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    Flow-formed chamber component having a textured surface
    1.
    发明申请
    Flow-formed chamber component having a textured surface 有权
    具有纹理表面的流动形成的室部件

    公开(公告)号：US20070059460A1

    公开(公告)日：2007-03-15

    申请号：US11234012

    申请日：2005-09-09

    申请人： Stephen Abney ,  Anthony Vesci ,  Joseph Sommers ,  Marc Schweitzer ,  Scott Dickerson ,  Jennifer Tiller

    发明人： Stephen Abney ,  Anthony Vesci ,  Joseph Sommers ,  Marc Schweitzer ,  Scott Dickerson ,  Jennifer Tiller

    IPC分类号： B31B45/00

    CPC分类号： C23C14/564 ,  B21D22/16 ,  B21J5/12 ,  C23C16/4404 ,  H01J37/32009 ,  Y10T428/13

    摘要： A method of fabricating a component for a substrate processing chamber involves providing a preform having internal and external surfaces, and providing a mandrel having a textured surface with a pattern of textured features comprising protrusions and depressions. The internal surface of the preform component is contacted with the textured surface of mandrel, and a pressure is applied to the external surface of the preform. The pressure is sufficiently high to plastically deform the preform over the textured surface of the mandrel to form a component having a textured internal surface comprising the pattern of textured feature that are shaped and sized to adhere process residues generated in the processing of substrates.

    摘要翻译： 制造用于衬底处理室的部件的方法包括提供具有内部和外部表面的预成型件，并且提供具有纹理表面的心轴，其具有包括凸起和凹陷的纹理特征图案。 预成型件部件的内表面与芯棒的纹理表面接触，并且将压力施加到预成型件的外表面。 压力足够高以使预成型件在心轴的纹理表面上塑性变形，以形成具有纹理化内表面的部件，该内表面包括纹理特征图案，其形状和尺寸适于粘附在基底加工中产生的工艺残留物。

    Flow-formed chamber component having a textured surface
    2.
    发明授权
    Flow-formed chamber component having a textured surface 有权
    具有纹理表面的流动形成的室部件

    公开(公告)号：US07762114B2

    公开(公告)日：2010-07-27

    申请号：US11234012

    申请日：2005-09-09

    申请人： Stephen Abney ,  Anthony Vesci ,  Joseph F. Sommers ,  Marc O'Donnell Schweitzer ,  Scott Dickerson ,  Jennifer Watia Tiller

    发明人： Stephen Abney ,  Anthony Vesci ,  Joseph F. Sommers ,  Marc O'Donnell Schweitzer ,  Scott Dickerson ,  Jennifer Watia Tiller

    IPC分类号： B21D22/16 ,  B21D17/02

    CPC分类号： C23C14/564 ,  B21D22/16 ,  B21J5/12 ,  C23C16/4404 ,  H01J37/32009 ,  Y10T428/13

    摘要： A method of fabricating a component for a substrate processing chamber involves providing a preform having internal and external surfaces, and providing a mandrel having a textured surface with a pattern of textured features comprising protrusions and depressions. The internal surface of the preform component is contacted with the textured surface of mandrel, and a pressure is applied to the external surface of the preform. The pressure is sufficiently high to plastically deform the preform over the textured surface of the mandrel to form a component having a textured internal surface comprising the pattern of textured feature that are shaped and sized to adhere process residues generated in the processing of substrates.

    摘要翻译： 制造用于衬底处理室的部件的方法包括提供具有内部和外部表面的预成型件，并且提供具有纹理表面的心轴，其具有包括凸起和凹陷的纹理特征图案。 预成型件部件的内表面与芯棒的纹理表面接触，并且将压力施加到预成型件的外表面。 压力足够高以使预成型件在心轴的纹理表面上塑性变形，以形成具有纹理化内表面的部件，该内表面包括纹理特征图案，其形状和尺寸适于粘附在基底加工中产生的工艺残留物。

    ELECTROFORMED SPUTTERING TARGET
    3.
    发明申请
    ELECTROFORMED SPUTTERING TARGET 审中-公开
    电动飞溅目标

    公开(公告)号：US20070246346A1

    公开(公告)日：2007-10-25

    申请号：US11764133

    申请日：2007-06-15

    申请人： Anantha Subramani ,  Anthony Vesci ,  Scott Dickerson

    发明人： Anantha Subramani ,  Anthony Vesci ,  Scott Dickerson

    IPC分类号： C23C14/34 ,  C23C14/06

    CPC分类号： C23C14/3414

    摘要： A sputtering target comprising an inverted annular trough encircling a central cylindrical well, and additionally comprising a plurality of electroplated layers of sputtering material is described. The sputtering material comprises at least one of aluminum, copper, tantalum, titanium and tungsten.

    摘要翻译： 描述了一种溅射靶，其包括环形中心圆柱形阱的倒置环形槽，并且另外包括多个溅射材料的电镀层。 溅射材料包括铝，铜，钽，钛和钨中的至少一种。

    Electroformed sputtering target
    4.
    发明授权
    Electroformed sputtering target 失效
    电铸溅射靶

    公开(公告)号：US07297247B2

    公开(公告)日：2007-11-20

    申请号：US10431399

    申请日：2003-05-06

    申请人： Anantha K. Subramani ,  Anthony Vesci ,  Scott Dickerson

    发明人： Anantha K. Subramani ,  Anthony Vesci ,  Scott Dickerson

    IPC分类号： C25D5/10 ,  C25D5/22 ,  C25D7/00

    CPC分类号： C23C14/3414

    摘要： A method of fabricating a sputtering target for sputter depositing material onto a substrate in a sputtering chamber is described. In one embodiment of the method, a preform having a surface is formed and a layer of sputtering material is electroplated onto the surface of the preform to form the target. The method can be applied to form a sputtering target having a non-planar surface.

    摘要翻译： 描述了一种制造溅射靶的方法，溅射靶用于溅射沉积溅射室中的衬底上的材料。 在该方法的一个实施例中，形成具有表面的预成型件，并且将溅射材料层电镀到预型件的表面上以形成靶。 该方法可以应用于形成具有非平面表面的溅射靶。

    SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATIC PROGRESSIVE LINK DISPERSAL
    5.
    发明申请
    SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATIC PROGRESSIVE LINK DISPERSAL 审中-公开
    用于自动连续分配的系统和方法

    公开(公告)号：US20120322547A1

    公开(公告)日：2012-12-20

    申请号：US13593913

    申请日：2012-08-24

    申请人： Scott Dickerson

    发明人： Scott Dickerson

    IPC分类号： A63F9/24

    CPC分类号： G07F17/3234 ,  G07F17/32 ,  G07F17/3258

    摘要： Certain embodiments provide a system and method for automatic progressive link management and dispersal. Certain embodiments of a progressive gaming system include a first progressive link, wherein the first progressive link includes a first progressive amount. The system also includes a second progressive link, wherein the second progressive link includes a second progressive amount. The system further includes a progressive manager capable of automatically dispersing to the second progressive amount a portion of the first progressive amount greater than a base amount upon removal of the first progressive link. In an embodiment, the progressive manager calculates the portion of the first progressive amount that is greater than the base amount. In an embodiment, the first and second progressive links are active in multiple gaming environments. The progressive manager may schedule automatic dispersal of the portion of the first progressive amount to a selected progressive amount at a selected time.

    摘要翻译： 某些实施例提供了用于自动进行链路管理和分散的系统和方法。 逐行游戏系统的某些实施例包括第一渐进链路，其中第一渐进链路包括第一渐进量。 系统还包括第二渐进链路，其中第二渐进链路包括第二渐进量。 该系统还包括能够在去除第一渐进链接时自动分散到第二渐进量的第一渐进量的一部分大于基本量的渐进式管理器。 在一个实施例中，逐行管理器计算大于基本量的第一渐进量的部分。 在一个实施例中，第一和第二渐进链接在多个游戏环境中是活动的。 逐行管理者可以在所选择的时间安排将第一渐进量的部分自动分散到所选择的渐进量。

    System and method for automatic progressive link dispersal
    8.
    发明申请
    System and method for automatic progressive link dispersal 有权
    自动逐行链接分散的系统和方法

    公开(公告)号：US20060183537A1

    公开(公告)日：2006-08-17

    申请号：US11059479

    申请日：2005-02-16

    申请人： Scott Dickerson

    发明人： Scott Dickerson

    IPC分类号： A63F9/24

    CPC分类号： G07F17/3234 ,  G07F17/32 ,  G07F17/3258

    摘要： Certain embodiments provide a system and method for automatic progressive link management and dispersal. Certain embodiments of a progressive gaming system include a first progressive link, wherein the first progressive link includes a first progressive amount. The system also includes a second progressive link, wherein the second progressive link includes a second progressive amount. The system further includes a progressive manager capable of automatically dispersing to the second progressive amount a portion of the first progressive amount greater than a base amount upon removal of the first progressive link. In an embodiment, the progressive manager calculates the portion of the first progressive amount that is greater than the base amount. In an embodiment, the first and second progressive links are active in multiple gaming environments. The progressive manager may schedule automatic dispersal of the portion of the first progressive amount to a selected progressive amount at a selected time.

    摘要翻译： 某些实施例提供了用于自动进行链路管理和分散的系统和方法。 逐行游戏系统的某些实施例包括第一渐进链路，其中第一渐进链路包括第一渐进量。 系统还包括第二渐进链路，其中第二渐进链路包括第二渐进量。 该系统还包括能够在去除第一渐进链接时自动分散到第二渐进量的第一渐进量的一部分大于基本量的渐进式管理器。 在一个实施例中，逐行管理器计算大于基本量的第一渐进量的部分。 在一个实施例中，第一和第二渐进链接在多个游戏环境中是活动的。 逐行管理者可以在所选择的时间安排将第一渐进量的部分自动分散到所选择的渐进量。

    System for autonomically improving performance of Enterprise Java Beans through dynamic workload management
    9.
    发明申请
    System for autonomically improving performance of Enterprise Java Beans through dynamic workload management 有权
    通过动态工作负载管理自动提高企业Java Bean的性能的系统

    公开(公告)号：US20060167892A1

    公开(公告)日：2006-07-27

    申请号：US11044464

    申请日：2005-01-27

    申请人： Bryan Chagoly ,  Scott Dickerson

    发明人： Bryan Chagoly ,  Scott Dickerson

    IPC分类号： G06F17/30

    CPC分类号： G06F9/5083 ,  G06F2209/5022 ,  G06F2209/508

    摘要： A system, method, and computer program for dynamically changing the weightings used by a workload distribution program to distribute Enterprise JavaBeans among a group of application servers handling EJBs. The changes are made in response to real-time measurements of the performance of EJBs involved in e-business transactions based on the dynamic insertion of monitors within the EJBs to measure their class and method performance from within the J2EE server. The performance data can be tracked for specific users or specific types of transactions, so that the servers are weighted for optimal handling of the most critical EJBs.

    摘要翻译： 一种系统，方法和计算机程序，用于动态更改工作负载分配程序使用的权重，以将Enterprise JavaBeans分发到处理EJB的一组应用程序服务器中。 响应于EJB中涉及电子商务交易的EJB性能的实时测量，这些更改是基于EJB内的监视器的动态插入来测量J2EE服务器中的类和方法性能的。 性能数据可以针对特定用户或特定类型的事务进行跟踪，以便对最重要的EJB的最优处理进行加权。