分类号： H01L27/101 ,  G11C13/0007 ,  G11C13/004 ,  G11C13/0069 ,  G11C2013/0073 ,  G11C2213/32 ,  G11C2213/71 ,  G11C2213/72 ,  G11C2213/79 ,  H01L27/2409 ,  H01L27/2436 ,  H01L27/2481 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1675 ,  Y10S438/90

摘要： A nonvolatile memory element comprises a first electrode layer (103), a second electrode (107), and a resistance variable layer (106) which is disposed between the first electrode layer (103) and the second electrode layer (107), a resistance value of the resistance variable layer varying reversibly according to electric signals having different polarities which are applied between the electrodes (103), (107), wherein the resistance variable layer (106) has a first region comprising a first oxygen-deficient tantalum oxide having a composition represented by TaOx (0

摘要翻译： 非易失性存储元件包括设置在第一电极层（103）和第二电极层（107）之间的第一电极层（103），第二电极（107）和电阻变化层（106），电阻 电阻变化层的值根据施加在电极（103），（107）之间的具有不同极性的电信号而可逆地变化，其中电阻变化层（106）具有第一区域，该第一区域包括第一氧缺陷型氧化钽， 由TaOx（0

公开(公告)号：US20110044088A1

公开(公告)日：2011-02-24

申请号：US12743472

申请日：2009-08-20

申请人： Shunsaku Muraoka ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Satoru Mitani ,  Koji Katayama ,  Kazuhiko Shimakawa ,  Satoru Fujii ,  Takeshi Takagi

发明人： Shunsaku Muraoka ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Satoru Mitani ,  Koji Katayama ,  Kazuhiko Shimakawa ,  Satoru Fujii ,  Takeshi Takagi

IPC分类号： G11C11/34 ,  H01L27/105 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L45/147 ,  G11C13/0007 ,  G11C13/0069 ,  G11C2013/009 ,  G11C2213/15 ,  G11C2213/32 ,  G11C2213/34 ,  G11C2213/79 ,  H01L27/2436 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1675

摘要： A variable resistance nonvolatile storage device which includes (i) a semiconductor substrate (301), (ii) a variable resistance element (309) having: lower and upper electrodes (309a, 309c); and a variable resistance layer (309b) whose resistance value reversibly varies based on voltage signals each of which has a different polarity and is applied between the electrodes (309a, 309c), and (iii) a MOS transistor (317) formed on the substrate (301), wherein the variable resistance layer (309b) includes: oxygen-deficient transition metal oxide layers (309b-1, 309b-2) having compositions MOx and MOy (where x

摘要翻译： 一种可变电阻非易失性存储装置，包括：（i）半导体衬底（301），（ii）具有下电极和上电极（309a，309c）的可变电阻元件（309） 和可变电阻层（309b），其电阻值基于各自具有不同极性的电压信号而被可逆地变化并施加在电极（309a，309c）之间，以及（iii）形成在基板上的MOS晶体管 （301），其中所述可变电阻层（309b）包括：具有组成MOx和MOy（其中x

公开(公告)号：US08553444B2

公开(公告)日：2013-10-08

申请号：US12743472

申请日：2009-08-20

申请人： Shunsaku Muraoka ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Satoru Mitani ,  Koji Katayama ,  Kazuhiko Shimakawa ,  Satoru Fujii ,  Takeshi Takagi

发明人： Shunsaku Muraoka ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Satoru Mitani ,  Koji Katayama ,  Kazuhiko Shimakawa ,  Satoru Fujii ,  Takeshi Takagi

IPC分类号： G11C11/00

CPC分类号： H01L45/147 ,  G11C13/0007 ,  G11C13/0069 ,  G11C2013/009 ,  G11C2213/15 ,  G11C2213/32 ,  G11C2213/34 ,  G11C2213/79 ,  H01L27/2436 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1675

摘要： A variable resistance nonvolatile storage device which includes (i) a semiconductor substrate (301), (ii) a variable resistance element (309) having: lower and upper electrodes (309a, 309c); and a variable resistance layer (309b) whose resistance value reversibly varies based on voltage signals each of which has a different polarity and is applied between the electrodes (309a, 309c), and (iii) a MOS transistor (317) formed on the substrate (301), wherein the variable resistance layer (309b) includes: oxygen-deficient transition metal oxide layers (309b-1, 309b-2) having compositions MOX and MOy (where x

摘要翻译： 一种可变电阻非易失性存储装置，包括：（i）半导体衬底（301），（ii）具有下电极和上电极（309a，309c）的可变电阻元件（309） 和可变电阻层（309b），其电阻值基于各自具有不同极性的电压信号而被可逆地变化并施加在电极（309a，309c）之间，以及（iii）形成在基板上的MOS晶体管 （301），其中所述可变电阻层（309b）包括：具有组成MOX和MOy（其中x

公开(公告)号：US20100207094A1

公开(公告)日：2010-08-19

申请号：US12682676

申请日：2008-03-31

申请人： Yoshihiko Kanzawa ,  Shunsaku Muraoka ,  Satoru Mitani ,  Zhiqiang Wei ,  Takeshi Takagi

发明人： Yoshihiko Kanzawa ,  Shunsaku Muraoka ,  Satoru Mitani ,  Zhiqiang Wei ,  Takeshi Takagi

IPC分类号： H01L45/00 ,  H01L27/08

CPC分类号： H01L27/101 ,  H01L27/2409 ,  H01L27/2436 ,  H01L27/2481 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1253 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625

摘要： A nonvolatile memory element of the present invention comprises a first electrode (503); a second electrode (505); and a resistance variable layer (504) which is disposed between the first electrode (503) and the second electrode (505), a resistance value of the resistance variable layer being changeable in response to electric signals which are applied between the first electrode (503) and the second electrode (505), wherein the first electrode and the second electrode comprise materials which are made of different elements.

摘要翻译： 本发明的非易失性存储元件包括第一电极（503）; 第二电极（505）; 以及设置在第一电极（503）和第二电极（505）之间的电阻变化层（504），电阻变化层的电阻值根据施加在第一电极（503）和第二电极 ）和第二电极（505），其中第一电极和第二电极包括由不同元件制成的材料。

公开(公告)号：US20100177555A1

公开(公告)日：2010-07-15

申请号：US12676933

申请日：2008-12-15

申请人： Kazuhiko Shimakawa ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Satoru Mitani ,  Shunsaku Muraoka

发明人： Kazuhiko Shimakawa ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Satoru Mitani ,  Shunsaku Muraoka

IPC分类号： G11C11/00 ,  H01L45/00 ,  G11C8/08

CPC分类号： H01L27/101 ,  G11C13/0007 ,  G11C2213/32 ,  G11C2213/79 ,  H01L27/2436 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1253 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625

摘要： The variable resistance nonvolatile storage device includes a memory cell (300) that is formed by connecting in series a variable resistance element (309) including a variable resistance layer (309b) which reversibly changes based on electrical signals each having a different polarity and a transistor (317) including a semiconductor substrate (301) and two N-type diffusion layer regions (302a, 302b), wherein the variable resistance layer (309b) includes an oxygen-deficient oxide of a transition metal, lower and upper electrodes (309a, 309c) are made of materials of different elements, a standard electrode potential V1 of the lower electrode (309a), a standard electrode potential V2 of the upper electrode (309c), and a standard electrode potential Vt of the transition metal satisfy Vt

摘要翻译： 可变电阻非易失性存储装置包括通过串联连接可变电阻元件（309）形成的存储单元（300），该可变电阻元件（309）包括基于各自具有不同极性的电信号可逆地改变的可变电阻层（309b）和晶体管 （307），包括半导体衬底（301）和两个N型扩散层区域（302a，302b），其中可变电阻层（309b）包括过渡金属的氧缺乏氧化物，下电极和上电极（309a， 309c）的材料由下部电极（309a）的标准电极电位V1，上部电极（309c）的标准电极电位V2，过渡金属的标准电极电位Vt满足Vt

公开(公告)号：US08233311B2

公开(公告)日：2012-07-31

申请号：US13310894

申请日：2011-12-05

申请人： Kazuhiko Shimakawa ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Satoru Mitani ,  Shunsaku Muraoka

发明人： Kazuhiko Shimakawa ,  Yoshihiko Kanzawa ,  Satoru Mitani ,  Shunsaku Muraoka

IPC分类号： G11C11/00

CPC分类号： H01L27/101 ,  G11C13/0007 ,  G11C2213/32 ,  G11C2213/79 ,  H01L27/2436 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1253 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625

摘要： The variable resistance nonvolatile storage device includes a memory cell (300) that is formed by connecting in series a variable resistance element (309) including a variable resistance layer (309b) which reversibly changes based on electrical signals each having a different polarity and a transistor (317) including a semiconductor substrate (301) and two N-type diffusion layer regions (302a, 302b), wherein the variable resistance layer (309b) includes an oxygen-deficient oxide of a transition metal, lower and upper electrodes (309a, 309c) are made of materials of different elements, a standard electrode potential V1 of the lower electrode (309a), a standard electrode potential V2 of the upper electrode (309c), and a standard electrode potential Vt of the transition metal satisfy Vt

摘要翻译： 可变电阻非易失性存储装置包括通过串联连接可变电阻元件（309）形成的存储单元（300），该可变电阻元件（309）包括基于各自具有不同极性的电信号可逆地改变的可变电阻层（309b）和晶体管 （307），包括半导体衬底（301）和两个N型扩散层区域（302a，302b），其中可变电阻层（309b）包括过渡金属的氧缺乏氧化物，下电极和上电极（309a， 309c）的材料由下部电极（309a）的标准电极电位V1，上部电极（309c）的标准电极电位V2，过渡金属的标准电极电位Vt满足Vt