DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
    1.
    发明申请
    DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
    压力传感器与方法研究

    公开(公告)号:WO2012079939A1

    公开(公告)日:2012-06-21

    申请号:PCT/EP2011/070824

    申请日:2011-11-23

    CPC classification number: G01L7/00 B23K31/02 G01L9/0044 G01L9/0075

    Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen eines Drucksensors, umfasst: Bereitstellen eines keramischen Grundkörpers, einer keramischen Messmembran, und eines Zwischenrings; Bereitstellen eines Aktivhartlotmaterials mittels Gasphasenabscheidung zumindest auf einem ersten Oberflächenabschnitt einer ersten Oberfläche und auf einem zweiten Oberflächenabschnitt einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche eine Oberfläche des Grundkörpers ist, die mit dem Zwischenring mittels des Aktivhartlots zu verbinden ist, oder eine Oberfläche des Zwischenrings, die mittels des Aktivhartlots mit dem Grundkörper zu verbinden ist; wobei die zweite Oberfläche eine Oberfläche der Messmembran ist, die mit dem Zwischenring mittels des Aktivhartlots zu verbinden ist, oder Oberfläche des Zwischenrings, die mittels des Aktivhartlots mit dem zweiten Keramikkörper zu verbinden ist; Positionieren des Zwischenrings zwischen der Messmembran und dem Grundkörper; und Erhitzen des Aktivhartlots in einem Lötprozess, wobei erfindungsgemäß der Zwischenring während des Lötprozesses im Wesentlichen ein Festkörper bleibt.

    Abstract translation: 一种制造压力传感器,的方法,包括:提供陶瓷基体,陶瓷测量膜片和中间环; 提供了沉积在至少第一表面的第一表面部分和第二表面,其中所述第一表面是所述基体,这是通过活性钎焊料来连接到中间环,或中间环的表面上,表面的第二表面部分的Aktivhartlotmaterials蒸气,其 是由与基体的活性钎料的方式连接; 其中,所述第二表面是所述测量膜的表面上,通过活性钎焊焊料,或在中间环,这是为了通过与第二陶瓷体活性钎料的方式连接的表面的方式连接到中间环; 测量膜和基体之间的中间环的位置; 且其中根据本发明在焊接过程中加热活性钎料,中间环是在焊接过程期间基本上固体状态。

    DRUCKSENSOR
    7.
    发明申请
    DRUCKSENSOR 审中-公开
    压力传感器

    公开(公告)号:WO2011117014A2

    公开(公告)日:2011-09-29

    申请号:PCT/EP2011/051740

    申请日:2011-02-07

    CPC classification number: G01L9/0075 G01L19/0084

    Abstract: Ein Drucksensor (1) umfasst einen Grundkörper (2) und mindestens eine Messmembran (3), die unter Bildung einer Messkammer mit dem Grundkörper mittels einer ersten Fügestelle (4), die ein erstes Aktivhartlot aufweist, druckdicht verbunden ist, und einen Wandler (5, 6a, 6b) zum Wandeln einer druckabhängigen Verformung der Messmembran in ein elektrisches Primärsignal, sowie einen Primärsignalpfad, der sich von dem Wandler durch mindestens eine Bohrung (8a, 8b) durch den Grundkörper erstreckt, wobei der Primärsignalpfad mindestens eine elektrisch leitfähige Beschichtung (7a, 7b) umfasst, die sich entlang der Wand der Bohrung (8a, 8b) erstreckt, ohne die Bohrung zu verschließen, wobei erfindungsgemäß die Bohrung (8a, 8b) mittels einer zweiten Fügestelle (10a, 10b) mit einem zweiten Aktivhartlot verschlossen ist, wobei das zweite Aktivhartlot die Bohrung freitragend verschließt, und wobei das zweite Aktivhartlot eine weichlotfähige Oberfläche aufweist.

    Abstract translation: 的压力传感器(1)包括基体(2)和至少一个测量膜片(3),其通过第一接头的装置形成与所述基体的测量室(4)具有第一活性钎焊,是压力密封地连接,并且换能器(5 ,6A,6B),用于将所述测量膜片的压力相关的变形转换为电主信号包括通过至少一个孔图8a延伸的主信号路径(从换能器,图8b)延伸穿过基体,其中,所述主信号路径中的至少一个导电涂层(7a中 ,7b)的沿所述孔的壁(8A,8B)延伸,而不通过第二关节8b)的封闭的孔中,其特征在于,根据本发明的孔(8a中,(10A,10B)被关闭与第二活性钎焊, 其中所述第二活性钎焊封闭孔自支撑的,且其中所述第二活性钎焊包括weichlotfähige表面。

    KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE
    9.
    发明申请
    KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE 审中-公开
    陶瓷压力测量单元

    公开(公告)号:WO2012119836A1

    公开(公告)日:2012-09-13

    申请号:PCT/EP2012/052429

    申请日:2012-02-13

    Abstract: Ein Drucksensor 1 umfasst eine Druckmesszelle mit einem keramischen Grundkörper 2, einer keramischen Messmembran 3; und einem elektirischen Wandler, wobei die Messmembran mit dem Grundkörper 2 verbunden ist, wobei zwischen dem Grundkörper 2 und der Messmembran eine Messkammer ausgebildet ist, und wobei zumindest eine dem Grundkörper 2 abgewandte Seite der Messmembran mit einem zu messenden Druck beaufschlagbar ist, wobei der Wandler zum Wandeln einer Verformung der Messmembran in ein elektrisches Signal vorgesehen ist; wobei der Drucksensor weiterhin eine elektronische Schaltung 5 zum Betreiben des elektrischen Wandlers und eine Kapsel umfasst, wobei die elektronische Schaltung 5 in der Kapsel angeordnet ist, die durch den Grundkörper 2 und mindestens einem zweiten Kapselkörper gebildet ist, und wobei der zweite Kapselkörper mit dem Grundkörper entlang einer umlaufenden Fügestelle 8, die ein Glaslot umfasst, hermetisch dicht gefügt ist. Die Fügestelle 8 wird bevorzugt mit Laserstrahllöten oder Elektronenstrahllöten präpariert.

    Abstract translation: 压力传感器1包括压力测量单元具有陶瓷基体2,陶瓷测量膜片3; 和elektirischen转换器,其中,所述测量膜片连接到所述基体2,其特征在于,在基体2和测量膜片,并且其中,所述基体2侧由测量膜背对可以与被加压的至少一个进行测量时,所述换能器之间形成一个测量室 提供了一种用于测量膜片的变形转换成电信号; 其中,所述压力传感器进一步包括电子电路5,用于操作所述电动换能器和胶囊,其中所述电子电路5被布置在由基体2和至少一个第二胶囊主体形成的胶囊,并且其中所述第二胶囊主体在基体 沿着旋转接头8,它包括一个玻璃焊料,被气密地密封在一起。 接合点8优选地与激光钎焊或电子束焊制备的。

    KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE
    10.
    发明申请
    KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE 审中-公开
    陶瓷压力测量单元

    公开(公告)号:WO2012113660A1

    公开(公告)日:2012-08-30

    申请号:PCT/EP2012/052305

    申请日:2012-02-10

    CPC classification number: G01L9/00 G01L9/0075

    Abstract: Eine Druckmesszelle 61 umfasst mindestens einen keramischen Messmembrankörper 62; und mindestens einen keramischen Grundkörper 63, wobei der Messmembrankörper 62 entlang einer ringförmigen umlaufenden Fügestelle mit dem Grundkörper 63 verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Fügestelle als Schweißverbindung zwischen dem Messmembrankörper 62 und dem Grundkörper 63 gebildet ist, wobei der Messmembrankörper eine druckabhängig verformbare Messmembran aufweist. Ein Drucksensor 60 umfasst eine erfindungsgemäße Druckmesszelle 61 und ein Gehäuse 70, wobei die Druckmesszelle 61 von dem Gehäuse 70 gehalten ist, und wobei die Druckmesszelle 61 eine Gehäuseöffnung 71 verschließt, durch welche die Druckmesszelle 61 mit einer Umgebung des Gehäuses 70 kommuniziert, wobei zwischen einer die Öffnung 71 umgebenden Dichtfläche 72 des Gehäuses und einer Dichtfläche 64 der Druckmesszelle 61 eine Dichtung 73 eingespannt ist.

    Abstract translation: 压力测量单元61包括至少一个陶瓷测量膜体62; 和至少一个陶瓷基体63,其中,所述测量膜体62沿着环形旋转接头在基体63相连接,其特征在于所述接头是测量膜片体62之间的焊接连接,并形成在所述基体63,其中,所述测量膜片体具有压力依赖性变形测量膜片 , 压力传感器60包括压力根据本发明61和壳体70,其中,所述压力测量单元61由壳体70保持测量单元,以及压力测量单元61具有一个壳体开口密封件71,通过该61连通的压力测量单元与壳体70的环境中,一个之间 开口密封表面71围绕壳体72和压力测量单元61的密封表面64,密封件被夹紧第七十三

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