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    Print head nozzle formation
    1.
    发明授权
    Print head nozzle formation 有权
    打印头喷嘴形成

    公开(公告)号：US08377319B2

    公开(公告)日：2013-02-19

    申请号：US12027597

    申请日：2008-02-07

    申请人： Zhenfang Chen ,  Andreas Bibl ,  Paul A. Hoisington

    发明人： Zhenfang Chen ,  Andreas Bibl ,  Paul A. Hoisington

    IPC分类号： G01D15/00

    CPC分类号： B41J2/1623 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1645

    摘要： Techniques are provided for forming nozzles in a microelectromechanical device. The nozzles are formed in a layer prior to the layer being bonded onto another portion of the device. Forming the nozzles in the layer prior to bonding enables forming nozzles that have a desired depth and a desired geometry. Selecting a particular geometry for the nozzles can reduce the resistance to ink flow as well as improve the uniformity of the nozzles across the microelectromechanical device.

    摘要翻译： 提供了用于在微机电装置中形成喷嘴的技术。 在将层粘合到装置的另一部分之前，喷嘴形成在一层中。 在接合之前在层中形成喷嘴可以形成具有期望深度和期望几何形状的喷嘴。 为喷嘴选择特定的几何形状可以降低油墨流动的阻力，并且提高喷嘴在整个微机电装置上的均匀性。

    Print Head Nozzle Formation
    2.
    发明申请
    Print Head Nozzle Formation 有权
    打印头喷嘴形成

    公开(公告)号：US20080128387A1

    公开(公告)日：2008-06-05

    申请号：US12027597

    申请日：2008-02-07

    申请人： Zhenfang Chen ,  Andreas Bibl ,  Paul A. Hoisington

    发明人： Zhenfang Chen ,  Andreas Bibl ,  Paul A. Hoisington

    IPC分类号： G11B5/127

    CPC分类号： B41J2/1623 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1645

    摘要： Techniques are provided for forming nozzles in a microelectromechanical device. The nozzles are formed in a layer prior to the layer being bonded onto another portion of the device. Forming the nozzles in the layer prior to bonding enables forming nozzles that have a desired depth and a desired geometry. Selecting a particular geometry for the nozzles can reduce the resistance to ink flow as well as improve the uniformity of the nozzles across the microelectromechanical device.

    摘要翻译： 提供了用于在微机电装置中形成喷嘴的技术。 在将层粘合到装置的另一部分之前，喷嘴形成在一层中。 在接合之前在层中形成喷嘴可以形成具有期望深度和期望几何形状的喷嘴。 为喷嘴选择特定的几何形状可以降低油墨流动的阻力，并且提高喷嘴在整个微机电装置上的均匀性。

    Print head nozzle formation
    3.
    发明授权
    Print head nozzle formation 有权
    打印头喷嘴形成

    公开(公告)号：US07347532B2

    公开(公告)日：2008-03-25

    申请号：US10913571

    申请日：2004-08-05

    申请人： Zhenfang Chen ,  Andreas Bibl ,  Paul A. Hoisington

    发明人： Zhenfang Chen ,  Andreas Bibl ,  Paul A. Hoisington

    IPC分类号： B41J2/14 ,  B41J2/16

    CPC分类号： B41J2/1623 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1645

    摘要： Techniques are provided for forming nozzles in a microelectromechanical device. The nozzles are formed in a layer prior to the layer being bonded onto another portion of the device. Forming the nozzles in the layer prior to bonding enables forming nozzles that have a desired depth and a desired geometry. Selecting a particular geometry for the nozzles can reduce the resistance to ink flow as well as improve the uniformity of the nozzles across the microelectromechanical device.

    摘要翻译： 提供了用于在微机电装置中形成喷嘴的技术。 在将层粘合到装置的另一部分之前，喷嘴形成在一层中。 在接合之前在层中形成喷嘴可以形成具有期望深度和期望几何形状的喷嘴。 为喷嘴选择特定的几何形状可以降低油墨流动的阻力，并且提高喷嘴在整个微机电装置上的均匀性。

    METHOD AND APPARATUS FOR SUBSTRATE BONDING
    8.
    发明申请
    METHOD AND APPARATUS FOR SUBSTRATE BONDING 审中-公开
    基板接合方法与装置

    公开(公告)号：US20110092049A1

    公开(公告)日：2011-04-21

    申请号：US12991808

    申请日：2009-05-08

    申请人： Zhenfang Chen ,  Jeffrey Birkmeyer ,  Andreas Bibl ,  John A. Higginson

    发明人： Zhenfang Chen ,  Jeffrey Birkmeyer ,  Andreas Bibl ,  John A. Higginson

    IPC分类号： H01L21/30

    CPC分类号： B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1632 ,  B41J2002/14266 ,  C09J5/02 ,  C09J5/06 ,  H01L41/313

    摘要： Methods for bonding a first substrate to a second substrate are described. A surface of the first substrate is coated with an adhesive layer. The adhesive layer is cured to b-stage. The surface of the first substrate is positioned in contact with the second substrate. An edge of the first substrate is pressed to an edge of the second substrate to initiate Van der Waals bonding. The first and second substrates are allowed to come together by Van der Waals bonding. The bonded first and second substrates are subjected to a sufficient heat for a sufficient time period to cure completely the adhesive layer.

    摘要翻译： 描述了将第一衬底接合到第二衬底的方法。 第一基板的表面涂覆有粘合剂层。 粘合剂层固化至b阶段。 第一基板的表面定位成与第二基板接触。 第一衬底的边缘被压到第二衬底的边缘以引发范德华力结合。 允许第一和第二基底通过范德华力粘合而合在一起。 将粘结的第一和第二基底经受充足的热量足够的时间以完全固化粘合剂层。

    Insulated Film Use in a Mems Device
    9.
    发明申请
    Insulated Film Use in a Mems Device 有权
    在Mems设备中使用绝缘膜

    公开(公告)号：US20110115341A1

    公开(公告)日：2011-05-19

    申请号：US12992246

    申请日：2009-05-21

    申请人： Jeffrey Birkmeyer ,  Darren T. Imai ,  Andreas Bibl ,  Zhenfang Chen

    发明人： Jeffrey Birkmeyer ,  Darren T. Imai ,  Andreas Bibl ,  Zhenfang Chen

    IPC分类号： H01L41/047 ,  H01L41/22

    CPC分类号： B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49156 ,  Y10T29/49401

    摘要： A method of forming an actuator and an actuable device formed by this method are disclosed. This method includes depositing a photoimageable material to form a first photoimageable layer on a piezoelectric layer; patterning the first photoimageable layer to form an aperture; and disposing a first conductive layer on the first photoimageable layer. The first conductive layer partially overlies the first photoimageable layer such that a first portion of the first conductive layer contacts the first photoimageable layer and a second portion of the first conductive layer electrically contacts the piezoelectric layer in the aperture.

    摘要翻译： 公开了一种形成致动器的方法和通过该方法形成的致动装置。 该方法包括沉积光致成像材料以在压电层上形成第一可光成像层; 图案化第一可光成像层以形成孔; 以及将第一导电层设置在所述第一可光成像层上。 第一导电层部分地覆盖第一可光成像层，使得第一导电层的第一部分接触第一可光成像层，第一导电层的第二部分与孔中的压电层电接触。