公开(公告)号：WO2016130123A1

公开(公告)日：2016-08-18

申请号：PCT/US2015/015542

申请日：2015-02-12

Applicant: HONEYWELL INTERNATIONAL INC.

Inventor： STEWART, Carl

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0054 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  B81C1/00158 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0045 ,  G01L9/0055

Abstract: A sensor includes a first substrate and a second substrate. The first substrate includes a first side and an opposing second side, with the first side having a recess. The recess is defined by one or more side walls and a bottom wall. One or more of the side walls are substantially perpendicular to the bottom wall. A sensing diaphragm is defined between the second side of the first substrate and the bottom wall of the recess. A boss extends from the bottom wall of the recess. The second substrate may include a first side and an opposing second side, where the first side has a recess. The first side of the first substrate may be secured to the first side of the second substrate such that the recess in the first substrate faces and is in fluid communication with the recess in the second substrate.

Abstract translation: 传感器包括第一基板和第二基板。 第一基板包括第一侧和相对的第二侧，第一侧具有凹部。 凹槽由一个或多个侧壁和底壁限定。 一个或多个侧壁基本上垂直于底壁。 感测隔膜限定在第一基板的第二侧和凹部的底壁之间。 凸台从凹槽的底壁延伸。 第二基板可以包括第一侧和相对的第二侧，其中第一侧具有凹部。 第一衬底的第一侧可以被固定到第二衬底的第一侧，使得第一衬底中的凹槽面对并且与第二衬底中的凹部流体连通。

公开(公告)号：WO2015076158A1

公开(公告)日：2015-05-28

申请号：PCT/JP2014/079910

申请日：2014-11-12

Applicant: 日立オートモティブシステムズ株式会社

Inventor： 風間　敦 ,  小野塚　準二 ,  小貫　洋 ,  飛田　美帆 ,  日尾　真之

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0055 ,  G01L9/0044 ,  G01L19/0038 ,  G01L19/0084 ,  G01L19/04

Abstract: ダイアフラム上に歪ゲージを形成した構成の圧力センサにおいて、歪ゲージの位置ずれによるセンサ特性の変化を抑制し、かつ温度変化に対するセンサ出力の変化を抑制する。 長手と短手を備えたダイアフラム上に、ブリッジ回路を構成する特性の等しい４つの歪ゲージが形成されたセンサチップを配置し、ダイアフラムに加えられた圧力に比例した電圧出力をブリッジ回路で検出する圧力センサであって、４つの歪ゲージは、２つを短手に沿って、他の２つを長手に沿って、ダイアフラムの中央付近に近接して配置され、センサチップから見て長手の方向に、ダイアフラムの厚みが薄い部分を有する構成とする。

Abstract translation: 本发明使由于应变仪未对准引起的传感器特性的变化以及由于压力传感器的温度变化导致的传感器输出的变化，该压力传感器具有在隔膜顶部形成应变片的结构。 在其中形成有具有相同特性并构成桥接电路的四个应变计的传感器芯片位于具有长方向和短方向的隔膜的顶部上，并且所述桥接电路用于 检测与施加到隔膜的压力成比例的输出电压，四个应变计在隔膜的中心附近相邻布置，两个平行于短方向并且另外两个平行于长方向，并且隔膜 在传感器芯片的长方向上具有薄的部分。

公开(公告)号：WO2015038320A1

公开(公告)日：2015-03-19

申请号：PCT/US2014/052604

申请日：2014-08-26

Applicant: HONEYWELL INTERNATIONAL INC.

Inventor： DAVIS, Richard A. ,  STEWART, Carl

IPC: G01L19/00 ,  G01L19/04

CPC classification number: G01L9/0052 ,  G01L9/0055 ,  G01L9/0092 ,  G01L19/0007 ,  G01L19/0038 ,  G01L19/0061 ,  G01L19/0084 ,  G01L19/0627 ,  G01L19/0645 ,  G01L19/147 ,  G01L19/148 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2224/73265 ,  H05K3/30 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49155

Abstract: A pressure sensor includes a pressure sensing element and a top cap. The pressure sensing element includes a bonded wafer substrate having a buried sealed cavity. A wall of the buried sealed cavity forms a sensing diaphragm. One or more sense elements may be supported by the sensing diaphragm and one or more bond pads are supported by the upper side of the bonded wafer substrate. Each of the bond pads may be positioned adjacent to the sensing diaphragm and electrically connected to one or more of the sense elements. The top cap may be secured to the upper side of the bonded wafer substrate such that an aperture in the top cap facilitates passage of a media in a downward direction to the sensing diaphragm. The top cap may be configured to isolate the bond pads from the media.

Abstract translation: 压力传感器包括压力感测元件和顶盖。 压力感测元件包括具有掩埋密封腔的接合晶片衬底。 掩埋密封腔的壁形成感测膜片。 一个或多个感测元件可以由感测膜片支撑，并且一个或多个接合焊盘由接合的晶片衬底的上侧支撑。 每个接合焊盘可以定位成邻近检测膜片并且电连接到一个或多个感测元件。 顶盖可以固定到接合晶片基板的上侧，使得顶盖中的孔有助于介质沿向下的方向通向感测隔膜。 顶盖可以被配置为将接合垫与介质隔离。

公开(公告)号：WO2013179988A1

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：PCT/JP2013/064251

申请日：2013-05-22

Applicant: アイシン精機株式会社

Inventor： 尾島靖國 ,  家里直哉

IPC: G01L1/22

CPC classification number: G01L1/22 ,  G01L1/2231 ,  G01L5/161 ,  G01L5/223 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0051 ,  G01L9/0055

Abstract: 　高感度な荷重検出装置は、筒状の周壁部と、当該周壁部と同軸上に貫通孔が形成され、周壁部が載置される載置面との間に隙間を有して周壁部の内周面に支持された円板状の円板状部と、少なくとも貫通孔に対向する側の形状が貫通孔の内径よりも大きい直径を有する球形状で形成されると共に貫通孔に載置され、検出対象の荷重が入力される荷重入力部と、貫通孔に対して点対称となるように円板状部に配設され、荷重入力部に入力される荷重に応じた歪みを検出するセンサと、を備える。

Abstract translation: 一种高灵敏度的负载检测装置具有：圆筒形周壁部分; 与圆周壁部同轴地形成有贯通孔的圆板状的圆盘部，与周壁部的内周面相比，具有与安装有周壁部的安装面间隔开的间隙 ; 至少其形状为面向通孔的形状的载荷输入部形成为直径大于通孔内径的球形，安装在通孔中，以及 输入被检测物体的载荷; 以及设置在盘部分中以相对于通孔为点对称的传感器，并且检测与输入到负载输入部分的负载相对应的变形。

公开(公告)号：WO2011143268A1

公开(公告)日：2011-11-17

申请号：PCT/US2011/035988

申请日：2011-05-10

Applicant: WATERS TECHNOLOGIES CORPORATION ,  BUNNER, Bernard ,  GERHARDT, Geoff, C. ,  DOURDEVILLE, Theodore, A.

Inventor： BUNNER, Bernard ,  GERHARDT, Geoff, C. ,  DOURDEVILLE, Theodore, A.

IPC: B01D15/10

CPC classification number: G01N30/32 ,  B01D15/163 ,  B01L3/502746 ,  B01L2200/0605 ,  B01L2200/146 ,  B01L2300/0663 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0883 ,  B01L2300/14 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/082 ,  B01L2400/086 ,  G01L9/0026 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0055 ,  G01L13/02 ,  G01L13/025 ,  G01L15/00 ,  G01L19/0023 ,  G01N30/00 ,  G01N30/34 ,  G01N30/36 ,  G01N2030/326 ,  G05D7/0676 ,  Y10T137/7762 ,  B01D15/40

Abstract: Flow through pressure sensors for use in fluid chromatography systems include a planar device formed from diffusion bonding of a plurality of metallic sheets and at least one sensing element. The planar device has a top surface, a bottom surface and a flow through channel. A diaphragm formed from a portion of one of the top or bottom surfaces is located adjacent to a sensing region of the flow through channel and is attached to the sensing element. The diaphragm is sized to deflect a distance in response to fluid pressure in the sensing region, which has an internal volume of less than about 25 microliters. The diaphragm and attached sensing element form a pressure sensor that measures strain or deflection of the diaphragm to calculate a pressure within the sensing region.

Abstract translation: 用于流体色谱系统的通过压力传感器的流动包括由多个金属片和至少一个感测元件的扩散接合形成的平面装置。 平面装置具有顶表面，底表面和流通通道。 从顶表面或底表面中的一个的一部分形成的隔膜邻近流动通道的感测区域定位并附接到感测元件。 隔膜的尺寸适于响应于感测区域中的流体压力而偏转一段距离，其具有小于约25微升的内部体积。 隔膜和附接的感测元件形成压力传感器，其测量隔膜的应变或偏转以计算感测区域内的压力。

公开(公告)号：WO2011046302A3

公开(公告)日：2011-08-25

申请号：PCT/KR2010006248

申请日：2010-09-14

Applicant: TYCO ELECTRONICS AMP KOREA LTD ,  LEE CHUL SUB ,  KIM YOUNG DEOK ,  BYEON EUL CHUL ,  LEE YONG HUN

Inventor： LEE CHUL SUB ,  KIM YOUNG DEOK ,  BYEON EUL CHUL ,  LEE YONG HUN

IPC: G01L9/04 ,  G01L7/08

CPC classification number: G01L9/0055 ,  G01L19/0084 ,  G01L19/148

Abstract: Disclosed herein is a vertical pressure sensor. The vertical pressure sensor includes a pressure application unit having a diaphragm to which strain gauges are attached, a socket unit surrounding a circumference of the diaphragm of the pressure application unit, the socket unit having a through hole, first to fourth electrode terminals provided at the upper end of the socket unit in a Wheatstone bridge circuit pattern, one end of each of the electrode terminals exposed through the through hole being electrically connected to a corresponding one of the strain gauges by wire bonding, the other end of each of the electrode terminals protruding from the upper end of the socket unit to constitute an electrode tip, a circuit board connected to the first to fourth electrode terminals to convert a pressure value into an electrical signal, and electrode rods connected to the circuit board to transmit the electrical signal outside.

Abstract translation: 本文公开了一种垂直压力传感器。 垂直压力传感器包括：压力施加单元，具有安装有应变仪的隔膜;围绕压力施加单元的隔膜周围的插座单元;插座单元具有通孔;第一至第四电极端子， 插座单元的上端以惠斯通电桥电路图案形式，通过通孔露出的每个电极端子的一端通过引线接合电连接到相应的一个应变计，每个电极端子的另一端 从插座单元的上端突出以构成电极头，连接到第一至第四电极端子以将压力值转换为电信号的电路板，以及连接到电路板以将外部电信号传输到外部的电极棒 。

公开(公告)号：WO2010101986A8

公开(公告)日：2011-03-31

申请号：PCT/US2010026024

申请日：2010-03-03

Applicant: S3C INC ,  SUMINTO JAMES TJANMENG ,  YUNUS MOHAMMAD

Inventor： SUMINTO JAMES TJANMENG ,  YUNUS MOHAMMAD

IPC: G01L9/06

CPC classification number: B81C1/00158 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0055 ,  G01L19/147

Abstract: A pressure sensor is described with sensing elements electrically and physically isolated from a pressurized medium. An absolute pressure sensor has a reference cavity, which can be at a vacuum or zero pressure, enclosing the sensing elements. The reference cavity is formed by bonding a recessed cap wafer with a gauge wafer having a micromachined diaphragm. Sensing elements are disposed on a first side of the diaphragm. The pressurized medium accesses a second side of the diaphragm opposite to the first side where the sensing elements are disposed. A spacer wafer may be used for structural support and stress relief of the gauge wafer. In one embodiment, vertical through-wafer conductive vias are used to bring out electrical connections from the sensing elements to outside the reference cavity. In an alternative embodiment, peripheral bond pads on the gauge wafer are used to bring out electrical connections from the sensing elements to outside the reference cavity

Abstract translation: 描述了一种压力传感器，其具有与加压介质电气和物理隔离的感测元件。 绝对压力传感器具有可以处于真空或零压力的参考腔，包围感测元件。 参考空腔通过将具有微加工膜片的规格晶片与凹形盖晶片结合而形成。 感测元件设置在隔膜的第一侧上。 加压介质访问隔膜的与传感元件设置的第一侧相对的第二侧。 间隔晶片可用于测量晶片的结构支撑和应力释放。 在一个实施例中，垂直透晶片导电通孔用于引出从感测元件到参考腔外部的电连接。 在替代实施例中，测量晶片上的外围接合焊盘用于引出从感测元件到参考腔外部的电连接

公开(公告)号：WO2009005394A1

公开(公告)日：2009-01-08

申请号：PCT/RU2007/000697

申请日：2007-12-12

Applicant: ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ «KOCMИЧECKИE СИСТЕМЫ СПАСЕНИЯ" ,  ВОЛОДИН, Николай Михайлович

Inventor： ВОЛОДИН, Николай Михайлович

IPC: G01L9/04 ,  H01L21/34

CPC classification number: G01L19/04 ,  G01L9/0055

Abstract: Устройство для измерения механических величин, тензометрический преобразователь, содержащий металлический корпус в виде цилиндрического стакана с тонкостенным дном, на наружной поверхности которой сформированы тензорезисторы, компенсационные элементы для температурной компенсации и нормирования выходного сигнала, изоляционный слой, покрывающий указанные элементы на наружной поверхности дна стакана, а тензорезисторы из моносульфита самария закреплены на диэлектрическом слое из окиси алюминия или окиси кремния или двуокиси кремния, который закреплен на наружной поверхности дна стакана через адгезионный слой из хрома, при этом каждое плечо измерительного моста Уитстона выполнено из одного тензорезистора или группы тензорезисторов, соединенных последовательно или параллельно между собой, в зонах сжатия в кольцевой области перехода мембраны в стенку стакана и в зонах растяжения в области центральной части мембраны размещены дистантно по окружности одиночные тензорезисторы или объединенные в дистантно расположенные по окружности группы тензорезисторов, металлизированные площадки состоят из по крайней мере двух слоев, нижний из которых имеет минимальное переходное электрическое сопротивление, а верхний предназначен для пайки

Abstract translation: 用于测量机械量的本发明的装置被设计为应变传感器的形式，包括在其形成有应变片的外表面上的具有薄壁底部的圆柱体的金属体，用于温度补偿的补偿元件 并且用于使输出信号正常化和覆盖在气缸底部的外表面上的上述元件的绝缘层，其中由单亚硫酸钐制成的应变计固定到由氧化铝或氧化硅或二氧化硅制成的电介质层 并且通过铬粘合剂层附接到气缸底部的外表面，惠斯通测量桥的每个臂由一个应变仪或串联或并联互连的一组应变仪形成，单个应变仪或 组合到远程应变仪组中的应变仪沿着压缩机的圆圈远程设置 在膜的中心部分的延伸区域中，薄膜转变成环状区域，并且其中金属化板由至少两层组成，其中较低层具有最小的过渡电阻， 顶层用于焊接。

公开(公告)号：WO2008040656A3

公开(公告)日：2008-07-31

申请号：PCT/EP2007060118

申请日：2007-09-24

Applicant: SIEMENS AG ,  FREUDENBERG OLIVER ,  KUEHNE INGO ,  REBHAN MATTHIAS

Inventor： FREUDENBERG OLIVER ,  KUEHNE INGO ,  REBHAN MATTHIAS

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/06 ,  G01L1/2293 ,  G01L9/0054 ,  G01L9/0055

Abstract: The present invention relates to an electronic component, in particular a microelectromechanical system pressure sensor (7) or generally MEMS sensors which can be used for high pressures and high temperatures and extreme ambient conditions. The invention is distinguished by the fact that a particularly temperature-resistant semiconductor compound, to be precise silicon carbide (SiC), is used as the substrate. In this way, it is possible to detect high pressures and temperatures, in particular in turbines and compressors (10). In addition, an ultrasonic measured value transducer (9) is proposed for data transmission purposes.

Abstract translation: 本发明涉及用于高压和高温以及极端环境条件的电子部件，特别是微电子机械系统压力传感器（7）或者通常MEMS传感器。 本发明的特征在于使用特别耐温的半导体化合物，特别是碳化硅（SiC）作为衬底。 以这种方式，可以检测到高压和高温，特别是在涡轮机和压缩机（10）中。 另外，提出了用于数据传输的超声波换能器（9）。

公开(公告)号：WO2007116030A2

公开(公告)日：2007-10-18

申请号：PCT/EP2007/053415

申请日：2007-04-05

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  PARTSCH, Uwe

Inventor： PARTSCH, Uwe

IPC: G01L1/00

CPC classification number: G01L9/0055 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0075 ,  G01L9/04

Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Multilayerkeramik und betrifft keramische Drucksensoren, wie sie beispielsweise zur industriellen Prozesskontrolle zur Anwendung kommen können. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, keramische Drucksensoren anzugeben, die weitgehend mechanisch spannungsfrei gelagert sind und eine hohe Lebensdauer aufweisen, und deren Herstellung effektiver und kostengünstiger ist. Gelöst wird die Aufgabe durch keramische Drucksensoren, bestehend aus einen Träger aus Folien, wobei die Folie(n) mindestens einen Hohlraum ausbilden, der mit mindestens einer keramischen Druckmembranfolie abgedeckt ist oder in dem sich den Hohlraum abdeckend eine keramische Druckmembranfolie befindet, und wobei die Folie(n) mindestens eine Zuleitung zur Druckanbindung an den Hohlraum aufweisen und der Folienverbund gesintert ist. Die Aufgabe wird weiterhin gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung, bei dem mindestens eine Folie zur Herstellung eines Hohlraumes strukturiert, mindestens eine Druckmembranfolie zur Abdeckung auf den Hohlraum positioniert und nachfolgend der Folienverbund gesintert wird.

Abstract translation: 本发明涉及多层陶瓷领域，并涉及陶瓷压力传感器，例如，可以使用例如用于工业过程控制。 本发明具有的目的是提供陶瓷压力传感器，其被安装在基本上无机械应力，并且具有高耐用性，以及它们的制备是更有效和更便宜。 该目的是通过陶瓷压力传感器来实现，由制得的膜的支撑，其中膜（S）形式的至少一个腔，其上覆盖有至少一个陶瓷压力膜片或其中所述腔体覆盖物是陶瓷压力膜片，且其中所述薄膜的 （多个）包含至少一个供应管线中的压力连接到所述空腔和膜复合材料被烧结。 该目的通过用于制备的方法，其特征在于，用于生产位于至少一个压力膜片覆盖所述腔的腔结构中的至少一种薄膜，随后，该膜复合材料被烧结进一步实现。