公开(公告)号：WO2017153773A1

公开(公告)日：2017-09-14

申请号：PCT/GB2017/050655

申请日：2017-03-10

Applicant: THE UNIVERSITY OF BRISTOL

Inventor： RANA, Sunil ,  PAMUNUWA, Dinesh ,  BOODHOO, Liam Anand ,  CHONG, Harold Meng Hoon

IPC: H01H59/00 ,  H01H1/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/0005 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/019 ,  H01H2001/0052 ,  H01H2001/0057 ,  H01H2001/0078 ,  H01H2201/026 ,  H01H2209/002 ,  H01H2209/016 ,  H01H2227/002

Abstract: A electromechanical relay device (100) comprising a source electrode (102), a beam (104) mounted on the source electrode at a first end and electrically coupled to the source electrode; a first drain electrode (112) located adjacent a second end of the beam, wherein a first contact (110) on the beam is arranged to be separated from a second contact (112) on the first drain electrode when the relay device is in a first condition; a first gate electrode (106arranged to cause the beam to deflect,to electrically couple the first contact and the second contact such that the device is in a second condition; and wherein the first and second contacts are each coated with a layer of nanocrystalline graphite.

Abstract translation: 一种机电中继装置（100），包括源电极（102），在第一端部处安装在源电极上并且电耦合到源电极的梁（104） 位于所述光束的第二端附近的第一漏电极（112），其中所述光束上的第一触点（110）被布置成当所述中继器件处于所述第一漏电极上时与所述第一漏电极上的第二触点（112）分离 第一条件; 第一栅极电极（106，其被安排成使所述束偏转，以电耦合所述第一触点和所述第二触点，使得所述装置处于第二状态;并且其中所述第一和第二触点各自涂覆有纳米晶体石墨层。

公开(公告)号：WO2013020039A3

公开(公告)日：2013-03-21

申请号：PCT/US2012049497

申请日：2012-08-03

Applicant: CAVENDISH KINETICS INC ,  TROY BRIAN I ,  RENAULT MICKAEL ,  MAGUIRE THOMAS L ,  LACEY JOSEPH DAMIAN GORDON ,  BOBEY JAMES F

Inventor： TROY BRIAN I ,  RENAULT MICKAEL ,  MAGUIRE THOMAS L ,  LACEY JOSEPH DAMIAN GORDON ,  BOBEY JAMES F

IPC: B81C1/00 ,  H01H1/00

CPC classification number: B81C1/00484 ,  B81B3/0008 ,  B81B2201/014 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0118 ,  B81C2201/0108 ,  H01H1/0036 ,  H01H2001/0089

Abstract: The present invention generally relates to a MEMS device in which silicon residues from the adhesion promoter material are reduced or even eliminated from the cavity floor. The adhesion promoter is typically used to adhere sacrificial material to material above the substrate. The adhesion promoter is then removed along with the sacrificial material. However, the adhesion promoter leaves silicon based residues within the cavity upon removal. The inventors have discovered that the adhesion promoter can be removed from the cavity area prior to depositing the sacrificial material. The adhesion promoter which remains over the remainder of the substrate is sufficient to ad¬ here the sacrificial material to the substrate without fear of the sacrificial material delaminating. Because no adhesion promoter is used in the cavity area of the device, no silicon residues will be present within the cavity after the switching element of the MEMS device is freed.

Abstract translation: 本发明一般涉及一种MEMS器件，其中来自粘合促进剂材料的硅残余物从空腔底板减少甚至消除。 粘合促进剂通常用于将牺牲材料粘附到衬底上方的材料上。 然后将粘附促进剂与牺牲材料一起除去。 然而，粘合促进剂在除去后将空穴中的硅基残留物留下。 发明人已经发现，在沉积牺牲材料之前，可以从空腔区域去除粘合促进剂。 保留在基材剩余部分的粘合促进剂足以将牺牲材料附加到基材上，而不用担心牺牲材料分层。 因为在器件的空腔区域中没有使用粘合促进剂，所以在MEMS器件的开关元件被释放之后，腔内将不存在硅残余物。

公开(公告)号：WO2012148604A2

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：PCT/US2012/030286

申请日：2012-03-23

Applicant: CLEAN ENERGY LABS, LLC ,  LACKOWSKI, William Martin ,  EVERETT, William Neil ,  PINKERTON, Joseph F.

Inventor： LACKOWSKI, William Martin ,  EVERETT, William Neil ,  PINKERTON, Joseph F.

IPC: B82B3/00

CPC classification number: B82B3/0023 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2207/053 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/0194 ,  B81C2203/036 ,  B81C2203/051 ,  G01L9/0042 ,  H01H1/0094

Abstract: The present invention relates to thin membranes (such as graphene windows) and methods of aligned transfer of such thin membranes to substrates. The present invention further relates to devices that include such thin membranes.

Abstract translation: 本发明涉及薄膜（例如石墨烯窗）和将这种薄膜对准转移到基底的方法。 本发明还涉及包括这种薄膜的装置。

公开(公告)号：WO2011057844A1

公开(公告)日：2011-05-19

申请号：PCT/EP2010/063888

申请日：2010-09-21

Applicant: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  IBM UNITED KINGDOM LIMITED ,  COHEN, Guy ,  FRANK, David, James

Inventor： COHEN, Guy ,  FRANK, David, James

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2207/053 ,  B81C2201/0167

Abstract: A nonvolatile nano-electromechanical system device is provided and includes a cantilever structure, including a beam having an initial shape, which is supported at one end thereof by a supporting base and a beam deflector, including a phase change material (PCM), disposed on a portion of the beam in a non-slip condition with a material of the beam, the PCM taking one of an amorphous phase or a crystalline phase and deflecting the beam from the initial shape when taking the crystalline phase.

Abstract translation: 提供了非易失性纳米机电系统装置，其包括悬臂结构，其包括具有初始形状的梁，所述梁的一端由支撑基座支撑，并且梁偏转器包括相变材料（PCM），所述相变材料 光束的一部分处于防滑状态，具有光束的材料，PCM采取非晶相或结晶相中的一种，并且在获取结晶相时将光束从初始形状偏转。

公开(公告)号：WO2010072044A1

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：PCT/CN2009/001163

申请日：2009-10-20

Applicant: 北京大学 ,  陈兢 ,  舒琼 ,  张轶铭

Inventor： 陈兢 ,  舒琼 ,  张轶铭

IPC: H01H49/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B2201/018 ,  B81C1/00547

公开(公告)号：WO2009045915A2

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：PCT/US2008077922

申请日：2008-09-26

Applicant: UNIV BRIGHAM YOUNG ,  DAVIS ROBERT C ,  VANFLEET RICHARD R ,  HUTCHISON DAVID N

Inventor： DAVIS ROBERT C ,  VANFLEET RICHARD R ,  HUTCHISON DAVID N

IPC: B82B1/00 ,  C01B31/02

CPC classification number: H01J5/18 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0109 ,  B81C1/00031 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/16 ,  C01B32/168 ,  C01B2202/20 ,  C01B2202/34 ,  C01B2202/36

Abstract: A carbon nanotube assembly comprises a plurality of carbon nanotubes arranged into a patterned frame (10) and extending from a base (33) of the patterned frame to a face (31) of the patterned frame, the patterned frame having a height of at least about 10 µm or greater. At least one passage (14) extends through or is defined in the patterned frame, the at least one passage extending from the base of the patterned frame to the face of the patterned frame. An interstitial material at least partially fills interstices between at least some of the carbon nanotubes.

Abstract translation: 碳纳米管组件包括布置成图案化框架（10）并从图案化框架的基部（33）延伸到图案化框架的表面（31）的多个碳纳米管，所述图案化框架具有至少的高度 约10μm以上。 至少一个通道（14）延伸穿过或者被限定在图案化框架中，该至少一个通道从图案化框架的底部延伸到图案化框架的表面。 间隙材料至少部分填充至少一些碳纳米管之间的间隙。

公开(公告)号：WO2007109203A2

公开(公告)日：2007-09-27

申请号：PCT/US2007/006752

申请日：2007-03-19

Applicant: INNOVATIVE MICRO TECHNOLOGY ,  PARANJPYE, Alok ,  SUMMERS, Jeffery, F.

Inventor： PARANJPYE, Alok ,  SUMMERS, Jeffery, F.

IPC: H01H1/00 ,  H01H11/00

CPC classification number: B81B3/0024 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/0278 ,  H01H2037/008 ,  H01H2061/008 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T29/49147 ,  Y10T29/49204 ,  Y10T29/53248

Abstract: A MEMS thermal switch is disclosed which couples a hot, expanding beam to a cool flexor beam using a slideably engaged tether, and bends the cool, flexor beam by the expansion of the hot beam. A rigidly engaged tether ties the distal ends of the hot, expanding beam and the cool, flexor beam together, whereas the slideably engaged tether allows the hot, expanding beam to elongate with respect to the cool, flexor beam, without loading the slideably engaged tether with a large shear force. As a result, the material of the tether can be made stiffer, and therefore transmit the bending force of the hot, expanding beam more efficiently to the cool, flexor beam.

Abstract translation: 公开了一种MEMS热开关，其使用可滑动接合的系绳将热膨胀梁耦合到冷弯头梁，并且通过热梁的膨胀来弯曲冷弯曲梁。 刚性接合的系绳将热的，扩张的梁和冷的弯曲梁的远端连接在一起，而可滑动地接合的系绳允许热的，膨胀的梁相对于冷的屈肌梁而伸长，而不加载可滑动地接合的系绳 具有很大的剪切力。 结果，系链的材料可以变得更硬，并且因此将热膨胀梁的弯曲力更有效地传递到凉爽的弯曲梁。

公开(公告)号：WO2006105898A1

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：PCT/EP2006/002815

申请日：2006-03-28

Applicant: AUSTRIAMICROSYSTEMS AG ,  LÖFFLER, Bernhard ,  SCHRANK, Franz

Inventor： LÖFFLER, Bernhard ,  SCHRANK, Franz

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B7/0012 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0109

Abstract: Es wird ein in einem integrierten Dünnschichtverfahren herstellbares mikromechanisches Bauelement vorgeschlagen, welches auf der Oberfläche eines Substrats als Mehrschichtaufbau erzeugt und strukturiert werden kann. Für den Mehrschichtaufbau werden zumindest zwei Metallschichten vorgesehen, die vom Substrat und gegeneinander durch Zwischenschichten getrennt sind. Elektrisch leitende Verbindungsstrukturen sorgen für einen elektrischen Kontakt der Metallschichten untereinander und mit einer im Substrat angeordneten Schaltungsanordnung. Die für einen Trägheitssensor, ein Mikrofon oder einen elektrostatischen Schalter einsetzbare freischwingende Membran kann zur Verbesserung ihrer mechanischen Eigenschaften auf allen Oberflächen mit Anpass- und Passivierungsschichten versehen werden, die beim Schichterzeugungsprozess beziehungsweise beim Aufbau des Mehrschichtaufbaus mit abgeschieden und strukturiert werden. Vorteilhaft werden dafür Titannitrid-Schichten eingesetzt.

Abstract translation: 有人提出了一种集成薄膜工艺微机械部件，其可在衬底上作为多层结构和图案化的表面上产生的生产。 对于两个金属层的多层结构在该从衬底并且彼此通过中间层分开的至少被提供。 导电连接结构提供的金属层的相互的电接触并具有设置在衬底中的电路。 可用一个惯性传感器，麦克风或静电开关自由地振动膜可以被提供以改进与在膜形成过程中或在多层结构的构造沉积并图案化拟合和钝化膜的所有表面上它们的机械性能。 氮化钛层有利地用于此目的。

公开(公告)号：WO2006099945A1

公开(公告)日：2006-09-28

申请号：PCT/EP2006/002076

申请日：2006-03-07

Applicant: MILLET, Olivier

Inventor： MILLET, Olivier

IPC: H01H1/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/018 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0063

Abstract: The RF MEMS switch comprising micromechanical switching means that are carried by a substrate (1) and that can be actuated between two positions: a first position (off-state/ figure 1) and a second position (on- state), and actuation means for actuating the position of the switching means. The micromechanical switching means comprise a flexible membrane (6) which is freely supported by support means (3), which is bendable under the action of the actuation means (7), and which can freely slide relatively to the support means (3) during its bending movement.

Abstract translation: RF MEMS开关包括微机械切换装置，其由衬底（1）承载并且可以在两个位置之间被致动：第一位置（关闭状态/图1）和第二位置（在线状态），以及致动装置 用于致动切换装置的位置。 微机械切换装置包括柔性膜（6），其由支撑装置（3）自由地支撑，支撑装置（3）可在致动装置（7）的作用下弯曲，并且可在相对于支撑装置（3） 它的弯曲运动。

公开(公告)号：WO2003040338A2

公开(公告)日：2003-05-15

申请号：PCT/US2002/035988

申请日：2002-11-08

Applicant: COVENTOR, INCORPORATED ,  SETT, Subham ,  CUNNINGHAM, Shawn, J.

Inventor： SETT, Subham ,  CUNNINGHAM, Shawn, J.

IPC: C12N

CPC classification number: B81B3/0024 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/014 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/04 ,  B81B2207/07 ,  B81C1/0015 ,  B81C2201/0107 ,  B81C2201/0108 ,  B81C2201/0109 ,  H01H1/04 ,  H01H1/504 ,  H01H59/0009 ,  H01H61/04 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0063 ,  H01H2001/0089 ,  H01H2059/0072 ,  H01H2061/006 ,  H01L23/3735 ,  H01L23/522 ,  H01L27/1203 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H02N1/006 ,  H02N10/00 ,  Y10T29/49222 ,  H01L2924/00

Abstract: A micro-scale interconnect device with internal heat spreader and method for fabricating same. The device includes first and second arrays of generally coplanar electrical communication lines. The first array is disposed generally along a first plane, and the second array is disposed generally along a second plane spaced from the first plane. The arrays are electrically isolated from each other. Embedded within the interconnect device is a heat spreader element. The heat spreader element comprises a dielectric material disposed in thermal contact with at least one of the arrays and a layer of thermally conductive material embedded in the dielectric material. The device is fabricated by forming layers of electrically conductive, dielectric, and thermally conductive materials on a substrate. The layers are arranged to enable heat energy given off by current-carrying communciation lines to be transferred away from the communciation lines.

Abstract translation: 具有内部散热器的微尺寸互连装置及其制造方法。 该装置包括大致共面电通信线路的第一和第二阵列。 第一阵列大致沿着第一平面布置，并且第二阵列通常沿着与第一平面间隔开的第二平面设置。 阵列彼此电隔离。 嵌入在互连装置内的是散热器元件。 散热器元件包括设置成与阵列中的至少一个热交换的介电材料和嵌入电介质材料中的导热材料层。 该器件通过在衬底上形成导电的，介电的和导热的材料层来制造。 这些层被布置成使得由载流通信线发出的热能被转移离开通信线。