公开(公告)号：US08110296B2

公开(公告)日：2012-02-07

申请号：US12221690

申请日：2008-08-06

申请人： Sven Ulrich ,  Michael Stüber ,  Harald Leiste ,  Helmut Holleck

发明人： Sven Ulrich ,  Michael Stüber ,  Harald Leiste ,  Helmut Holleck

IPC分类号： B32B9/00

CPC分类号： C23C14/06 ,  C04B35/5611 ,  C04B35/58014 ,  C04B2235/3418 ,  C23C14/0676 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/252

摘要： In a multi-functional hard material coating of a substrate wherein the hard material coating comprises a single phase crystalline structure including metastable mixed crystals of at least two hard material components which are not soluble in each other and comprise at least one metallic hard material and an ionic hard material whereby the advantages of metallic and ionic hard material components are combined.

摘要翻译： 在基质的多功能硬质材料涂层中，其中所述硬质材料涂层包括单相晶体结构，其包括至少两种彼此不溶的硬质材料成分的亚稳态混合晶体，并且包含至少一种金属硬质材料和 离子硬质材料，从而结合了金属和离子硬质材料组分的优点。

公开(公告)号：US20090061156A1

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：US12221690

申请日：2008-08-06

申请人： Sven Ulrich ,  Michael Stuber ,  Harald Leiste ,  Helmut Holleck

发明人： Sven Ulrich ,  Michael Stuber ,  Harald Leiste ,  Helmut Holleck

IPC分类号： B32B18/00 ,  B32B15/04 ,  B32B17/06 ,  B32B9/04 ,  C23C14/34 ,  C23C16/513

CPC分类号： C23C14/06 ,  C04B35/5611 ,  C04B35/58014 ,  C04B2235/3418 ,  C23C14/0676 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/252

摘要： In a multi-functional hard material coating of a substrate wherein the hard material coating comprises a single phase crystalline structure including metastable mixed crystals of at least two hard material components which are not soluble in each other and comprise at least one metallic hard material and an ionic hard material whereby the advantages of metallic and ionic hard material components are combined.

摘要翻译： 在基质的多功能硬质材料涂层中，其中所述硬质材料涂层包括单相晶体结构，其包括至少两种彼此不溶的硬质材料成分的亚稳态混合晶体，并且包含至少一种金属硬质材料和 离子硬质材料，从而结合了金属和离子硬质材料组分的优点。

公开(公告)号：US07506609B2

公开(公告)日：2009-03-24

申请号：US10847555

申请日：2004-05-17

申请人： Sven Ulrich ,  Michael Stüber ,  Harald Leiste ,  Lorenz Niederberger ,  Konrad Sell ,  Martina Lattemann ,  Roland Loos

发明人： Sven Ulrich ,  Michael Stüber ,  Harald Leiste ,  Lorenz Niederberger ,  Konrad Sell ,  Martina Lattemann ,  Roland Loos

IPC分类号： C23C16/00 ,  C23F1/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： H01J37/32192 ,  H01J37/32275 ,  H01J37/32678 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4622

摘要： In an arrangement for generating a local electron-cyclotron-microwave-low pressure plasma at a certain location within a gas-filled process chamber, a microwave supply means providing a microwave beam and a plasma localization unit generating a magnetic field are provided such that the magnetic field and the microwave beam intersect each other in the process chamber. The microwaves are uncoupled onto a concave reflection structure from the focal point thereof so that the microwave beam generated is essentially parallel. An arrangement for generating a magnetic field is movable along the microwave beam axis so that a cross volume between the microwave beam and the magnetic field can be moved along the beam axis whereby the conditions for electron cyclotron resonance are adjustable by displacement of the magnetic field.

摘要翻译： 在用于在气体填充处理室内的某一位置产生局部电子 - 回旋加速器 - 微波 - 低压等离子体的装置中，提供了提供微波束的微波提供装置和产生磁场的等离子体定位单元， 磁场和微波束在处理室中彼此相交。 微波从其焦点分离到凹面反射结构上，使得产生的微波束基本上是平行的。 用于产生磁场的装置可以沿着微波束轴线移动，使得微波束和磁场之间的交叉体积可以沿着光束轴线移动，由此电子回旋共振的条件可以通过磁场的位移来调节。

公开(公告)号：US20090128445A1

公开(公告)日：2009-05-21

申请号：US11914420

申请日：2006-03-31

申请人： Klaus Seemann ,  Harald Leiste ,  Viacheslav Bekker ,  Stefan Zils

发明人： Klaus Seemann ,  Harald Leiste ,  Viacheslav Bekker ,  Stefan Zils

IPC分类号： H01Q15/00 ,  B05D5/12

CPC分类号： H01L23/552 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A device for attenuating reflections of an electromagnetic wave impinging thereon and a method of making the device. The device includes a structured film comprised of at least one of a ferromagnetic and ferrimagnetic material. The structured film has a structure and a uniform film portion of the at least one of a ferromagnetic and ferrimagnetic material underneath the structure such that the structured film has at least two different resonance frequencies.

摘要翻译： 用于衰减照射在其上的电磁波的反射的装置以及制造该装置的方法。 该装置包括由铁磁性材料和亚铁磁材料中的至少一种构成的结构化膜。 结构化膜具有在结构下方的铁磁性和铁磁性材料中的至少一种的结构和均匀的膜部分，使得结构化膜具有至少两个不同的共振频率。

公开(公告)号：US07834818B2

公开(公告)日：2010-11-16

申请号：US11914420

申请日：2006-03-31

申请人： Klaus Seemann ,  Harald Leiste ,  Viacheslav Bekker ,  Stefan Zils

发明人： Klaus Seemann ,  Harald Leiste ,  Viacheslav Bekker ,  Stefan Zils

IPC分类号： H01Q15/02

CPC分类号： H01L23/552 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A device for attenuating reflections of an electromagnetic wave impinging thereon and a method of making the device. The device includes a structured film comprised of at least one of a ferromagnetic and ferrimagnetic material. The structured film has a structure and a uniform film portion of the at least one of a ferromagnetic and ferrimagnetic material underneath the structure such that the structured film has at least two different resonance frequencies.

摘要翻译： 用于衰减照射在其上的电磁波的反射的装置以及制造该装置的方法。 该装置包括由铁磁性材料和亚铁磁材料中的至少一种构成的结构化膜。 结构化膜具有在结构下方的铁磁性和铁磁性材料中的至少一种的结构和均匀的膜部分，使得结构化膜具有至少两个不同的共振频率。

公开(公告)号：US07642098B2

公开(公告)日：2010-01-05

申请号：US11910633

申请日：2006-03-25

申请人： Viacheslav Bekker ,  Harald Leiste ,  Klaus Seemann ,  Stefan Zils

发明人： Viacheslav Bekker ,  Harald Leiste ,  Klaus Seemann ,  Stefan Zils

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L29/82 ,  G11C11/02

CPC分类号： H01F41/34 ,  H01F10/14 ,  H01F41/18 ,  Y10T428/12361

摘要： A film and method of preparing a film. The film is made of at least one of ferromagnetic and ferrimagnetic material. An elongated slot is included in the material and is operable to control the domain structure of the material. The depth of the elongated slot is the same as the thickness of the film and the width of the elongated slot is greater than an exchange length of the material. The slot is free from contact with any side of the film.

摘要翻译： 一种制备薄膜的薄膜和方法。 该薄膜由铁磁材料和亚铁磁材料中的至少一种制成。 材料中包括一个细长的狭槽，可操作以控制材料的结构结构。 细长槽的深度与膜的厚度相同，并且细长槽的宽度大于材料的交换长度。 插槽与电影的任何一侧都不接触。

公开(公告)号：US20080160333A1

公开(公告)日：2008-07-03

申请号：US11910633

申请日：2006-03-25

申请人： Viacheslav Bekker ,  Harald Leiste ,  Klaus Seemann ,  Stefan Zils

发明人： Viacheslav Bekker ,  Harald Leiste ,  Klaus Seemann ,  Stefan Zils

IPC分类号： B32B1/04 ,  H01F41/32 ,  B32B3/10 ,  H01F10/14

CPC分类号： H01F41/34 ,  H01F10/14 ,  H01F41/18 ,  Y10T428/12361

摘要： A film and method of preparing a film. The film is made of at least one of ferromagnetic and ferrimagnetic material. An elongated slot is included in the material and is operable to control the domain structure of the material. The depth of the elongated slot is the same as the thickness of the film and the width of the elongated slot is greater than an exchange length of the material. The slot is free from contact with any side of the film.

摘要翻译： 一种制备薄膜的薄膜和方法。 该薄膜由铁磁材料和亚铁磁材料中的至少一种制成。 材料中包括一个细长的狭槽，可操作以控制材料的结构结构。 细长槽的深度与膜的厚度相同，并且细长槽的宽度大于材料的交换长度。 插槽与电影的任何一侧都不接触。