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    Inductive inertial sensor architecture and fabrication in packaging build-up layers
    2.
    发明授权
    Inductive inertial sensor architecture and fabrication in packaging build-up layers 有权
    感应惯性传感器结构和制造在包装堆积层

    公开(公告)号：US09429427B2

    公开(公告)日：2016-08-30

    申请号：US13720876

    申请日：2012-12-19

    申请人： Qing Ma ,  Feras Eid ,  Kevin Lin ,  Johanna M. Swan ,  Weng Hong Teh ,  Valluri R. Rao

    发明人： Qing Ma ,  Feras Eid ,  Kevin Lin ,  Johanna M. Swan ,  Weng Hong Teh ,  Valluri R. Rao

    IPC分类号： G01C19/00 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5776

    CPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5776

    摘要： This invention relates to inductive inertial sensors employing a magnetic drive and/or sense architecture. In embodiments, translational gyroscopes utilize a conductive coil made to vibrate in a first dimension as a function of a time varying current driven through the coil in the presence of a magnetic field. Sense coils register an inductance that varies as a function of an angular velocity in a second dimension. In embodiments, the vibrating coil causes first and second mutual inductances in the sense coils to deviate from each other as a function of the angular velocity. In embodiments, self-inductances associated with a pair of meandering coils vary as a function of an angular velocity in a second dimension. In embodiments, package build-up layers are utilized to fabricate the inductive inertial sensors, enabling package-level integrated inertial sensing advantageous in small form factor computing platforms, such as mobile devices.

    摘要翻译： 本发明涉及采用磁驱动和/或感测架构的感应惯性传感器。 在实施例中，平移陀螺仪利用在第一维度中制成的导电线圈作为在存在磁场的情况下驱动通过线圈的时变电流的函数。 感应线圈记录在第二维度上作为角速度的函数变化的电感。 在实施例中，振动线圈使得感测线圈中的第一和第二互感器作为角速度的函数彼此偏离。 在实施例中，与一对曲折线圈相关联的自感量作为第二维度中的角速度的函数而变化。 在实施例中，使用封装积层来制造感应惯性传感器，使得能够在诸如移动设备的小尺寸计算平台中有利的封装级集成惯性感测。

    SEMICONDUCTOR PACKAGE WITH MECHANICAL FUSE
    4.
    发明申请
    SEMICONDUCTOR PACKAGE WITH MECHANICAL FUSE 有权
    具有机械保险丝的半导体封装

    公开(公告)号：US20140002178A1

    公开(公告)日：2014-01-02

    申请号：US13537573

    申请日：2012-06-29

    申请人： Weng Hong Teh ,  Kevin L. Lin ,  Feras Eid ,  Qing Ma

    发明人： Weng Hong Teh ,  Kevin L. Lin ,  Feras Eid ,  Qing Ma

    IPC分类号： H01L29/84 ,  H01H85/48

    CPC分类号： H01L24/19 ,  H01H1/0036 ,  H01H59/0009 ,  H01L23/5382 ,  H01L23/5389 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/73267 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/00

    摘要： A semiconductor package having a mechanical fuse therein and methods to form a semiconductor package having a mechanical fuse therein are described. For example, a semiconductor structure includes a semiconductor package. A semiconductor die is housed in the semiconductor package. A microelectromechanical system (MEMS) device is housed in the semiconductor package. The MEMS device has a suspended portion. A mechanical fuse is housed in the semiconductor package and either coupled to, or decoupled from, the suspended portion of the MEMS device.

    摘要翻译： 描述了具有机械熔断器的半导体封装以及形成其中具有机械熔丝的半导体封装的方法。 例如，半导体结构包括半导体封装。 半导体管芯被容纳在半导体封装中。 微机电系统（MEMS）装置容纳在半导体封装中。 MEMS器件具有悬挂部分。 机械保险丝容纳在半导体封装中，并且耦合到MEMS器件的悬置部分或从MEMS器件的悬挂部分解耦。

    Semiconductor package with mechanical fuse
    5.
    发明授权
    Semiconductor package with mechanical fuse 有权
    半导体封装带机械保险丝

    公开(公告)号：US08633551B1

    公开(公告)日：2014-01-21

    申请号：US13537573

    申请日：2012-06-29

    申请人： Weng Hong Teh ,  Kevin L. Lin ,  Feras Eid ,  Qing Ma

    发明人： Weng Hong Teh ,  Kevin L. Lin ,  Feras Eid ,  Qing Ma

    IPC分类号： H01L27/14

    CPC分类号： H01L24/19 ,  H01H1/0036 ,  H01H59/0009 ,  H01L23/5382 ,  H01L23/5389 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/73267 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/00

    摘要： A semiconductor package having a mechanical fuse therein and methods to form a semiconductor package having a mechanical fuse therein are described. For example, a semiconductor structure includes a semiconductor package. A semiconductor die is housed in the semiconductor package. A microelectromechanical system (MEMS) device is housed in the semiconductor package. The MEMS device has a suspended portion. A mechanical fuse is housed in the semiconductor package and either coupled to, or decoupled from, the suspended portion of the MEMS device.

    摘要翻译： 描述了具有机械熔断器的半导体封装以及形成其中具有机械熔丝的半导体封装的方法。 例如，半导体结构包括半导体封装。 半导体管芯被容纳在半导体封装中。 微机电系统（MEMS）装置容纳在半导体封装中。 MEMS器件具有悬挂部分。 机械保险丝容纳在半导体封装中，并且耦合到MEMS器件的悬置部分或从MEMS器件的悬挂部分解耦。

    METHOD OF FORMING A MAGNETIC MEMS TUNABLE CAPACITOR
    9.
    发明申请
    METHOD OF FORMING A MAGNETIC MEMS TUNABLE CAPACITOR 审中-公开
    形成磁电MEMS电容器的方法

    公开(公告)号：US20150002984A1

    公开(公告)日：2015-01-01

    申请号：US13931632

    申请日：2013-06-28

    申请人： Weng Hong TEH ,  Qing Ma ,  Johanna M. Swan ,  Valluri R. Rao

    发明人： Weng Hong TEH ,  Qing Ma ,  Johanna M. Swan ,  Valluri R. Rao

    IPC分类号： H01L25/16 ,  H01G7/00 ,  H01L43/02 ,  H01L49/02 ,  H01L43/12

    CPC分类号： H01L25/16 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/0221 ,  H01G5/16 ,  H01G7/00 ,  H01L24/24 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/24195 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/73267 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19105 ,  H01L2924/00

    摘要： An apparatus including a die; a carrier coupled to the die; and at least one capacitor positioned in or on the carrier, the at least one capacitor including a first electrode, a second electrode and a dielectric material; and a magnet positioned such that a magnetic field at least partially actuates the second electrode toward the first electrode. A method including disposing a die, a first electrode of a capacitor and a magnet on a sacrificial substrate; forming a dielectric layer on the first electrode; patterning a conductive material coupled to the first electrode; patterning a second electrode on the dielectric layer; and removing the sacrificial substrate. A method including exposing a suspended first electrode of a capacitor in a package to a magnetic field; driving a current in a first direction through the first electrode; and establishing a voltage difference between the first electrode and a second electrode.

    摘要翻译： 一种包括模具的设备; 耦合到管芯的载体; 以及位于所述载体中或载体上的至少一个电容器，所述至少一个电容器包括第一电极，第二电极和电介质材料; 以及定位成使得磁场至少部分地致动第二电极朝向第一电极的磁体。 一种方法，包括在牺牲基板上设置管芯，电容器的第一电极和磁体; 在所述第一电极上形成介电层; 图案化耦合到所述第一电极的导电材料; 在所述电介质层上构图第二电极; 并去除牺牲衬底。 一种包括将封装中的电容器的悬置的第一电极暴露于磁场的方法; 沿第一方向驱动电流通过第一电极; 以及在所述第一电极和第二电极之间建立电压差。

    Method, apparatus and system for providing metering of acceleration
    10.
    发明授权
    Method, apparatus and system for providing metering of acceleration 有权
    用于提供加速度计量的方法，装置和系统

    公开(公告)号：US09250261B2

    公开(公告)日：2016-02-02

    申请号：US13730634

    申请日：2012-12-28

    申请人： Kevin L. Lin ,  Feras Eid ,  Qing Ma

    发明人： Kevin L. Lin ,  Feras Eid ,  Qing Ma

    IPC分类号： G01P15/105 ,  G01P15/08

    CPC分类号： G01P15/105 ,  G01P15/08

    摘要： Techniques and mechanisms to provide for metering acceleration. In an embodiment, a microelectromechanical accelerometer includes a magnet, a mass, and a first support beam portion and second support beam portion for suspension of the mass. Resonance frequency characteristics of the first support beam portion and second support beam portion, based on the magnet and a current conducted by the first support beam portion and second support beam portion, are indicative of acceleration of the mass. In another embodiment, the accelerometer further includes a first wire portion and a second wire portion which are each coupled to the mass and further coupled to a respective anchor for exchanging a signal with the first wire portion and the second wire portion. The first wire portion and the second wire portion provide for biasing of the mass.

    摘要翻译： 提供计量加速度的技术和机制。 在一个实施例中，微机电加速度计包括用于悬挂质量的磁体，质量块和第一支撑梁部分和第二支撑梁部分。 基于磁体的第一支撑梁部分和第二支撑梁部分的共振频率特性以及由第一支撑梁部分和第二支撑梁部分传导的电流表示质量的加速度。 在另一个实施例中，加速度计还包括第一线部分和第二线部分，每个第一线部分和第二线部分均耦合到质量块，并且还耦合到相应的锚，用于与第一线部分和第二线部分交换信号。 第一线部分和第二线部分提供质量的偏压。