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公开(公告)号:WO2004092443A1
公开(公告)日:2004-10-28
申请号:PCT/JP2004/005202
申请日:2004-04-12
IPC: C23C16/511
CPC classification number: H01J37/32284 , C23C16/045 , C23C16/511 , H01J37/32192 , H05B6/80
Abstract: 処理対象の表面に均一な薄膜層を形成でき、しかも、短時間に処理することができるマイクロ波プラズマ処理方法を提供する。プラズマ処理室1にマイクロ波を導入し、処理用ガスをプラズマ化することにより、前記プラズマ処理室内1に配置した基体13に薄膜層を形成するマイクロ波プラズマ処理方法において、前記基体13をプラズマ処理室1の中心軸と同軸上に固定し、前記プラズマ処理室内のマイクロ波の定在波モードを、前記基体の口部131から胴部133までは、TEモード又はTEMモードとし、前記基体の底部132は、TEモードとTMモードが共在するモードとしたマイクロ波プラズマ処理方法としてある。
Abstract translation: 能够在未处理物体的表面上形成均匀的薄膜的微波等离子体处理方法和短期处理。 微波等离子体处理方法,其向等离子体处理室(1)引入微波以将处理气体转换为等离子体并在设置在等离子体处理室(1)中的基板(13)上形成薄膜层,其中基板 13)固定在与等离子体处理室(1)的中心轴同轴的轴上,等离子体处理室(1)中的微波驻波模式被设定为TE模式或TEM模式 衬底的口(131)到主体(133),并且到TE模和TM模共同存在于衬底的底部(132)的模式。
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公开(公告)号:WO2004081254A1
公开(公告)日:2004-09-23
申请号:PCT/JP2004/003202
申请日:2004-03-11
IPC: C23C16/511
CPC classification number: H01J37/3244 , C23C16/045 , C23C16/45568 , C23C16/45578 , C23C16/511 , H01J37/32192 , H05H1/46 , H05H2001/463
Abstract: 処理基体に均一な薄膜を形成できるマイクロ波プラズマ処理装置及びガス供給部材を提供する。プラズマ処理室内の中心軸上に処理対象である基体を固定する固定手段と、基体の内部及び外部を減圧する排気手段と、基体の内部にあってプラズマ処理室と半同軸円筒共振系をなす金属製の処理用ガス供給部材と、プラズマ処理室にマイクロ波を導入して処理を行うマイクロ波導入手段とを有するマイクロ波プラズマ処理装置において、固定手段の基体を把持する部分の所定位置にマイクロ波封止部材を設けるとともに、マイクロ波導入手段の接続位置をプラズマ処理室の内部に形成される電界強度分布のうち、電界の弱い所定位置に設定した構成としてある。
Abstract translation: 微波等离子体处理装置和能够在待加工基板上形成均匀薄膜的气体供给部件。 微波等离子体处理装置包括:将待处理基板固定在等离子体处理室中的中心轴上的固定装置,对基板内部和外部进行减压的排气装置;存在于基板中的金属加工气体供给部件;以及 与等离子体处理室一起形成可折入的圆柱形谐振系统,以及将微波引入等离子体处理室以进行处理的装置,其中微波密封构件设置在固定装置的基板保持部分的指定位置 并且微波引入装置的连接位置被设定在等离子体处理室内形成的场强分布之外的特定的弱磁场位置。
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公开(公告)号:WO2004087989A1
公开(公告)日:2004-10-14
申请号:PCT/JP2004/003992
申请日:2004-03-23
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C23C16/045 , B05D1/62 , B05D2201/00 , B05D2490/50 , C23C16/0272 , C23C16/401 , C23C16/45523
Abstract: A method for forming a vapor deposition film composed of a silicon oxide on a surface of a substrate is disclosed in which the substrate to be processed is held in a plasma processing chamber and a chemical plasma processing is conducted by supplying an organic silicon compound and an oxidizing gas into the processing chamber. By changing the supply rate of the oxidizing gas during formation of a deposition film while keeping the supply rate of the organic silicon compound gas at a certain fixed rate, there can be formed a chemical vapor deposition film which is excellent in adhesion, plasticity, flexibility, oxygen barrier property and moisture barrier property.
Abstract translation: 公开了一种在基板的表面上形成由氧化硅构成的蒸镀膜的方法,其中待处理基板保持在等离子体处理室中,并且通过提供有机硅化合物和 将氧化气体进入处理室。 通过在形成沉积膜期间改变氧化气体的供给速率,同时保持有机硅化合物气体的供给速率达到一定的固定速度,可以形成粘附性,塑性,柔性优异的化学气相沉积膜 ,阻氧性和防潮性。
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公开(公告)号:WO2002092875A1
公开(公告)日:2002-11-21
申请号:PCT/JP2002/004616
申请日:2002-05-13
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C23C16/0272 , C23C16/045 , C23C16/401 , C23C16/402 , Y10T428/265 , Y10T428/31667
Abstract: A silicon oxide membrane formed on a surface of a plastic substrate, characterized in that methyl groups and methylene groups are present in the vicinity of its side of the interface between the membrane and the plastic substrate. The silicon oxide membrane not only is excellent in the adhesion to a plastic substrate, and in softness and flexibility, but also exhibits excellent gas barrier properties, which leads to the achievement of satisfactory gas barrier property with a less thickness as compared to that of a conventional silicon oxide membrane. Further, the above membrane can be produced with excellent productivity.
Abstract translation: 形成在塑料基板的表面上的氧化硅膜,其特征在于甲基和亚甲基存在于膜和塑料基板之间的界面侧面附近。 氧化硅膜不仅在塑性基材的粘附性以及柔软性和柔软性方面优异,而且还具有优异的阻气性,这导致了与 常规氧化硅膜。 此外,可以以优异的生产率制造上述膜。
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公开(公告)号:WO2004033753A1
公开(公告)日:2004-04-22
申请号:PCT/JP2003/012946
申请日:2003-10-09
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C23C16/515 , C23C16/0272 , C23C16/045 , C23C16/40 , C23C16/511 , H01J37/32192 , H01J37/32201 , H01J37/32311
Abstract: 本発明のプラズマCVD法による金属酸化膜を形成する方法は、低出力領域でのグロー放電によって有機金属が主体とする反応を行った後、高出力領域でのグロー放電によって有機金属と酸化性ガスとの反応を行うことにより、プラスチック基体表面に、有機性層を介して金属酸化膜を形成する。この方法によれば、プラスチック等の基体の表面に、プラズマCVD法により、密着性や柔軟性、可撓性に優れた薄膜を形成することができる。
Abstract translation: 根据等离子体CVD法形成金属氧化物膜的方法,包括在低输出区域进行辉光放电,以进行主反应物为有机金属的反应,然后在高输出区域进行辉光放电,以便 进行有机金属与氧化性气体的反应,得到塑料基板,并且在其表面顺序地叠加有机层和金属氧化物膜。 该方法能够根据等离子体CVD工艺在诸如塑料的基板的表面上形成优异的粘附性,柔软性和柔性的薄膜。
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公开(公告)号:WO2008001425A1
公开(公告)日:2008-01-03
申请号:PCT/JP2006/312757
申请日:2006-06-26
CPC classification number: A47J36/02 , B65D81/262 , B65D81/3407
Abstract: 【課題】 電磁調理器のメーカー毎に異なる鍋確認周波数等に対応して加熱が可能で、発熱特性を適正かつ容易に設定することでき、その流通性、使用形態、廃棄性、調理の手軽さ等に優れ、レトルト食品、即席食品等に適した加熱効率の高い電磁調理器用容器を提供する。 【解決手段】 非導電性材料からなる容器本体と、容器底部に導電層を有し、前記導電層の加熱コイルの鍋確認周波数に対する高周波抵抗分変化率(R-R0)/R0を5.3以上、インダクタンス変化率(L-L0)/L0を-0.17以下とした電磁調理器用容器とする。 但し、Rは加熱コイル側からみた前記高周波抵抗分(Ω)、R0は無負荷時の加熱コイル側からみた高周波抵抗分(Ω)、Lは加熱コイル側からみた前記インダクタンス(μH)、L0は無負荷時の加熱コイル側からみたインダクタンス(μH)を表す。
Abstract translation: 一种能够加热食品并适用于通过电磁炉制造不同的锅确认频率的电磁炉的容器,其具有充分且易于设定的加热特性,分散性,使用形式,可处理性和烹饪方便性高,并且具有高加热 适用于蒸煮袋,瞬间等的效率。 一种用于电磁炊具的容器,包括非导电材料的容器主体和形成在容器底部上的导电层。 相对于导电层的加热线圈的平移确认频率的高频电阻变化率(R-R0)/ R0为5.3以上,电感变化率(L-L0 )/ L0为-0.17以下。 R是从加热线圈观察时的高频电阻(O),当从加热线圈无负载观察时,R0为高频电阻(O),L为从加热线圈观察时的电感(μH) L0是从加热线圈无负载时的电感(μH)。
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公开(公告)号:WO2009008421A1
公开(公告)日:2009-01-15
申请号:PCT/JP2008/062323
申请日:2008-07-08
CPC classification number: H05B6/54 , A23L3/10 , A23L5/15 , H05B3/0004 , H05B3/03
Abstract: 【課題】不定形な被加熱材を均一に加熱することができ、且つ加熱電極による被加熱材の加熱・保持搬送を安定して行うことができる加熱電極及びそれを用いた食材の加熱方法を提供する。 【解決手段】導電性ピンから成る複数のピン電極10の集合体をピン支持台20の貫通穴21に摺動可能に配設し、ピン支持台20に圧力が可変する圧力可変ガスチャンバ30を結合し、上記ガスチャンバ30を加圧または減圧することにより、ピン電極10をピン支持台20に対し相対変位させる。
Abstract translation: 本发明提供一种加热电极,其可均匀地加热被加热材料并具有不规则形状,并能够稳定地进行由加热电极加热的材料的加热/保持输送; 以及通过使用加热电极来加热食物的方法。 用于解决问题的手段由导电销形成的销电极(10)的组件可滑动地布置在销支撑台(20)的通孔(21)中。 其压力可变的压力变化气室(30)连接到销支撑台(20)。 通过对气室(30)施加加压或负压,针电极(10)相对于销支撑台(20)移位。
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公开(公告)号:WO2006109754A1
公开(公告)日:2006-10-19
申请号:PCT/JP2006/307508
申请日:2006-04-03
IPC: C23C16/511
CPC classification number: C23C16/545 , C23C16/511 , H01J37/32192 , H01J37/3277
Abstract: A vapor deposition film formation method includes a step for arranging a surface wave generating device (10) using a microwave in a vacuum region, a step for continuously feeding a plastic film substrate (13) into the vacuum region so as to oppose to the surface wave generating device, a step of continuously supplying a reaction gas containing at least organic metal compound into the vacuum region, and a step for executing plasma reaction by the surface wave of the microwave from the surface wave generating device (10), thereby continuously forming a vapor deposition film on the surface of the film substrate (13). This method enables continuous formation of a vapor deposition film on the surface of a film substrate, especially a long film, by the surface wave plasma of the microwave.
Abstract translation: 蒸镀膜形成方法包括在真空区域中使用微波配置表面波产生装置(10)的步骤,将塑料膜基板(13)连续供给到真空区域中以与表面相对的步骤 波形发生装置,将至少含有有机金属化合物的反应气体连续供给到真空区域的步骤,以及通过来自表面波生成装置(10)的微波表面波进行等离子体反应的工序,从而连续地形成 在薄膜基板(13)的表面上的蒸镀膜。 该方法能够通过微波的表面波等离子体在膜基板的表面,特别是长的膜的表面上连续地形成气相沉积膜。
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公开(公告)号:WO2004081253A1
公开(公告)日:2004-09-23
申请号:PCT/JP2004/002836
申请日:2004-03-05
IPC: C23C16/44
CPC classification number: H01J37/32192 , C23C16/045 , C23C16/463 , C23C16/511 , H01J37/32082 , H01J37/3244
Abstract: 本発明のプラスチック容器の化学プラズマ処理方法は、プラズマ処理室内にプラズマ処理用ガス及びマイクロ波等のプラズマ化のためのエネルギーを供給してグロー放電を生じさせ、プラスチック容器に化学蒸着膜を形成する際に、該プラスチック容器を冷却することを特徴とする。この方法によれば、プラスチック容器の変形が有効に抑制され、長期間にわたって継続してプラスチック容器内面への化学蒸着膜を形成することでき、生産性を著しく高めることができる。
Abstract translation: 一种用于塑料容器的化学等离子体处理方法的特征在于,当通过等离子体处理气体的供给和用于等离子体形成的能量(例如微波)产生辉光放电而在其上形成化学气相沉积膜时,塑料容器被冷却 等离子体处理室。 通过该方法,能够有效地抑制塑料容器的变形。 因此,可以长期地在塑料容器的内表面上连续地形成化学气相沉积膜,从而显着提高生产率。
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