公开(公告)号：WO01067162A1

公开(公告)日：2001-09-13

申请号：PCT/US2001/007296

申请日：2001-03-05

IPC: B81B3/00 ,  G02B6/35 ,  G02B26/02 ,  G02B26/08

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B3/0008 ,  B81B2201/045 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/3564 ,  G02B6/357 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0816

Abstract: An optical switch device includes a rolling shutter or membrane attached at one of its edges to a substrate near an optical port in the substrate. The rolling shutter can assume one of two states. In a first closed state, the membrane is uncoiled onto the substrate over the port such that light directed at the port impinges on the shutter. In a second open state, the membrane is rolled up away from the port such that light directed at the port impinges on the port. In one embodiment, a mirror is formed on the membrane such that when the membrane is in the closed state over the substrate, light directed at the port is reflected by the mirror. In one configuration, the optical port includes a hole or aperture such light passed through the port without interference. The device can include a latch electrode the far end of the membrane such that when it is rolled out, it can be held in position by a latching voltage applied across the latch electrode and the substrate. Slits can be formed in the membrane to keep the mirror flat by relieving strain in the membrane and to allow gases in proximity to the device to pass through the membrane as it is activated. The shutter can include dimples to minimize the area of contact between the membrane and the substrate to reduce the probability of the two sticking together. The attachment edge of the membrane can be made shorter than its width to reduce distortions in the membrane to keep the mirror flat. A raised annular rim can be provided around the port such that when the shutter is held down over the port it is pulled taut and flat over the rim. This feature is also used to maintain flatness in the mirror. The switch device can be used as part of an array of optical switches.

Abstract translation: 一种光学开关装置包括将其一个边缘附接到衬底附近的光学端口的基板的卷帘门或薄膜。 滚动快门可以采取两种状态之一。 在第一关闭状态下，膜在端口上展开到基板上，使得指向端口的光照射在快门上。 在第二打开状态下，膜从端口卷起，使得指向端口的光照射在端口上。 在一个实施例中，在膜上形成反射镜，使得当膜在衬底上处于关闭状态时，指向端口的光被反射镜反射。 在一个配置中，光学端口包括孔或孔，这样的光通过端口而不受干扰。 该装置可以包括位于膜的远端的闩锁电极，使得当其被推出时，其可以通过施加在闩锁电极和基板上的锁存电压而保持就位。 可以在膜中形成狭缝，以通过减轻膜中的应变来保持反射镜平坦，并允许邻近装置的气体在被激活时通过膜。 快门可以包括凹坑以最小化膜和基底之间的接触面积，以减少两者粘在一起的可能性。 膜的附着边缘可以比其宽度短，以减少膜中的变形，以保持镜子平坦。 可以围绕端口设置凸起的环形边缘，使得当快门被按压在端口上时，其被拉紧并在边缘上平坦。 此功能也用于保持镜子的平整度。 开关器件可用作光开关阵列的一部分。

公开(公告)号：WO2014151920A3

公开(公告)日：2015-03-12

申请号：PCT/US2014026678

申请日：2014-03-13

Applicant: PIXTRONIX INC

Inventor： ANDO NAOHISA ,  KAWANAGO HIROSHI ,  TAKAHASHI KOHEI

IPC: G02B26/02 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/02 ,  B81B3/0008 ,  G02B26/08 ,  G02B26/0841

Abstract: The objective is to cause a substrate on which a shutter is provided and a substrate that opposes it to be electrically continuous. [Means of Solution] On a first substrate 10, a shutter 28 that controls the passing or blocking of light, a driver 52 for driving the shutter 28, and a protruding part 62 having a plurality of side faces 66 rising from the first substrate 10 so as to circumscribe a prescribed space are respectively provided so as to contain a laminate structure of a first conducting film 54 and an insulating film 16. The outermost layer of the respective plurality of side faces 66 is made of the insulating film 16 that covers the first conducting film 54, and has an aperture 68 which exposes part of the first conducting film 54. Conducting particles 70 are arranged in the prescribed space circumscribed by the plurality of side faces 66, and on the side nearest the first substrate 10, contact the first conducting film 54 exposed from the aperture 68 in the plurality of side faces 66, and on the side nearest the second substrate 12, contact a second conducting film 22.

Abstract translation: 目的是使其上设置有快门的基板和与其相反的基板电连续。 解决方案在第一基板10上，控制光的通过或遮挡的挡板28，用于驱动挡板​​28的驱动器52以及具有从第一基板10上升的多个侧面66的突出部62 分别设置规定的空间以包含第一导电膜54和绝缘膜16的层压结构。多个侧面66的最外层由绝缘膜16构成，绝缘膜16覆盖 第一导电膜54，并且具有暴露第一导电膜54的一部分的孔68.导电粒子70布置在由多个侧面66限定的规定空间中，并且在最接近第一基板10的一侧接触 从多个侧面66中的孔68暴露的第一导电膜54和最靠近第二基板12的一侧接触第二导电膜22。

公开(公告)号：WO2014197232A1

公开(公告)日：2014-12-11

申请号：PCT/US2014/039441

申请日：2014-05-23

Applicant: INVENSENSE, INC. ,  ZHANG, Cerina ,  TEA, Nim

Inventor： ZHANG, Cerina ,  TEA, Nim

IPC: B81B7/02

CPC classification number: B81C1/00984 ,  B81B3/0008 ,  B81B2207/015 ,  B81C1/00976 ,  B81C2201/115 ,  H01L21/76838 ,  H01L23/48 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A method of the invention includes reducing stiction of a MEMS device by providing a conductive path for electric charge collected on a bump stop formed on a substrate. The bump stop is formed by depositing and patterning a dielectric material on the substrate, and the conductive path is provided by a conductive layer deposited on the bump stop. The conductive layer can also be roughened to reduce stiction.

Abstract translation: 本发明的一种方法包括通过为形成在衬底上的凸点块上收集的电荷提供导电路径来减少MEMS器件的静电。 通过在衬底上沉积和图案化介电材料形成凹凸块，并且通过沉积在凸块上的导电层提供导电路径。 导电层也可以被粗糙化以减少粘性。

公开(公告)号：WO2011152192A1

公开(公告)日：2011-12-08

申请号：PCT/JP2011/061146

申请日：2011-05-16

Applicant: 株式会社村田製作所 ,  小中義宏 ,  丹羽亮介 ,  吉田康一 ,  吉田順一

Inventor： 小中義宏 ,  丹羽亮介 ,  吉田康一 ,  吉田順一

IPC: H01G5/16 ,  B81B3/00

CPC classification number: H01G5/16 ,  B81B3/0008 ,  B81B2201/0221

Abstract: 　駆動ＤＣ電圧を大きくすることなく、チャージアップによるＭＥＭＳの動作不良を防ぐことができる可変容量素子を提供する。可変容量素子（１）は、梁側容量形成部（３Ａ～３Ｃ）と支持部（３Ｄ）とを備える可動梁（３）、を筐体に収容し、梁側容量形成部（３Ａ～３Ｃ）に対向する下駆動電極（６Ａ～６Ｃ）と上駆動電極（７Ａ～７Ｃ）とを設け、筐体内部空間を減圧雰囲気とし、駆動ＤＣ電圧の印加時に、梁側容量形成部（３Ａ，３Ｂ）を下駆動電極（６Ａ，６Ｂ）または上駆動電極（７Ａ，７Ｂ）に正対する状態とし、梁側容量形成部（３Ｃ）を下駆動電極（６Ｃ）または上駆動電極（７Ｃ）に非正対な状態とし、駆動ＤＣ電圧の印加状態から非印加状態への変化により可動梁（３）の変位が非印加状態での位置を行き過ぎるようにされていることを特徴とする。

Abstract translation: 提供了一种能够在不增加驱动DC电压的情况下防止由充电引起的MEMS操作故障的可变电容元件。 可变电容元件（1）的特征如下：包括光束侧电容形成部分（3A至3C）和支撑部分（3D）的可移动光束（3）容纳在底架中。 下侧驱动电极（6A〜6C）和上部驱动电极（7A〜7C）设置为面对波束侧电容形成部（3A〜3C）。 底盘内的空间设置为减压气氛。 当施加驱动DC电压时，光束侧电容形成部分（3A，3B）直接面对下驱动电极（6A，6B）或上驱动电极（7A，7B），但是束侧电容 形成部分（3C）不直接面对下驱动电极（6C）或上驱动电极（7C）。 从施加驱动直流电压的状态到未施加驱动直流电压的状态的转变使得在不施加驱动直流电压的状态下，可移动光束（3）的位移超过该位置 。

公开(公告)号：WO2010092406A3

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：PCT/GB2010050241

申请日：2010-02-12

Applicant: WOLFSON MICROELECTRONICS PLC ,  JENKINS COLIN ROBERT ,  HOEKSTRA TSJERK HANS ,  LAMING RICHARD IAN

Inventor： JENKINS COLIN ROBERT ,  HOEKSTRA TSJERK HANS ,  LAMING RICHARD IAN

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0008 ,  B06B1/0292 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/04 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04

Abstract: A micro-electrical-mechanical system (MEMS) transducer comprises a layer of dielectric material having an electrode formed in the layer of dielectric material.A region of the layer of the dielectric material is adapted to provide a leakage path which, in use, removes unwanted charge from the layer of dielectric material.

Abstract translation: 微机电系统（MEMS）换能器包括具有在电介质材料层中形成的电极的介电材料层。介电材料层的一个区域适于提供泄漏路径，其在使用中移除 不需要的电荷从介电材料层。

公开(公告)号：WO2010139496A2

公开(公告)日：2010-12-09

申请号：PCT/EP2010/054519

申请日：2010-04-06

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  REICHENBACH, Frank ,  BUCK, Thomas ,  HOECHST, Arnim

Inventor： REICHENBACH, Frank ,  BUCK, Thomas ,  HOECHST, Arnim

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0008 ,  B81B2201/0257 ,  H04R19/005 ,  H04R19/016

Abstract: Es wird eine einfache und kostengünstige Realisierungsform für ein Halbleiterbauelement mit einer mikromechanischen Mikrofonstruktur vorgeschlagen, die eine akustisch aktive Membran (21) als auslenkbare Elektrode eines Mikrofonkondensators, ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (22) als Gegenelektrode des Mikrofonkondensators und Mittel zum Anlegen einer Ladespannung zwischen der auslenkbaren Elektrode (21) und der Gegenelektrode (22) des Mikrofonkondensators umfasst. Damit die Funktionsfähigkeit dieses Halbleiterbauelements auch durch Überlastsituationen, bei denen es zu einer Berührung zwischen Membran und Gegenelektrode kommt, nicht beeinträchtigt wird, sind die auslenkbare Elektrode (21) und die Gegenelektrode (22) des Mikrofonkondensators zumindest bereichsweise entgegengesetzt dotiert, so dass sie im Berührungsfall eine Diode bilden. Außerdem ist die Ladespannung zwischen der auslenkbaren Elektrode (21) und der Gegenelektrode (22) so gepolt, dass diese Diode in Sperrrichtung geschaltet ist.

Abstract translation: 所以建议实现简单且廉价的形式为具有半导体器件的微机械麦克风结构，包括声学活性膜（21）作为麦克风电容器的偏转电极，固定声透射反元件（22）作为麦克风电容器的反电极以及用于将所述间施加充电电压 偏转电极（21）和所述麦克风电容器包括的对置电极（22）。 因此，该半导体器件的操作不受过载情况下，其中存在所述膜和所述对电极，所述偏转电极（21）和所述麦克风电容器的对置电极（22）之间的接触是在至少掺杂区域方式相反，以使它们在接触的情况下 形成二极管。 另外，偏转电极（21）和对置电极（22）之间的充电电压被偏振，使得所述二极管连接在相反的方向。

公开(公告)号：WO2010006213A1

公开(公告)日：2010-01-14

申请号：PCT/US2009/050172

申请日：2009-07-09

Applicant: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. ,  TUNG, Yeh-Jiun

Inventor： TUNG, Yeh-Jiun

IPC: G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/001 ,  B81B3/0008 ,  B81B3/0059 ,  B81B2201/047 ,  G02B26/0841

Abstract: The present disclosure relates to the mitigation of stiction in electromechanical devices. In some embodiments, an electromechanical device may be provided with one or more restoration portions that provide an assisting mechanical force for mitigating stiction. The restoration portions may be implemented as one or more deflectable elements, where the deflectable elements may have various configurations or shapes, such as a chevron, cross, and the like. For example, the restoration portion can be a cantilever that deflects when at least one component comes into contact or proximity with another component. Multiple restoration portions also may be employed and placed strategically within the electromechanical device to maximize their effectiveness in mitigating stiction.

Abstract translation: 本公开涉及减轻机电装置中的静摩擦力。 在一些实施例中，机电装置可以设置有一个或多个恢复部分，其提供用于减轻静摩擦的辅助机械力。 恢复部分可以被实现为一个或多个可偏转元件，其中可偏转元件可以具有各种构造或形状，例如人字纹，十字形等。 例如，恢复部分可以是当至少一个部件与另一部件接触或接近时偏转的悬臂。 也可以采用多个恢复部分并将其策略地置于机电装置内，以最大限度地提高其减轻静摩擦的有效性。

公开(公告)号：WO2009149213A2

公开(公告)日：2009-12-10

申请号：PCT/US2009/046176

申请日：2009-06-03

Applicant: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. ,  WEBSTER, James, Randolph ,  TU, Thanh, Nghia ,  YAN, Xiaoming ,  CHUNG, Won, Suk

Inventor： WEBSTER, James, Randolph ,  TU, Thanh, Nghia ,  YAN, Xiaoming ,  CHUNG, Won, Suk

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81B3/0008 ,  B81B2201/042 ,  B81C2201/0107 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/115 ,  G02B26/001 ,  Y10T428/24917

Abstract: Methods of fabricating an electromechanical systems device that mitigate permanent adhesion, or stiction, of the moveable components of the device are provided. The methods provide an amorphous silicon sacrificial layer with improved and reproducible surface roughness. The amorphous silicon sacrificial layers further exhibit excellent adhesion to common materials used in electromechanical systems devices.

Abstract translation: 提供了减轻设备的可移动部件的永久性粘附或静电的机电系统装置的制造方法。 该方法提供了具有改进和可再现的表面粗糙度的非晶硅牺牲层。 非晶硅牺牲层对于机电系统器件中常用的材料进一步表现出优异的附着性。

公开(公告)号：WO2007131170A3

公开(公告)日：2008-11-27

申请号：PCT/US2007068243

申请日：2007-05-04

Applicant: MIRADIA INC ,  CHEN DONGMIN ,  NAUTA TORE

Inventor： CHEN DONGMIN ,  NAUTA TORE

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0008 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/058 ,  H04N5/7458

Abstract: A spatial light modulator for use in display applications. The spatial light modulator includes a support substrate and a flexible member coupled to the support substrate. The spatial light modulator also includes a mirror plate coupled to the flexible member and characterized by an activated position. The mirror plate is adapted to rotate in relation to the flexible member from the activated position to a second activated position in a time less than 6.0 µs.

Abstract translation: 用于显示应用的空间光调制器。 空间光调制器包括支撑衬底和耦合到支撑衬底的柔性构件。 空间光调制器还包括耦合到柔性构件的反射镜板，其特征在于激活位置。 镜板适于相对于柔性构件在小于6.0μs的时间内从启动位置旋转到第二激活位置。

公开(公告)号：WO2008115716A2

公开(公告)日：2008-09-25

申请号：PCT/US2008/056310

申请日：2008-03-07

Applicant: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. ,  LONDERGAN, Ana, R. ,  NATARAJAN, Bangalore, R. ,  GOUSEV, Evgeni ,  WEBSTER, James, Randolph ,  HEALD, David

Inventor： LONDERGAN, Ana, R. ,  NATARAJAN, Bangalore, R. ,  GOUSEV, Evgeni ,  WEBSTER, James, Randolph ,  HEALD, David

CPC classification number: G02B26/001 ,  B81B3/0008 ,  B81B2201/047

Abstract: Devices, methods, and systems comprising a MEMS device, for example, an interferometric modulator, that comprises a cavity in which a layer coats multiple surfaces. The layer is conformal or non-conformal. In some embodiments, the layer is formed by atomic layer deposition (ALD). Preferably, the layer comprises a dielectric material. In some embodiments, the MEMS device also exhibits improved characteristics, such as improved electrical insulation between moving electrodes, reduced stiction, and/or improved mechanical properties.

Abstract translation: 包括MEMS器件（例如干涉式调制器）的器件，方法和系统，其包括其中层涂覆多个表面的空腔。 该层是保形的或非保形的。 在一些实施例中，该层由原子层沉积（ALD）形成。 优选地，该层包括电介质材料。 在一些实施例中，MEMS器件还表现出改进的特性，例如移动电极之间的改善的电绝缘性，降低的静摩擦力和/或改善的机械性能。