公开(公告)号：US20140377964A1

公开(公告)日：2014-12-25

申请号：US14241947

申请日：2012-08-10

申请人： Seon Heo ,  Chang Hyun Son

发明人： Seon Heo ,  Chang Hyun Son

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/324 ,  C23C16/56 ,  H01L21/677 ,  C23C16/448 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC分类号： H01L21/68764 ,  C23C16/448 ,  C23C16/56 ,  C30B29/06 ,  C30B33/005 ,  C30B33/02 ,  C30B35/00 ,  H01L21/02233 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/67712

摘要： The disclosure relates to an apparatus for oxidation and annealing processes comprising: a chamber; an oxidizing unit located in the chamber, where an oxidizing process for a subject to be processed is conducted; and an annealing unit located in the chamber, where an annealing process for the subject to be processed is conducted.Further, The disclosure relates to a method for the oxidation and annealing processes comprising: preparing a chamber comprising an oxidizing unit and an annealing unit; preparing a subject to be processed on a susceptor located in the oxidizing unit; oxidizing the subject to be processed; converting atmosphere of the oxidizing unit; transferring the subject to be processed to the annealing unit; and annealing the subject to be processed.

摘要翻译： 本公开涉及一种用于氧化和退火工艺的设备，包括：室; 位于所述室中的氧化单元，其中进行待处理对象的氧化过程; 以及位于所述室中的退火单元，其中进行待处理对象的退火处理。 此外，本公开涉及一种用于氧化和退火工艺的方法，包括：制备包含氧化单元和退火单元的室; 准备在位于所述氧化单元中的感受器处理的对象; 氧化待处理的对象; 转化氧化单元的气氛; 将待处理的对象转移到退火单元; 并退火待处理的对象。

公开(公告)号：US20140290580A1

公开(公告)日：2014-10-02

申请号：US14129193

申请日：2012-06-13

申请人： Dong Geun Shin ,  Chang Hyun Son

发明人： Dong Geun Shin ,  Chang Hyun Son

IPC分类号： C30B23/00

CPC分类号： C30B23/005 ,  C30B23/00 ,  C30B29/36

摘要： Disclosed is an apparatus for fabricating an ingot. The apparatus includes a crucible to receive a raw material, a holder disposed at an upper portion of the crucible to fix a seed, and a filter part in the crucible. The filter part is spaced apart from a surface of the raw material.

摘要翻译： 公开了一种用于制造锭的装置。 该装置包括容纳原料的坩埚，设置在坩埚的上部以将种子固定的保持器和坩埚中的过滤器部件。 过滤器部分与原料的表面间隔开。

公开(公告)号：US20140366807A1

公开(公告)日：2014-12-18

申请号：US14369112

申请日：2012-07-10

申请人： Ji Hye Kim ,  Chang Hyun Son

发明人： Ji Hye Kim ,  Chang Hyun Son

IPC分类号： C30B23/02

CPC分类号： C30B23/02 ,  C30B23/00 ,  C30B23/063 ,  C30B29/36

摘要： Disclosed is an apparatus for fabricating an ingot, and a method of fabricating the ingot. The apparatus includes a crucible to receive a raw material, and a holder to fix a seed positioned on the raw material. The holder fixes a plurality of seeds.

摘要翻译： 公开了一种用于制造锭的装置，以及制造锭的方法。 该装置包括用于容纳原料的坩埚和用于固定位于原料上的种子的保持器。 保持器固定多个种子。

公开(公告)号：US20140216348A1

公开(公告)日：2014-08-07

申请号：US14126764

申请日：2012-06-15

申请人： Chang Hyun Son ,  Dong Geun Shin

发明人： Chang Hyun Son ,  Dong Geun Shin

IPC分类号： C30B23/02

CPC分类号： C30B23/02 ,  C30B23/00 ,  C30B29/36

摘要： An apparatus for fabricating an ingot comprises an inner crucible for receiving a raw material; a seed holder placed on the raw material; and an outer crucible surrounding the inner crucible and comprising an open area in which a part of the raw material is exposed.

摘要翻译： 用于制造锭的装置包括用于接收原料的内坩埚; 种子保持器放置在原料上; 以及围绕所述内坩埚的外坩埚，所述外坩埚包括暴露所述原料的一部分的开放区域。

公开(公告)号：US20140216330A1

公开(公告)日：2014-08-07

申请号：US14128358

申请日：2012-06-20

申请人： Dong Geun Shin ,  Chang Hyun Son

发明人： Dong Geun Shin ,  Chang Hyun Son

IPC分类号： C30B23/00

CPC分类号： C30B23/005 ,  C30B23/00 ,  C30B29/36

摘要： An apparatus for fabricating an ingot according to the embodiment comprises a crucible for receiving a raw material; and a filter part for selectively filtering a specific component in the crucible, wherein the filter part comprises a polymer.

摘要翻译： 根据实施例的用于制造锭的装置包括：用于容纳原料的坩埚; 以及用于选择性地过滤坩埚中的特定组分的过滤器部件，其中过滤器部件包括聚合物。

公开(公告)号：US20140190413A1

公开(公告)日：2014-07-10

申请号：US14126737

申请日：2012-06-14

申请人： Chang Hyun Son ,  Dong Geun Shin

发明人： Chang Hyun Son ,  Dong Geun Shin

IPC分类号： C30B23/00

CPC分类号： C30B23/002 ,  C30B23/06 ,  C30B29/36

摘要： Disclosed is an apparatus for fabricating an ingot. The apparatus comprises a crucible to receive a source material, and a temperature difference compensating part on the source material. The temperature difference compensating part comprises a plurality of holes.

摘要翻译： 公开了一种用于制造锭的装置。 该装置包括用于接收源材料的坩埚和源材料上的温度差补偿部件。 温差补偿部包括多个孔。

公开(公告)号：US20140165905A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：US14236004

申请日：2012-07-26

申请人： Bum Sup Kim ,  Chang Hyun Son

发明人： Bum Sup Kim ,  Chang Hyun Son

IPC分类号： C30B23/02 ,  C30B35/00

CPC分类号： C30B23/02 ,  C30B23/005 ,  C30B29/36 ,  C30B35/002

摘要： Disclosed are an apparatus for fabricating an ingot and a method for fabricating the ingot. The apparatus comprises a crucible to receive a source material, and a guide member over the source material. The guide member comprises a source material feeding part.

摘要翻译： 公开了一种用于制造锭的装置和用于制造锭的方法。 该装置包括用于接收源材料的坩埚和源材料上的引导构件。 引导构件包括源材料供给部。

公开(公告)号：US20140054610A1

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：US13981750

申请日：2012-01-20

申请人： Moo Seong Kim ,  Yeong Deuk Jo ,  Chang Hyun Son ,  Bum Sup Kim

发明人： Moo Seong Kim ,  Yeong Deuk Jo ,  Chang Hyun Son ,  Bum Sup Kim

IPC分类号： H01L29/16 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L29/1608 ,  H01L21/02378 ,  H01L21/0243 ,  H01L21/02447 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/02617 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02634 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/02647 ,  H01L21/02658

摘要： A semiconductor device comprises a base substrate, a pattern on the base substrate, a buffer layer on the base substrate, and an epitaxial layer on the buffer. The pattern is a self-assembled pattern. A method for growing a semiconductor crystal comprises cleaning a silicon carbide substrate, forming a self-assembled pattern on the silicon carbide substrate, forming a buffer layer on the silicon carbide substrate, and forming an epitaxial layer on the buffer layer. A semiconductor device comprises a base substrate comprising a pattern groove and an epitaxial layer on the base substrate. A method for growing a semiconductor crystal comprises cleaning a silicon carbide substrate, forming a self-assembled projection on the silicon carbide substrate, forming a pattern groove in the silicon carbide, and forming an epitaxial layer on the silicon carbide.

摘要翻译： 半导体器件包括基底衬底，基底衬底上的图案，基底衬底上的缓冲层以及缓冲器上的外延层。 该图案是自组装图案。 一种用于生长半导体晶体的方法包括清洗碳化硅衬底，在碳化硅衬底上形成自组装图案，在碳化硅衬底上形成缓冲层，以及在缓冲层上形成外延层。 半导体器件包括在基底衬底上包括图形凹槽和外延层的基底衬底。 一种用于生长半导体晶体的方法包括清洗碳化硅衬底，在碳化硅衬底上形成自组装突起，在碳化硅中形成图案槽，并在碳化硅上形成外延层。

公开(公告)号：US09702058B2

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：US14129193

申请日：2012-06-13

申请人： Dong Geun Shin ,  Chang Hyun Son

发明人： Dong Geun Shin ,  Chang Hyun Son

IPC分类号： C30B23/06 ,  C30B23/00 ,  C30B29/36

CPC分类号： C30B23/005 ,  C30B23/00 ,  C30B29/36

摘要： Disclosed is an apparatus for fabricating an ingot. The apparatus includes a crucible to receive a raw material, a holder disposed at an upper portion of the crucible to fix a seed, and a filter part in the crucible. The filter part is spaced apart from a surface of the raw material.

公开(公告)号：US20140082916A1

公开(公告)日：2014-03-27

申请号：US14118118

申请日：2012-05-17

申请人： Chang Hyun Son ,  Bum Sup Kim

发明人： Chang Hyun Son ,  Bum Sup Kim

IPC分类号： C30B23/02

CPC分类号： C30B23/02 ,  C30B23/00 ,  C30B23/025 ,  C30B25/12 ,  Y10T29/49826

摘要： Disclosed is an apparatus for attaching a seed. The apparatus for attaching the seed includes a holder fixing part to fix a seed holder; a pressing part to apply a pressure to the seed holder; and a seed fixing part provided under the seed holder to fix the seed.

摘要翻译： 公开了一种用于连接种子的装置。 用于安装种子的装置包括用于固定种子保持器的保持器固定部分; 压榨部，向种子保持器施加压力; 以及种子固定部分，设置在种子保持器下方以固定种子。