METHOD FOR CHEMICALLY MODIFYING A POLYMER MATRIX THROUGH THE THICKNESS THEREOF
    32.
    发明申请
    METHOD FOR CHEMICALLY MODIFYING A POLYMER MATRIX THROUGH THE THICKNESS THEREOF 审中-公开
    通过其厚度对聚合物基质进行化学修饰的方法

    公开(公告)号:WO2010125191A3

    公开(公告)日:2011-01-13

    申请号:PCT/EP2010055923

    申请日:2010-04-30

    Abstract: The invention relates to a method for chemically modifying a polymer matrix through the thickness thereof, said polymer matrix being selected from among fluoropolymer matrices and aliphatic polymer matrices. The method includes at least one step consisting in irradiating the matrix with UV light having a wavelength of less than 300 nm in order to generate zones in the thickness of the matrix that have: short polymer chains formed by scission of the existing chains during the passage of the UV rays, and free radicals known as "activated zones". The invention also relates to the polymer matrix that can be chemically modified using one such method.

    Abstract translation: 本发明涉及一种通过其聚合物基体的厚度对聚合物基质进行化学改性的方法,所述聚合物基体选自含氟聚合物基体和脂族聚合物基质。 该方法包括至少一个步骤,其包括用波长小于300nm的UV光照射基质,以便产生基质厚度的区域,该区域具有:在通道期间通过现有链条的断开而形成的短聚合物链 的紫外线,以及称为“活化区”的自由基。 本发明还涉及可以使用一种这样的方法化学改性的聚合物基质。

    PROCEDE NON ELECTROLYTIQUE DE METALLISATION EN LIGNE DE SUBSTRATS PAR PROJECTION AVEC TRAITEMENT DE SURFACE PREALABLE ET DISPOSITIF POUR LA MISE EN OEUVRE DU PROCEDE
    36.
    发明申请
    PROCEDE NON ELECTROLYTIQUE DE METALLISATION EN LIGNE DE SUBSTRATS PAR PROJECTION AVEC TRAITEMENT DE SURFACE PREALABLE ET DISPOSITIF POUR LA MISE EN OEUVRE DU PROCEDE 审中-公开
    不处理运用投影SUBSTRATES表面处理之前和设备电镀线执行过程

    公开(公告)号:WO2010012810A2

    公开(公告)日:2010-02-04

    申请号:PCT/EP2009/059889

    申请日:2009-07-30

    Abstract: La présente invention a pour objet un procédé de métallisation de la surface d'un substrat par voie non électrolytique et par projection d'une ou plusieurs solutions oxydo-réductrices qui soit industriel, automatisable propre, multi-substrat, optimum en adhérence et en aspect décoratif. Pour ce faire le procédé met en œuvre les étapes suivantes : a. traitement physique ou chimique de diminution de la tension de surface du substrat avant métallisation, b. métallisation non électrolytique de la surface du substrat traitée à l'étape a., par projection d'une ou plusieurs solutions oxydo-réductrices sous forme d'aérosol(s), c. réalisation d'une couche de finition sur la surface métallisée. Les dispositifs compacts pour la mise en œuvre de ce procédé est un autre objet de l'invention, ainsi que les produits obtenus, à savoir notamment : les flacons verre creux notamment à usage cosmétique, les pièces d'automobile, les pièces pour la domotique ou pour l'aéronautique et les pièces d'électronique telle une piste conductrice, une antenne d'étiquette radiofréquence ou un revêtement pour un blindage électromagnétique.

    Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于控制本发明的主题的方法。 通过非电解方式和通过投射一种或多种工业化的,可自动清洁的,多种基材,在粘合和外观上最佳的一种或多种氧化还原溶液来对基材表面进行金属化 Décoratif。 要做到这一点,程序是 实施以下步骤:a。 b。在金属化之前降低基材表面张力的物理或化学处理,b。 处理过的基材表面的非电解金属化; 步骤a,通过喷洒一种或多种阿诺洛尔形式的氧化还原溶液,c。 在金属表面上的精整层。 用于执行此过程的紧凑型设备。 是本发明的另一个目的,以及获得的产品,& 要特别了解:特别是中空玻璃烧瓶; 化妆品用途,汽车零部件,家庭自动化或用于航空和电子部件的房间,如导电轨道,射频空中天线 用于电磁屏蔽的镀层或涂层。

    基板、及びその製造方法
    37.
    发明申请
    基板、及びその製造方法 审中-公开
    基板及其制造方法

    公开(公告)号:WO2009078254A1

    公开(公告)日:2009-06-25

    申请号:PCT/JP2008/071452

    申请日:2008-11-26

    Abstract:  高温加熱時におけるバリア性に優れる、バリア能と触媒能を有する銅拡散防止用バリア膜を有する基板、およびその製造方法を提供することを目的とする。  基材上に、タングステン、モリブデン及びニオブから選択した1種以上の金属元素と、白金、金、銀、パラジウム等の無電解めっきに対する触媒能を有する金属元素と、前記タングステン、モリブデン及びニオブから選択した1種以上の金属元素との窒化物の形態で含有される窒素からなる銅拡散防止用バリア膜を有することを特徴とする基板。前記銅拡散防止用バリア膜は、タングステン、モリブデン及びニオブから選択した1種以上の金属元素と、前記無電解めっきに対する触媒能を有する金属元素から選択した1種以上の金属元素とを含有するターゲットを用いて、窒素雰囲気中でスパッタリングすることにより製造される。

    Abstract translation: 公开了具有防止铜扩散的阻挡膜的基板,其具有阻挡能力和催化能力,同时在高温下加热时的阻隔性优异。 还公开了一种用于制造这种基板的方法。 具体公开了一种基材,其特征在于,在基材上具有防止铜扩散的阻挡膜,其由选自钨,钼和铌的一种或多种金属元素,金,铂,金,银或钯等金属元素构成, 具有化学镀的催化能力,以及选自钨,钼和铌中的一种或多种金属元素的氮化物形式的氮。 用于防止铜扩散的阻挡膜是通过使用含有一种或多种选自钨,钼和铌的金属元素的靶和在选自具有催化能力的金属元素中的一种或多种金属元素在氮气气氛中进行溅射工艺来制造的 用于化学镀。

    AN UNDERCOATING LAYER FORMULATION FOR NON-PLATABLE GRADE SUBSTRATE FOR ELECTROLESS METAL PLATING
    38.
    发明申请
    AN UNDERCOATING LAYER FORMULATION FOR NON-PLATABLE GRADE SUBSTRATE FOR ELECTROLESS METAL PLATING 审中-公开
    用于电镀金属镀层的非平坦等离子体基体的下层配方

    公开(公告)号:WO2008123767A3

    公开(公告)日:2008-12-11

    申请号:PCT/MY2008000029

    申请日:2008-04-08

    Abstract: Described herein is a coating formulation for non-platable grade substrate prior to undergoing an electroless metal plating process. Said coating formulation comprises of a mixture of multifunctional based monomer and diphenylmetane- 4, 4-diisocyanate (MDI), said multifunctional based monomer has allyl group or alkyl group or vinyl group or ether group or ester group or methacrylate group or acrylate group or phthalate group or combination thereof but does not include multifunctional monomer having hydroxyl group. According to the present invention, the ratio of said multifunctional based monomer is less than or equal (

    Abstract translation: 本文描述了在进行无电镀金属电镀工艺之前用于不可镀层的基材的涂料配方。 所述涂料配方由多官能基单体和二苯基甲烷-4,4-二异氰酸酯(MDI)的混合物组成,所述多官能基单体具有烯丙基或烷基或乙烯基或醚基或酯基或甲基丙烯酸酯基或丙烯酸酯基或邻苯二甲酸酯 基团或其组合,但不包括具有羟基的多官能单体。 根据本发明,所述多官能基单体的比例小于或等于二苯基甲烷-4,4-二异氰酸酯(MDI)。 所述涂料配方在真空室中混合约30分钟,然后施加到不可镀层的基材的表面上。

    METHODS AND SYSTEMS FOR BARRIER LAYER SURFACE PASSIVATION
    39.
    发明申请
    METHODS AND SYSTEMS FOR BARRIER LAYER SURFACE PASSIVATION 审中-公开
    阻挡层表面钝化的方法和系统

    公开(公告)号:WO2008076677A1

    公开(公告)日:2008-06-26

    申请号:PCT/US2007/086895

    申请日:2007-12-08

    Abstract: This invention pertains to methods and systems for fabricating semiconductor devices. One aspect of the present invention is a method of depositing a gapfill copper layer onto barrier layer for semiconductor device metallization. In one embodiment, the method includes forming the barrier layer on a surface of a substrate and subjecting the barrier layer to a process condition so as to form a removable passivated surface on the barrier layer. The method further includes removing the passivated surface from the barrier layer and depositing the gapfill copper layer onto the barrier layer. Another aspect of the present invention is an integrated system for depositing a copper layer onto a barrier layer for semiconductor device metallization. In one embodiment, the integrated system comprises at least one process module configured for barrier layer deposition and passivated surface formation and at least one other process module configured for passivated surface removal and deposition of copper onto the barrier layer. The system further includes at least one transfer module coupled so that the substrate can be transferred between the modules substantially without exposure to an oxide-forming environment.

    Abstract translation: 本发明涉及用于制造半导体器件的方法和系统。 本发明的一个方面是在用于半导体器件金属化的阻挡层上沉积间隙填充铜层的方法。 在一个实施例中,该方法包括在衬底的表面上形成阻挡层,并使阻挡层经受处理条件,以便在阻挡层上形成可移除的钝化表面。 该方法还包括从阻挡层去除钝化表面并将间隙填充铜层沉积到阻挡层上。 本发明的另一方面是用于在用于半导体器件金属化的阻挡层上沉积铜层的集成系统。 在一个实施例中,集成系统包括被配置用于阻挡层沉积和钝化表面形成的至少一个工艺模块和被配置用于钝化表面去除和沉积到阻挡层上的至少一个其它工艺模块。 所述系统还包括至少一个传送模块,所述至少一个传送模块被耦合,使得所述衬底可以在所述模块之间基本上不被暴露于形成氧化物的环境

    METHOD FOR FORMING SURFACE GRAFT, METHOD FOR FORMING CONDUCTIVE FILM, METHOD FOR FORMING METAL PATTERN, METHOD FOR FORMING MULTILAYER WIRING BOARD, SURFACE GRAFT MATERIAL, AND CONDUCTIVE MATERIAL
    40.
    发明申请
    METHOD FOR FORMING SURFACE GRAFT, METHOD FOR FORMING CONDUCTIVE FILM, METHOD FOR FORMING METAL PATTERN, METHOD FOR FORMING MULTILAYER WIRING BOARD, SURFACE GRAFT MATERIAL, AND CONDUCTIVE MATERIAL 审中-公开
    形成表面纹理的方法,形成导电膜的方法,形成金属图案的方法,形成多层布线板,表面材料和导电材料的方法

    公开(公告)号:WO2005090454A1

    公开(公告)日:2005-09-29

    申请号:PCT/JP2005/006218

    申请日:2005-03-24

    Abstract: The present invention provides a method for forming a surface graft, comprising the process of applying energy to the surface of a substrate containing polyimide having a polymerization initiating moiety in the skeleton thereof, to generate active points on the surface of the substrate and to generate a graft polymer that is directly bonded to the surface of the substrate starting from the active points and that has a polar group, and a surface graft material obtained thereby. The present invention also provides a method for forming a conductive film, comprising the processes of applying energy to the surface of a substrate containing polyimide having a polymerization initiating moiety in the skeleton thereof, to generate active points on the surface of the substrate and to generate a graft polymer that is directly bonded to the surface of the substrate starting from the active points and that has a polar group, and causing a conductive material to adhere to the graft polymer, and a conductive material obtained thereby.

    Abstract translation: 本发明提供了一种形成表面接枝物的方法,包括向基体上具有聚合引发部分的含有聚酰亚胺的基材的表面施加能量的方法,以在基材的表面上产生活性点,并产生 从活性点开始并且具有极性基团直接结合到基材表面的接枝聚合物,以及由此获得的表面接枝材料。 本发明还提供一种形成导电膜的方法,其包括在基体上具有聚合引发部分的含有聚酰亚胺的基材的表面施加能量的工序,以在基板的表面产生活性点,并产生 从活性点开始直接键合到基材表面并具有极性基团并使导电材料附着到接枝聚合物上的接枝聚合物,以及由此获得的导电材料。

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