公开(公告)号：WO2013190263A1

公开(公告)日：2013-12-27

申请号：PCT/GB2013/050999

申请日：2013-04-19

Applicant: OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LIMITED

Inventor： GARSIDE, John ,  FOSTER, Timothy John

IPC: F25B9/14 ,  F25J1/00 ,  F25J1/02 ,  F25B9/00

CPC classification number: G01R33/3804 ,  B01D8/00 ,  F25B9/00 ,  F25B9/14 ,  F25B9/145

Abstract: A cryogenic refrigeration system is provided having particular application in cooling a Magnetic Resonance Imaging system. The cryogenic refrigeration system comprises a conduit arranged as a cooling circuit through which a coolant fluid is pumped, the conduit being in thermal communication with a least one cooled stage for cooling the coolant fluid to a first temperature, and wherein the conduit comprises a cryotrap in communication with the coolant fluid, the cryotrap being operable to remove contaminants from the coolant fluid by cryogenic pumping. The conduit further comprises a flow impedance for cooling the coolant fluid to a second temperature lower than the first temperature, and a hydrogen filter upstream of the flow impedance and in communication with the coolant fluid, the hydrogen filter being cooled to a temperature below the freezing point of hydrogen in the coolant fluid and operable to remove contaminant hydrogen from the coolant fluid.

Abstract translation: 提供了一种特别适用于冷却磁共振成像系统的低温制冷系统。 低温制冷系统包括布置成冷却回路的导管，通过冷却回路泵送冷却剂流体，导管与至少一个冷却级热连通，用于将冷却剂流体冷却至第一温度，并且其中导管包括冷冻机 与冷却剂流体的连通，该冷冻机可操作以通过低温泵送从冷却剂流体中除去污染物。 导管还包括用于将冷却剂流体冷却到低于第一温度的第二温度的流动阻力，以及在流动阻抗上游并与冷却剂流体连通的氢过滤器，将氢过滤器冷却至低于该温度的温度 点在冷却剂流体中并可操作以从冷却剂流体中去除污染物氢。

公开(公告)号：WO2012109304A2

公开(公告)日：2012-08-16

申请号：PCT/US2012024243

申请日：2012-02-08

Applicant: BROOKS AUTOMATION INC ,  SYSSOEV SERGEI ,  BARTLETT ALLEN J ,  CASELLO JOHN J ,  WELLS JEFFREY A ,  EACOBACCI MICAHEL J

Inventor： SYSSOEV SERGEI ,  BARTLETT ALLEN J ,  CASELLO JOHN J ,  WELLS JEFFREY A ,  EACOBACCI MICAHEL J

IPC: F04B37/08

CPC classification number: F04B37/08 ,  B01D8/00 ,  Y10T29/49236

Abstract: A cryopump has a simple-to-manufacture frontal baffle plate with improved gas distribution and has a large-area second-stage array plate to capture Type II gases. The cryopump has a first-stage frontal baffle plate having orifices and flaps bent from and attached to the orifices. The cryopump has a second-stage top plate that is larger in area than cooling baffles of the second stage array.

Abstract translation: 低温泵具有易于制造的具有改进的气体分布的前部挡板和具有用于捕获II型气体的大面积第二级阵列板。 低温泵具有第一级正面挡板，该第一级正面挡板具有从孔口弯曲并连接到孔口的孔口和翼片。 低温泵具有面积大于第二级阵列的冷却挡板的第二级顶板。

公开(公告)号：WO2012039523A1

公开(公告)日：2012-03-29

申请号：PCT/KR2010/006626

申请日：2010-09-29

Applicant: 에스엔유 프리시젼 주식회사 ,  윤형석 ,  남궁성태 ,  김장미 ,  박일준

Inventor： 윤형석 ,  남궁성태 ,  김장미 ,  박일준

IPC: B01D8/00 ,  C23C14/12 ,  H01L51/56

CPC classification number: B01D8/00 ,  B05D1/60 ,  C23C14/12 ,  C23C14/56 ,  H01L51/56

Abstract: 본 발명은 모노머 냉각트랩에 관한 것으로서, 증착 공정 중 발생하는 가스 및 모노머(monomer)를 외부로 배출하는 유로 상에 설치되며, 케이스; 상기 가스 및 모노머가 흡입되는 흡입구; 상기 케이스 내부에 수용되며, 내부에 냉매가 유동할 수 있는 유로가 형성되고, 표면에서 상기 모노머가 부착되며, 상하면을 관통하도록 형성된 관통홀을 구비하는 냉각 플레이트; 및 상기 케이스 내부의 가스가 배기되는 배기구;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种单体冷却阱，其安装在将在蒸发过程中产生的气体和单体排放到外部的路径上，其特征在于包括：壳体; 用于吸入气体和单体的吸孔; 容纳在壳体中的冷却板，并且具有形成在内部的路径，使得制冷剂可以流过其中，单体附着的表面和形成为穿透上表面和下表面的通孔; 以及用于从壳体的内部排出气体的排气孔。

公开(公告)号：WO2012002191A1

公开(公告)日：2012-01-05

申请号：PCT/JP2011/064093

申请日：2011-06-20

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  福森 弘司

Inventor： 福森　弘司

IPC: H01L21/31 ,  B01D8/00 ,  C23C14/54 ,  H01L21/312

CPC classification number: B01D8/00 ,  C23C16/4412 ,  Y10T137/6416

Abstract: 　基板を処理するためのガスを導入するためのガス供給部が接続されているチャンバーと、チャンバー内のガスを排気するための排気部との間に設けられたトラップ装置であって、チャンバーと接続される吸入口と、排気部と接続される排出口と、第１の空間を含み、当該第１の空間に流入するガスを、ガスに含まれる未反応成分が凝固する温度よりも低い温度に冷却する冷却トラップ部と、吸入口及び第１の空間を連通可能な第１の流路、第１の空間及び排出口を連通可能な第２の流路、並びに吸入口及び排出口を連通可能な第２の空間を含み、冷却トラップ部に対して相対的に移動して、吸入口から第１の流路、第１の空間、及び第２の流路を通って排出口に至る第１の経路と、吸入口から第２の空間を通って排出口に至る第２の経路とを選択的に形成するバイパス部とを備えるトラップ装置が提供される。

Abstract translation: 公开了一种捕集装置，其设置在与用于引入基板处理气体的气体供给部连接的室和用于从室内排出气体的排出部的室之间，其中，所述捕集装置设置有：入口，其与 室; 连接到排出部的出口; 冷却捕集器部分，其包括第一空间并将流入第一空间的气体冷却至低于气体中所含的未反应组分凝固的温度; 以及旁路部分，其包括可以在所述入口和所述第一空间之间提供连通的第一通道，可以在所述第一空间和所述出口之间提供连通的第二通道，以及可以在所述入口和所述出口之间提供连通的第二空间 。 旁路部分相对于冷却捕集器部分移动以选择性地形成通过第一通道，第一空间和第二通道从入口通向出口的第一路径，以及从入口到出口通过的第二路径 第二个空间。

公开(公告)号：WO2010002884A2

公开(公告)日：2010-01-07

申请号：PCT/US2009049245

申请日：2009-06-30

Applicant: BROOKS AUTOMATION INC ,  BALL-DIFAZIO DOREEN J ,  JOHNSON WILLIAM L ,  MORRIS RONALD N ,  SULLIVAN ROBERT P

Inventor： BALL-DIFAZIO DOREEN J ,  JOHNSON WILLIAM L ,  MORRIS RONALD N ,  SULLIVAN ROBERT P

IPC: F04B37/08 ,  F04B37/00

CPC classification number: F04B37/08 ,  B01D8/00 ,  F04B37/085

Abstract: Cryopump components are improved using thin layer heating elements for temperature control or to serve as heaters. These heating elements may be located and prevent pooling during regeneration. The temperature control may also be achieved through the use of ceramic heating elements. The ceramic heating elements may also include a second function of structural support within the cryopump. Temperature control may further be achieved via the radiation shield, where the radiation shield includes a clad sheeting or coating.

Abstract translation: 使用用于温度控制的薄层加热元件或作为加热器来改进冷冻组件。 这些加热元件可以被定位并且在再生期间防止汇集。 也可以通过使用陶瓷加热元件来实现温度控制。 陶瓷加热元件还可包括低温泵内结构支撑的第二功能。 可以通过辐射屏蔽进一步实现温度控制，其中辐射屏蔽包括包层片或涂层。

公开(公告)号：WO2004086610A2

公开(公告)日：2004-10-07

申请号：PCT/GB2004001198

申请日：2004-03-19

Applicant: BOC GROUP PLC ,  GREENWOOD JOANNE RACHEL ,  KETTLEWELL NATHAN LEE ,  DEAN JULIAN RICHARD ,  KENDALL JOHN SPENCER

Inventor： GREENWOOD JOANNE RACHEL ,  KETTLEWELL NATHAN LEE ,  DEAN JULIAN RICHARD ,  KENDALL JOHN SPENCER

IPC: B01D8/00 ,  B01D39/20 ,  F04B37/08 ,  H03F3/00

CPC classification number: F04B37/08 ,  B01D8/00 ,  B01D39/2051 ,  B01D39/2055

Abstract: A dry pump (10) has adjacent its inlet (12) and between the inlet and pump foreline (14) an apparatus for abating the back flow of organic molecules originating from a lubricant used to lubricate a drive mechanism of the pump. In one embodiment, the apparatus comprises a first compartment (18) having extending from its internal wall a plurality of cooling baffle plates (20). The cooling baffle plates are cooled by means of a water-cooling coil (22). Between the first compartment (18) and the foreline (14) is a second compartment 24 having extending from its internal wall a plurality of interleaved baffles (26). These baffles are coated on their surfaces with activated charcoal pellets for adsorbing halocarbon molecules back-streaming from the pump inlet.

Abstract translation: 干泵（10）在其入口（12）附近并且在入口和泵前级管线（14）之间具有用于减弱源自用于润滑泵的驱动机构的润滑剂的有机分子的回流的设备。 在一个实施例中，该设备包括具有从其内壁延伸多个冷却挡板（20）的第一隔室（18）。 冷却挡板通过水冷盘管（22）冷却。 在第一隔室（18）和前级管线（14）之间是第二隔室24，其具有从其内壁延伸的多个交错挡板（26）。 这些挡板在其表面上涂有活性炭颗粒以吸收从泵入口回流的卤化碳分子。

公开(公告)号：WO01052963A1

公开(公告)日：2001-07-26

申请号：PCT/US2001/001959

申请日：2001-01-19

IPC: B01D53/68 ,  B01D5/00 ,  B01D8/00 ,  B01D53/46 ,  C23C16/44 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01J37/32844 ,  B01D5/0036 ,  B01D8/00 ,  C23C16/4412 ,  Y02C20/30 ,  Y10S438/905

Abstract: The present invention provides an improved aluminum chloride trap having a disposable element, wherein the disposable element contains trapping media for condensing, solidifying and trapping condensable aluminum chloride vapor. The trap is designed such that the disposable element may be easily removed for rapid and safe disposal of condensed aluminum chloride solids and subsequently replaced with a new disposable element. The disposable element efficiently traps condensable aluminum chloride vapor from an aluminum etch system without the need for internal or external cooling means, such that condensable aluminum chloride vapor is prevented from condensing and depositing on the interior walls of the trap or on the interior walls of a vacuum conduit system used in an aluminum etch system. The improved aluminum chloride trap of this invention eliminates the hazardous conditions associated with removing condensed aluminum chloride solids from the interior surfaces of the trap and from the interior walls of a vacuum conduit system of an aluminum etch system.

Abstract translation: 本发明提供了具有一次性元件的改进的氯化铝捕集器，其中一次性元件包含用于冷凝，固化和捕获可冷凝的氯化铝蒸汽的捕集介质。 陷阱被设计成使得一次性元件可以容易地移除，以便快速和安全地处理冷凝的氯化铝固体，并随后用新的一次性元件代替。 一次性元件有效地从铝蚀刻系统中捕获可冷凝的氯化铝蒸汽，而不需要内部或外部冷却装置，使得可冷凝的氯化铝蒸气被防止冷凝和沉积在捕集器的内壁上或在内壁上 在铝蚀刻系统中使用的真空管道系统。 本发明的改进的氯化铝捕集器消除了从捕集器的内表面和铝蚀刻系统的真空管道系统的内壁去除冷凝的氯化铝固体相关的危险条件。

公开(公告)号：WO1997028886A1

公开(公告)日：1997-08-14

申请号：PCT/US1997002022

申请日：1997-02-07

Applicant: MKS INSTRUMENTS, INC.

Inventor： MKS INSTRUMENTS, INC. ,  GU, Youfan ,  HAUSCHULTZ, Dana, S.

IPC: B01D53/26

CPC classification number: B01D8/00 ,  B01D5/0006 ,  B01D5/0036 ,  B01D7/02 ,  B01D53/002 ,  Y10S55/15

Abstract: The liquid cooled trap (30) for effectively and efficiently collecting condensable vapor in a chemical vapor reaction system includes two stages. The first stage includes an entrance area (80) to the trap that is purposely designed to be large in space and a very poor heat exchanger in order to avoid condensation and resulting solid deposits that could clog the entrance port to the trap. The second stage (112) comprises a better heat exchanger to spread the condensation and deposits efficiently over a larger surface area and a longer flow path. The second stage (112) is a very efficient heat exchanger to clean up and remove whatever small amount of condensable vapor remains after the first stage of the trap. The second stage includes cooling coil tubes (120) and cooling cones (146) or fins (154) to increase the overall efficieny of the trap by increasing the interior surfaces upon which the flowing condensable vapor can condense, while not significantly reducing the flow conductance of the trap.

Abstract translation: 用于在化学气相反应系统中有效和有效地收集可冷凝蒸气的液冷阱（30）包括两个阶段。 第一阶段包括有意设计为空间大的陷阱的入口区域（80）和非常差的热交换器，以避免冷凝和产生可能堵塞入口到陷阱的固体沉积物。 第二级（112）包括一个更好的热交换器，以扩散冷凝物并有效地沉积在更大的表面积和更长的流动路径上。 第二级（112）是一种非常有效的热交换器，用于清除和去除在捕集器的第一级之后残留的少量可冷凝蒸气。 第二阶段包括冷却盘管（120）和冷却锥（146）或翅片（154），以通过增加流动的可冷凝蒸汽可以冷凝的内表面来增加捕集器的整体效率，同时不显着降低流动电导 的陷阱。

公开(公告)号：WO1996034669A1

公开(公告)日：1996-11-07

申请号：PCT/US1996005671

申请日：1996-04-23

Applicant: HELIX TECHNOLOGY CORPORATION

Inventor： HELIX TECHNOLOGY CORPORATION ,  MATTE, Stephen, R. ,  ANDEEN, Bruce, R.

IPC: B01D08/00

CPC classification number: F04B37/08 ,  B01D8/00 ,  Y10S417/901

Abstract: A cryogenic trap (12) is shielded by a floating baffle array (30) which is insulated from ambient temperature. The cryogenic trap includes a baffle array (20) which is suspended by conductive braid (50) from split cylinders (24A, 24B). The split cylinders are cooled by respective closed cycle refrigerators (40, 42).

Abstract translation: 低温阱（12）由与环境温度绝缘的浮动挡板阵列（30）屏蔽。 低温捕集阱包括挡板阵列（20），该挡板阵列（20）由分裂圆柱体（24A，24B）的导电编织物（50）悬挂。 分开的气缸由相应的封闭循环制冷器（40,42）冷却。

公开(公告)号：WO2018152858A1

公开(公告)日：2018-08-30

申请号：PCT/CN2017/075325

申请日：2017-03-01

Applicant: 中国科学院生态环境研究中心

Inventor： 潘纲 ,  毕磊

IPC: F28B1/00 ,  B01D8/00

CPC classification number: B01D8/00 ,  F24F1/00 ,  F24F3/16 ,  F24F11/00 ,  F28B1/00

Abstract: 一种制冷电器和空气净化一体设备，其具有空气净化操作模式和排污操作模式，具体包括：与进气管线（L1）相连并且用于去除待净化空气中的污染物的空气污染物的空气污染物分离装置（20），其包括进气口（22）、出气口（28）、固态污染物排出口（24）和气态污染物排出口（26）；与空气污染物分离装置（20）连通、与排气管线（L2）相连并且用于使进入的净化后空气升温的空气升温装置（60）；直接排出管线（L3），从空气污染物分离装置（20）排出的净化后空气被分成进入空气升温装置（60）并且之后被排放到排气管线（L2）内的第一部分和直接经由直接排出管线（L3）进入排气管线（L2）的第二部分；以及用于在空气净化操作模式中提供空气流动动力的风机（70）。