公开(公告)号：US4724796A

公开(公告)日：1988-02-16

申请号：US941825

申请日：1986-12-15

申请人： Horst Ranke ,  Volker Bauer ,  Albert Feuerstein ,  Walter Dietrich

发明人： Horst Ranke ,  Volker Bauer ,  Albert Feuerstein ,  Walter Dietrich

IPC分类号： C23C14/30 ,  H01J37/305 ,  C23C14/24

CPC分类号： H01J37/3053 ,  C23C14/30

摘要： A vaporization arrangement for coating substrates disposed in an areal region, or past through an areal region, comprises a rectangular vaporization crucible with a crucible rim, as well as plurality of electron guns each having an X-Y deflecting system. The electron guns are disposed on one side of the drucible axis separately from the crucible in such a manner that their beam axis extend parallel to one another and are directed on a plane passing vertically through the longitudinal axis of the crucible. The arrangement further comprises means for deflecting the electron means onto the surface of the contents of the crucible. Such means include an alternating serial arrangement of linear coils, on the side of the crucible opposite to the electron guns, and pole plates disposed both between the linear coils and at their ends. The pole plates at the ends of a linear coil in each case assume such a position relative to an opposite electron gun, such that the beam axis is substantially in a perpendicular plane of symmetry between the pole plates.

摘要翻译： 用于涂覆设置在面区域中或经过面区域的基底的蒸发布置包括具有坩埚边缘的矩形蒸发坩埚以及各自具有X-Y偏转系统的多个电子枪。 电子枪与坩埚分开地设置在可燃轴线的一侧上，使得它们的光束轴线彼此平行延伸并且指向垂直穿过坩埚的纵向轴线的平面。 该装置还包括用于将电子装置偏转到坩埚内容物的表面上的装置。 这种装置包括在与电子枪相对的坩埚的侧面上的线性线圈的交替串联布置，以及设置在线性线圈之间和它们两端的极板。 在每种情况下，线性线圈的端部处的极板相对于相对的电子枪呈现这样的位置，使得光束轴线基本上处于极板之间的垂直对称平面中。

公开(公告)号：US4613306A

公开(公告)日：1986-09-23

申请号：US729675

申请日：1985-05-02

申请人： Volker Bauer ,  Albert Feuerstein ,  Horst Ranke

发明人： Volker Bauer ,  Albert Feuerstein ,  Horst Ranke

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/30 ,  F27B14/10 ,  C23C16/00 ,  H01J37/305 ,  H05B6/16

CPC分类号： C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/30

摘要： Evaporator crucible for vacuum depositing systems, having a crucible bottom with at least one bottom opening for the introduction of material in rod form for evaporation. At a distance from the bottom opening there is provided at least one metal crucible rim which preferably is provided with a coolant passage. To solve the problem of reducing the heat losses, the crucible rim is provided internally on at least a part of its depth with a lagging comprising ceramic material. This lagging preferably comprises individual ceramic building blocks which are preferably compressed from magnesium oxide.

摘要翻译： 用于真空沉积系统的蒸发器坩埚，具有至少一个底部开口的坩埚底部，用于引入用于蒸发的棒形式的材料。 在距离底部开口一定距离处，设置有至少一个金属坩埚边缘，其优选地设置有冷却剂通道。 为了解决减少热损失的问题，坩埚边缘在其深度的至少一部分内部设置有包含陶瓷材料的滞后。 这种滞后优选包括优选地从氧化镁压制的单独的陶瓷结块。

公开(公告)号：US4648347A

公开(公告)日：1987-03-10

申请号：US738739

申请日：1985-05-29

申请人： Hans Aichert ,  Volker Bauer ,  Albert Feuerstein ,  Horst Ranke

发明人： Hans Aichert ,  Volker Bauer ,  Albert Feuerstein ,  Horst Ranke

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  C23C13/08

CPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/562

摘要： In vacuum depositing apparatus, especially for the manufacture of magnetic tapes, a substrate holder is disposed in the form of a cooling cylinder, and in the path of the vapor stream there is a mask for the purpose of geometrically restricting the vapor stream. In order to prevent any condensation of vaporized material in solid form, the surface of the mask facing the vapor stream is not aligned horizontally, and its lowermost edge lies within the projected surface of the crucible opening. The surface of the mask can be heated up to a temperature that is between the vaporizing temperature and the solidification temperature of the vaporized material. In an especially advantageous manner, the surface of the mask is formed by tiles of a ceramic material.

摘要翻译： 在真空沉积设备中，特别是用于制造磁带的情况下，衬底保持器以冷却筒的形式设置，并且在蒸气流的路径中存在用于几何限制蒸气流的掩模。 为了防止固体形式的气化材料的任何冷凝，面对蒸汽流的掩模的表面不是水平对准的，并且其最下边缘位于坩埚开口的投影表面内。 掩模的表面可以被加热到蒸发温度和汽化材料的凝固温度之间的温度。 以特别有利的方式，掩模的表面由陶瓷材料的瓷砖形成。

公开(公告)号：US4627989A

公开(公告)日：1986-12-09

申请号：US639363

申请日：1984-08-08

申请人： Albert Feuerstein ,  Gernot Thorn ,  Horst Ranke

发明人： Albert Feuerstein ,  Gernot Thorn ,  Horst Ranke

IPC分类号： C23C14/54 ,  H01J37/302 ,  C23C13/04 ,  C23C13/08

CPC分类号： C23C14/547 ,  H01J37/302

摘要： A method and system for a vacuum-evaporative film-deposition process displays bar charts of the local evaporation power of each vapor source in the process and the film thickness deposited thereby in spatial coordination on a single display screen.

摘要翻译： 用于真空蒸发膜沉积工艺的方法和系统显示在该过程中每个蒸气源的局部蒸发功率的条形图以及由此沉积的膜厚度在单个显示屏幕上的空间协调。

公开(公告)号：US4611330A

公开(公告)日：1986-09-09

申请号：US665299

申请日：1984-10-26

申请人： Volker Bauer ,  Horst Ranke

发明人： Volker Bauer ,  Horst Ranke

IPC分类号： C23C14/30 ,  C23C14/32 ,  H01J37/147 ,  H01J37/30 ,  H01J37/305

CPC分类号： H01J37/1475 ,  H01J37/3053

摘要： An electron beam vaporizer with an electron beam generator (1), a first magnetic deflector system (7) with parallel elongate pole plates (8) for linear beam deflection along a first coordinate, and with a second magnetic deflector system (10) for beam deflection along a second coordinate, perpendicular to the first coordinate. An elongate vaporizing crucible (6) holds the material to be vaporized. To solve the problem of maintaining focus even over large deflection angles and to be able to correct the deflection pattern, the invention proposes the following:(a) the second magnetic deflection system (10) has two parallel, non-metallic coil cores (11) which extend parallel to the pole plates (8) of the first deflection system (7) and are disposed below them.(b) on each coil core (11) is arranged a first coil (27) having a uniform number of turns per unit length of the coil core (a linear coil) and(c) on each coil core (11) is arranged a second coil (28) which has an increased number of turns per unit length towards the two ends of the coil core (11). In a particularly advantageous manner, each of the two second coils (28) comprises a conical coil.

摘要翻译： 一种具有电子束发生器（1）的电子束蒸发器，具有用于沿着第一坐标线性偏转的平行细长极板（8）的第一磁偏转器系统（7）和用于光束的第二磁偏转器系统（10） 垂直于第一坐标的沿着第二坐标的偏转。 细长的蒸发坩埚（6）保持待蒸发的材料。 为了解决即使在大的偏转角下保持聚焦的问题并且能够校正偏转图案，本发明提出如下：（a）第二磁偏转系统（10）具有两个平行的非金属线圈芯（11 ），其平行于第一偏转系统（7）的极板（8）延伸并且设置在其下方。 （b）在每个线圈芯（11）上布置有线圈芯（线性线圈）的每单位长度具有均匀匝数的第一线圈（27），并且（c）在每个线圈芯（11）上布置有 第二线圈（28），其具有朝向线圈芯（11）的两端的每单位长度的匝数增加。 在特别有利的方式中，两个第二线圈（28）中的每一个包括锥形线圈。

公开(公告)号：US4791301A

公开(公告)日：1988-12-13

申请号：US924255

申请日：1986-10-28

申请人： Volker Bauer ,  Josef Heimerl ,  Horst Ranke

发明人： Volker Bauer ,  Josef Heimerl ,  Horst Ranke

IPC分类号： C23C14/30 ,  H01J37/30 ,  H01J37/302 ,  H01J37/305 ,  G01K1/08 ,  H01J3/14

CPC分类号： H01J37/3005 ,  H01J37/302 ,  H01J37/305

摘要： The nominal position value for the impact point of an electron beam on a medium located in a crucible is input to a device having a screen on which the contours of the crucible are represented. Light pen means establish a plurality of nominal positions of impact of the electron beam within the represented contours of the crucible.

摘要翻译： 将电子束在位于坩埚中的介质的冲击点的标称位置值输入到具有表示坩埚轮廓的屏幕的装置。 光笔意味着在坩埚的表示的轮廓内建立电子束的冲击的多个标称位置。

公开(公告)号：US4988844A

公开(公告)日：1991-01-29

申请号：US480807

申请日：1990-02-16

申请人： Walter Dietrich ,  Horst Ranke ,  Herman Stumpp ,  Claus Heuser

发明人： Walter Dietrich ,  Horst Ranke ,  Herman Stumpp ,  Claus Heuser

IPC分类号： B23K15/02 ,  H01J37/244 ,  H01J37/305 ,  H05B7/00 ,  H05H1/26

CPC分类号： H01J37/228 ,  B23K15/02 ,  H01J37/244 ,  H01J37/305 ,  H05B7/00 ,  H05H1/26 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24578

摘要： The invention pertains to a process for the control of the strike positions of a plurality of electron beams on a melting bath. In this case, the light beams issuing from the surface of the melting bath are sent to a radiation splitter, the separated beams of which, as the case may be, are sent via additional radiation splitters to photoelectric sensors. The output signals of these sensors are sent to a control, which guides the electron beam guns, from which the electron beams issue.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于控制多个电子束在熔融槽上的冲击位置的方法。 在这种情况下，从熔融表面发出的光束被发送到辐射分离器，其分离的光束（视情况而定）经由附加的分光器发送到光电传感器。 这些传感器的输出信号被发送到控制器，该控制器引导电子束发射的电子束枪。

公开(公告)号：US4803398A

公开(公告)日：1989-02-07

申请号：US881709

申请日：1986-07-03

申请人： Reinhardt Kraft ,  Horst Ranke

发明人： Reinhardt Kraft ,  Horst Ranke

IPC分类号： C23C14/30 ,  H01J1/20 ,  H01J3/02 ,  H01J37/06 ,  H01J37/075

CPC分类号： H01J37/075 ,  H01J3/027

摘要： An electron gun with one directly heatable initial cathode (2), one indirectly heatable second blocking cathode (3) and one focusing electrode (17). The focusing electrode (17) presents an initial centering region (18) and, by means of supporting braces, the blocking cathode (3) is fixed concentrically in a carrier ring (19) presenting a second centering region complementary to the first centering region (18). This permits the blocking cathode (3) to be introduced into the focusing electrode from the back by means of the carrier ring (19), and the carrier ring (19) is secured by means of a locking ring (24).

摘要翻译： 具有一个可直接加热的初始阴极（2），一个间接可加热的第二阻挡阴极（3）和一个聚焦电极（17）的电子枪。 聚焦电极（17）呈现初始定心区域（18），并且通过支撑撑杆将阻挡阴极（3）同心地固定在载体环（19）中，所述载体环（19）具有与第一定心区域互补的第二定心区域 18）。 这允许阻挡阴极（3）通过承载环（19）从背面引入聚焦电极，并且承载环（19）通过锁定环（24）固定。

公开(公告)号：US4839904A

公开(公告)日：1989-06-13

申请号：US114782

申请日：1987-10-30

申请人： Aljet Harberts ,  Josef Heimerl ,  Horst Ranke

发明人： Aljet Harberts ,  Josef Heimerl ,  Horst Ranke

IPC分类号： F27B14/04 ,  C22B9/22 ,  C22B34/12 ,  F27B3/04 ,  F27B3/08 ,  F27D7/06 ,  F27D9/00 ,  F27D99/00

CPC分类号： F27D99/0006 ,  C22B34/1295 ,  C22B9/228 ,  F27B3/045 ,  F27B3/08 ,  F27D9/00 ,  F27D99/007 ,  F27D2007/066

摘要： An apparatus for melting metals in a vacuum chamber has a weir box (1), electron beam generators disposed above the weir box, and a crucible for the withdrawal of the melt flowing out of the weir box. A weir or sill is disposed in the trough athwart the length thereof, and it divides the trough into two basins and is situated underneath the one electron-beam source. The melt flowing from the one basin into the other runs in a thin film over the top of the weir or notch while the titanium nitrite in the melt is dissolved.

摘要翻译： 用于在真空室中熔化金属的设备具有堰箱（1），设置在堰箱上方的电子束发生器和用于从熔窑箱中流出的熔体抽出的坩埚。 堰或门槛设置在槽的长度上，并将槽分成两个盆，位于一个电子束源的下方。 从一个盆地流入另一个盆地的熔体在堰或槽口顶部的薄膜中流动，而熔融物中的亚硝酸钛溶解。

公开(公告)号：US4728850A

公开(公告)日：1988-03-01

申请号：US881635

申请日：1986-07-03

申请人： Reinhardt Kraft ,  Horst Ranke

发明人： Reinhardt Kraft ,  Horst Ranke

IPC分类号： H01J1/16 ,  H01J1/18 ,  H01J3/02 ,  H01J37/06

CPC分类号： H01J1/18 ,  H01J37/06

摘要： In a mounting device for electrically heated, spirally wound wire cathodes in electron guns, two mounting posts joined together by an insulator are configured as sector-shaped sections of a hollow cylinder, and have each a circumferential groove on its end remote from the insulator. The surfaces defining the grooves are parts of common circular and cylindrical surfaces, and the mounting ends of the cathodes are of a configuration approximately complementary to that of the grooves in the mounting posts. The mounting ends therefore lie in a spring-biased and form-fitting manner in the circumferential grooves.

摘要翻译： 在用于电子枪的电加热螺旋缠绕线阴极的安装装置中，通过绝缘体连接在一起的两个安装柱被构造为中空圆柱体的扇形部分，并且在其远离绝缘体的端部具有各自的周向凹槽。 限定凹槽的表面是常见的圆形和圆柱形表面的部分，并且阴极的安装端具有与安装柱中的凹槽大致互补的构造。 因此，安装端在周向凹槽中处于弹簧偏压和成形方式。