半導体搬送部材および半導体載置部材
    1.
    发明申请
    半導体搬送部材および半導体載置部材 审中-公开
    半导体运输会员和半导体执行会员

    公开(公告)号:WO2016027803A1

    公开(公告)日:2016-02-25

    申请号:PCT/JP2015/073129

    申请日:2015-08-18

    Inventor: 前野 洋平

    Abstract:  強いグリップ力が発現できるとともに汚染物が半導体側に付着残存しにくい半導体載置部材を有する半導体搬送部材を提供する。また、強いグリップ力が発現できるとともに汚染物が半導体側に付着残存しにくい半導体載置部材を提供する。 本発明の半導体搬送部材は、搬送基材と半導体載置部材とを有する半導体搬送部材であって、該半導体載置部材が繊維状柱状構造体を含み、該繊維状柱状構造体が、繊維状柱状物を複数備える繊維状柱状構造体であり、該繊維状柱状物は、該搬送基材に対して略垂直方向に配向しており、該繊維状柱状構造体の該搬送基材と反対の側の表面の、ガラス表面に対する静摩擦係数が2.0以上である。

    Abstract translation: 提供一种半导体传输构件,其包括具有较强夹持力的半导体承载构件,并且较不易于污染物附着并残留在其半导体侧上。 还提供了一种半导体承载构件,该半导体承载构件具有较强的夹紧力,并且较不易于污染物粘附并残留在其半导体侧上。 该半导体传输构件包括输送基板和半导体承载构件,其中半导体承载构件具有纤维状柱状结构,该纤维柱状结构设置有多个纤维柱,所述纤维柱基本上垂直于输送基板取向, 纤维状柱状结构的与输送基板侧相反一侧的表面相对于玻璃表面的静摩擦系数为2.0以上。

    CARBON AND CARBON/SILICON COMPOSITE NANOSTRUCTED MATERIALS AND CASTING FORMATION METHOD
    10.
    发明申请
    CARBON AND CARBON/SILICON COMPOSITE NANOSTRUCTED MATERIALS AND CASTING FORMATION METHOD 审中-公开
    碳和碳/硅复合材料纳米材料和铸造方法

    公开(公告)号:WO2012050966A2

    公开(公告)日:2012-04-19

    申请号:PCT/US2011/053965

    申请日:2011-09-29

    Abstract: The invention provides nanostructure composite porous silicon and carbon materials, and also provides carbon nanofiber arrays having a photonic response in the form of films or particles. Composite materials or carbon nanofiber arrays of the invention are produced by a templating method of the invention, and the resultant nanomaterials have a predetermined photonic response determined by the pattern in the porous silicon template, which is determined by etching conditions for forming the porous silicon. Example nanostructures include rugate filters, single layer structures and double layer structures. In a preferred method of the invention, a carbon precursor is introduced into the pores of a porous silicon film. Carbon is then formed from the carbon precursor. In a preferred method of the invention, liquid carbon-containing polymer precursor is introduced into the pores of an porous silicon film. The precursor is thermally polymerized to form a carbon-containing polymer in the pores of the porous silicon film, which is then thermally carbonized to produce the nanostructured composite material. A carbon nanofiber array is obtained by dissolving the porous silicon. A carbon nanofiber array can be maintained as a film in liquid, and particles can be formed by drying the material.

    Abstract translation: 本发明提供纳米结构复合多孔硅和碳材料,并且还提供具有膜或颗粒形式的光子响应的碳纳米纤维阵列。 通过本发明的模板法制备本发明的复合材料或碳纳米纤维阵列,并且所得纳米材料具有由多孔硅模板中的图案确定的预定光子响应,其由用于形成多孔硅的蚀刻条件确定。 示例性纳米结构包括鲁棒过滤器,单层结构和双层结构。 在本发明的优选方法中,将碳前体引入多孔硅膜的孔中。 然后由碳前体形成碳。 在本发明的优选方法中,将含液体碳的聚合物前体引入多孔硅膜的孔中。 将前体热聚合以在多孔硅膜的孔中形成含碳聚合物,然后将其热碳化以产生纳米结构复合材料。 通过溶解多孔硅获得碳纳米纤维阵列。 碳纳米纤维阵列可以作为液体中的膜保持,并且可以通过干燥材料形成颗粒。

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