公开(公告)号：WO2017102217A1

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：PCT/EP2016/077745

申请日：2016-11-15

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： ROSSBERG, Andreas ,  PONATH, Nils ,  SCHLEIFERBÖCK, Jan ,  UEHLIN, Thomas

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/02 ,  G01L19/04 ,  G01K7/04

CPC classification number: G01L9/0075 ,  G01K7/04 ,  G01L19/02 ,  G01L19/04

Abstract: Eine Druckmesszelle umfasst:einen keramischen Gegenkörper (3); eine keramische Messmembran (2), die mit dem Gegenkörper (3) unter Bildung einer Messkammer zwischen dem Gegenkörper (3) und der Messmembran (2) mittels einer umlaufenden Fügestelle (4) druckdicht gefügt ist,wobei die Messmembran durch einen zu messenden Druck verformbare ist; einen elektrischen Wandler zum Wandeln einer druckabhängigen Verformung der Messmembran in ein elektrisches Signal; und einen Temperaturmesswandler zum Bereitstellen mindestens eines von einer Temperatur oder einem Temperaturgradienten der Druckmesszelle abhängigen elektrischen Signals, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperaturmesswandler mindestens ein erstes Thermoelement umfasst,das einen galvanischen Kontakt zwischen einem ersten Leiter, der ein erstes elektrischleitendes Material (14) umfasst,und einem zweiten Leiter der mindestens ein zweites elektrisch leitendes Material umfasst, aufweist.

Abstract translation: 压力测量单元包括：陶瓷对立体（3）;以及压力测量单元 陶瓷测量膜片（2），与所述Gegenk＆OUML;压力密封的机架（4）实测值导航用途;主体（3），以形成Gegenk＆OUML之间的测量室;主体（3）和测量膜片（2）由周向˚F导航用途的装置是GT其中 测量膜片能够通过待测量的压力变形; 电换能器，用于将测量膜片的压力相关变形转换为电信号; 和一个温度传感器，用于提供温度中的至少一个或所述压力测量细胞依赖性BEAR依赖性电信号的温度梯度，其特征在于，所述温度传感器包括至少一个第一热电偶的第一导体之间的电接触，一个第一导电材料（14） 包括至少包括第二导电材料的第二导体，所述第二导体包括

公开(公告)号：WO2016198227A1

公开(公告)日：2016-12-15

申请号：PCT/EP2016/060456

申请日：2016-05-10

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： ROSSBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Elke ,  RETTENMAYR, Markus ,  SIEGMUND, Peter ,  KÜHN, Uta ,  PAULY, Simon ,  PONATH, Nils

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/14

CPC classification number: G01L9/0075 ,  G01L19/145

Abstract: Es ist ein Drucksensor mit zwei miteinander über eine durch Aktivhartlötung eines Aktivhartlots hergestellte Aktivhartlötung (7) verbundenen Körpern, insb. einer mit einem Druck (p) beaufschlagbaren, druckabhängig elastisch verformbaren Messmembran (1), insb. einer keramischen Messmembran (1), und einem Grundkörper (3), insb. einem keramischen Grundkörper (3), die durch eine einen äußeren Rand der Messmembran (1) unter Einschluss einer Druckkammer (5) mit einem äußeren Rand einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (3) verbindenden Aktivhartlötung (7) verbunden sind, dessen Messeigenschaften verbessert wurden, indem die Aktivhartlötung (7) einen von den Abmessungen der Aktivhartlötung (7) und den Werkstoffen der Körper abhängigen, an einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten mindestens eines der Körper, insb. der Messmembran (1), angepassten thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist.

Abstract translation: 有具有两个彼此经由Aktivhartlötung活性钎焊Aktivhartlötung（7）连接的机构，尤指与压力（P）A可以采取行动，这取决于压力可弹性变形的测量膜片（1），尤指一种陶瓷测量膜片（1），和制得的溶液的压力传感器 的基体（3），尤指一种陶瓷基体（3）由（1）的面向包括一个压力室（5）与所述测量膜片的一（1）在基体的端面的外边缘测量膜的一个外边缘（3）定义 连接Aktivhartlötung（7）被连接，它的测量的性质由Aktivhartlötung（7）Aktivhartlötung（7）的依赖于机构中的至少一个的热膨胀系数的尺寸和所述主体的所述材料中的一种，尤其。测量膜片进行了改进（1 具有）的热膨胀的调整系数。

公开(公告)号：WO2016149130A3

公开(公告)日：2016-12-15

申请号：PCT/US2016022140

申请日：2016-03-11

Applicant: ROSEMOUNT INC

Inventor： WANG RONGTAI ,  SCHULTE JOHN PAUL

IPC: G01R27/26 ,  G01D5/24 ,  H03M3/02

CPC classification number: H03M3/39 ,  G01D5/24 ,  G01L9/0072 ,  G01L9/0075 ,  G01L9/12 ,  H03M3/356 ,  H03M3/376 ,  H03M3/494

Abstract: A single plate capacitance sensor includes a sensor capacitor and a reference capacitor that share common plate. A capacitance-to-digital sigma delta modulator provides separate sensor excitation and reference excitation signals to the sensor capacitor and the reference capacitor to provide high resolution detection. Programmable ratio-metric excitation voltages and adaptive excitation voltage sources can be used to enhance modulator performance.

Abstract translation: 单板电容传感器包括传感器电容器和共用共用板的参考电容器。 电容数字Σ-Δ调制器向传感器电容器和参考电容器提供单独的传感器激励和参考激励信号，以提供高分辨率检测。 可编程比率公制激励电压和自适应激励电压源可用于增强调制器性能。

公开(公告)号：WO2015051729A1

公开(公告)日：2015-04-16

申请号：PCT/CN2014/087935

申请日：2014-09-30

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 夏长奉 ,  周国平 ,  钱栋彪

IPC: G01L9/12

CPC classification number: G01L9/0075

Abstract: 一种电容式MEMS压力传感器，包括衬底（1）、检测薄膜（2）、具有引线的上电极板（4）以及具有引线的下电极板（3）。检测薄膜（2）固定铺设于衬底（1）的上表面上。上电极板（4）固定连接于衬底（1）的上表面上或检测薄膜（2）上。上电极板（4）位于检测薄膜（2）上方且与检测薄膜（2）之间形成间隙（8）。下电极板（3）固定设置于检测薄膜（2）上。下电极板（3）位于检测薄膜（2）与上电极板（4）之间的间隙（8）中。下电极板（3）和上电极板（4）构成电容。在设计器件时在规定的器件参数下可以更加灵活地调整器件尺寸，以降低成本。并且，从器件结构上回避了传统压力传感器中的非线性以及动态响应范围改变的问题。

公开(公告)号：WO2014154695A1

公开(公告)日：2014-10-02

申请号：PCT/EP2014/055970

申请日：2014-03-25

Applicant: VEGA GRIESHABER KG

Inventor： FEHRENBACH, Josef ,  JACOB, Jörn

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/00 ,  G01L19/04

CPC classification number: G01L9/0075 ,  G01L9/125

Abstract: Die Erfindung betrifft eine kapazitive Druckmesszelle (1) zur Erfassung des Druckes eines an die Druckmesszelle (1) angrenzenden Mediums, die eine elastische Messmembran (2), deren erste Seite (2a) zumindest teilweise mit dem Medium in Kontakt steht und deren von dem Medium abgewandten zweiten Seite (2b) eine Messelektrode (7) und zur Temperaturmessung ein Widerstandselement aus einem Werkstoff mit temperaturabhängigem Widerstand aufweist, und die einen der zweiten Seite (2b) der Messmembran (2) gegenüberliegend angeordneten Grundkörper (3) mit einer eine Messkapazität mit der Messelektrode (7) bildenden Gegenelektrode (8) umfasst. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das Widerstandselement als Widerstandschicht (4) zwischen der zweiten Seite (2b) der Messmembran (2) und der Messelektrode (7) ausgebildet ist.

Abstract translation: 本发明涉及一种电容式压力测量单元（1），用于检测压力的压力测量单元（1）邻近的介质，弹性测量膜片（2），第一侧（2a）中至少部分地与接触的介质和从该介质的 从第二侧背对（图2b），其具有一个测量电极（7）和用于温度测量，由具有依赖于温度的电阻的材料制成的电阻元件，和（2b）的测量膜片的（2）相对地与所述测量能力布置在基体（3）的第二侧的一个 包括测量电极（7）形成所述反电极（8）。 根据本发明，作为所述第二侧（2b）的之间的电阻器层（4）的电阻元件被测量膜片（2）和测量电极的形成（7）。

公开(公告)号：WO2013139832A1

公开(公告)日：2013-09-26

申请号：PCT/EP2013/055776

申请日：2013-03-20

Applicant: MICROTEL TECNOLOGIE ELETTRONICHE S.P.A.

Inventor： COGLIATI, Achille ,  MAY, Roberto ,  REGOLIOSI, Pietro ,  ALBONICO, Angelo Mario Adamo

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/04 ,  G01L19/06

CPC classification number: G01L9/0054 ,  B23K1/0008 ,  B23K1/0016 ,  B23K1/19 ,  C04B37/005 ,  C04B2237/10 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0048 ,  G01L9/0052 ,  G01L9/0075 ,  G01L19/04 ,  G01L19/06 ,  G01L19/0618 ,  H01L41/25

Abstract: A method for production of a pressure sensor (130) comprising a flat flexible membrane (100) made of a ceramic material and a flat rigid support (110) thereof made of a ceramic material, comprising the following steps: - realising an electric circuit (16, 18) on the membrane (100); - realising an electric contact with the outside on the support (110); - depositing an electrically conductive material on the support (110); - realising an electrical and mechanical coupling between the membrane (100) and the support (110); the electrical coupling between the membrane (100) and the support (110) being performed by deposition and sintering of at least one layer of an electrically conductive sinterable electrical connection material; the mechanical coupling between the membrane (100) and the support (110) being performed by deposition and sintering of at least one layer of sinterable mechanical connection material that is electrically insulating and/or isolated from the layer of sinterable electrical connection material; the layer of sinterable electrical connection material and the layer of sinterable mechanical connection material undergoing re flow together in a single step in a sintering furnace.

Abstract translation: 一种制造压力传感器的方法，包括由陶瓷材料制成的扁平柔性膜（100）和由陶瓷材料制成的扁平刚性支撑件（110），包括以下步骤： - 实现电路（ 16），在膜（100）上; - 在支撑件（110）上实现与外部的电接触; - 在所述支撑件（110）上沉积导电材料; - 实现膜（100）和支撑件（110）之间的电和机械耦合; 通过至少一层导电的可烧结电连接材料的沉积和烧结来实现膜（100）和支撑体（110）之间的电耦合; 通过沉积和烧结与可烧结电连接材料层电绝缘和/或隔离的至少一层可烧结机械连接材料来执行膜（100）和支撑体（110）之间的机械耦合; 可烧结电连接材料层和可烧结机械连接材料层在烧结炉中在一个步骤中一起再次流动。

公开(公告)号：WO2013055882A1

公开(公告)日：2013-04-18

申请号：PCT/US2012/059697

申请日：2012-10-11

Applicant: MKS INSTRUMENTS, INC. ,  BLANKENSHIP, Steven, D. ,  LUCAS, Paul, D.

Inventor： BLANKENSHIP, Steven, D. ,  LUCAS, Paul, D.

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/06

CPC classification number: G01N27/227 ,  G01L9/0075 ,  G01L19/0636

Abstract: One or more reactive gases are introduced to a capacitance manometer at a particular area or areas between the inner and outer capacitive electrodes so the error-inducing measurement effects of positive and negative bending is neutralized or minimized. Additionally, a guard structure may be used for the electrode structure of the capacitance manometer. The guard structure presents an area that is relatively insensitive to the diffusion of the gas into the diaphragm and the resulting changing surface tension, curvature and deflection, thus providing increased or optimal stability of the zero reading and pressure reading of the manometer. The guard may also provide electrostatic isolation of the electrodes.

Abstract translation: 将一个或多个反应性气体引入电容式压力计中的内部和外部电容电极之间的特定区域或区域，从而中和或最小化正和负弯曲的误差测量效应。 此外，可以使用保护结构用于电容式压力计的电极结构。 防护结构呈现对气体扩散到隔膜中相对不敏感的区域以及由此产生的变化的表面张力，曲率和偏转，从而提供压力计的零读数和压力读数的增加或最佳的稳定性。 护罩还可以提供电极的静电隔离。

公开(公告)号：WO2011117014A2

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：PCT/EP2011/051740

申请日：2011-02-07

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG ,  HAUPTVOGEL, Karl-Peter ,  SCHMIDT, Elke ,  ROßBERG, Andreas ,  DREWES, Ulfert

Inventor： HAUPTVOGEL, Karl-Peter ,  SCHMIDT, Elke ,  ROßBERG, Andreas ,  DREWES, Ulfert

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0075 ,  G01L19/0084

Abstract: Ein Drucksensor (1) umfasst einen Grundkörper (2) und mindestens eine Messmembran (3), die unter Bildung einer Messkammer mit dem Grundkörper mittels einer ersten Fügestelle (4), die ein erstes Aktivhartlot aufweist, druckdicht verbunden ist, und einen Wandler (5, 6a, 6b) zum Wandeln einer druckabhängigen Verformung der Messmembran in ein elektrisches Primärsignal, sowie einen Primärsignalpfad, der sich von dem Wandler durch mindestens eine Bohrung (8a, 8b) durch den Grundkörper erstreckt, wobei der Primärsignalpfad mindestens eine elektrisch leitfähige Beschichtung (7a, 7b) umfasst, die sich entlang der Wand der Bohrung (8a, 8b) erstreckt, ohne die Bohrung zu verschließen, wobei erfindungsgemäß die Bohrung (8a, 8b) mittels einer zweiten Fügestelle (10a, 10b) mit einem zweiten Aktivhartlot verschlossen ist, wobei das zweite Aktivhartlot die Bohrung freitragend verschließt, und wobei das zweite Aktivhartlot eine weichlotfähige Oberfläche aufweist.

Abstract translation: 的压力传感器（1）包括基体（2）和至少一个测量膜片（3），其通过第一接头的装置形成与所述基体的测量室（4）具有第一活性钎焊，是压力密封地连接，并且换能器（5 ，6A，6B），用于将所述测量膜片的压力相关的变形转换为电主信号包括通过至少一个孔图8a延伸的主信号路径（从换能器，图8b）延伸穿过基体，其中，所述主信号路径中的至少一个导电涂层（7a中 ，7b）的沿所述孔的壁（8A，8B）延伸，而不通过第二关节8b）的封闭的孔中，其特征在于，根据本发明的孔（8a中，（10A，10B）被关闭与第二活性钎焊， 其中所述第二活性钎焊封闭孔自支撑的，且其中所述第二活性钎焊包括weichlotfähige表面。

公开(公告)号：WO2010133402A1

公开(公告)日：2010-11-25

申请号：PCT/EP2010/054744

申请日：2010-04-12

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG ,  DREWES, Ulfert

Inventor： DREWES, Ulfert

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0042 ,  G01L9/0075 ,  G01L19/0069 ,  Y10T428/12361

Abstract: Ein keramisches Bauteil mit mindestens einer elektrischen Durchführung, umfasst einen keramischen Körper (1), durch den sich eine Bohrung (2) erstreckt, einen metallischen Leiter (3), welcher zumindest abschnittsweise in der Bohrung (2) angeordnet und mittels eines Aktivhartlots (4) unter Abdichtung der Bohrung in derselben befestigt ist, wobei das Aktivhartlot einen Ringspalt zwischen dem metallischen Leiter und den keramischen Körper ausfüllt, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktiv-Hart-Lot eine radial veränderliche chemische Zusammensetzung aufweist.

Abstract translation: 具有至少一个电馈通的陶瓷组分包括（1），延伸的陶瓷体，通过该孔（2），在该孔布置（3），其在部分至少一个金属导体（2）和（4通过活性钎焊的方法 ）通过密封所述孔，其中，所述活性钎焊材料填充的金属导体和陶瓷体之间的环形间隙地固定在相同的，其特征在于，具有沿径向变化的化学组合物中的活性硬焊料。

公开(公告)号：WO2008151972A3

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：PCT/EP2008056900

申请日：2008-06-04

Applicant: ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG ,  STOLZE DIETER ,  THAM ANH TUAN ,  SCHWABE FRIEDRICH

Inventor： STOLZE DIETER ,  THAM ANH TUAN ,  SCHWABE FRIEDRICH

IPC: G01L9/00 ,  G01L13/02

CPC classification number: G01L9/0055 ,  G01L9/0073 ,  G01L9/0075 ,  G01L13/025

Abstract: The invention relates to a differential pressure sensor, comprising a first measuring diaphragm (5a), arranged on a first support (3a), on the exterior of which facing the support (3a) a first pressure (p1) acts, on the interior of which facing away from the first support (3a) at least one electrode (E1, E1') and at least one piezoresistive sensor element (R) for detecting a differential pressure-dependent deflection of the first measuring diaphragm (5a) are arranged, a second measuring diaphragm (5b), arranged on a second support (3b), which extends in parallel to the first measuring diaphragm (5a), on the exterior of which facing the support (3b) a second pressure (p2) acts, on the interior of which facing away from the second support (3b) at least one second electrode (E2, E2') is arranged which together with a dedicated first electrode (E1, E1') arranged on the first measuring diaphragm (5a) forms a capacitative sensor element, the first and the second measuring diaphragm (5a, 5b) being arranged in parallel and being firmly interconnected via a mechanical connection (P) that connects an outer edge (21) of the interior of the first measuring diaphragm (5a) to an outer edge (21) of the interior of the second measuring diaphragm (5b) and a spacer (7) of the same height connected to the diaphragm centers of the two measuring diaphragms (5a, 5b).

Abstract translation: 面对所述第一测量膜（5a）的一第一托架（3a）的上布置有一个压差传感器到所述支撑件（3a）的外侧被施加的第一压力（P1），其上从至少一个第一电极的内侧（E1背向所述第一载波（3a）的 ，E1“）和所述至少一个压阻传感器元件（R），用于检测由所述第一测量膜（5a）的压差偏转产生的布置中，一个（第二3b）的载体上设置（图5b）的面向它们的（载流子的第二测量膜3b）的 外面的行为，第二压力在其上（图3b）从所述内部的至少一个第二电极（E2，E2“）的面向远离所述第二载波被布置（P2），其与一个在所述第一电极的所述第一测量膜片（5a）中相关联的布置在一起（E1， E1“）形成电容式传感器元件，其中第一和第二测量膜片（5A，5B）（通过一个外边缘（21），所述第一测量膜片5a的内部的） （7）（5b）的连接的机械连接（P）中，用两个测量膜片的中心（5A，5B）相关联的隔离物的膜的第二测量膜的内侧的外边缘（21）是固定在一起的相同的高度。