公开(公告)号：WO2017080657A1

公开(公告)日：2017-05-18

申请号：PCT/EP2016/001870

申请日：2016-11-10

Applicant: POSSEHL ELECTRONICS DEUTSCHLAND GMBH

Inventor： KURZEJA, Dietmar ,  MORGENTHALER, Frédéric

IPC: H05K1/02 ,  B81B7/00 ,  G01P1/00 ,  H01L23/498 ,  H05K1/14 ,  H05K1/18 ,  H05K3/20

CPC classification number: H05K1/0271 ,  B81B7/0016 ,  B81B7/0048 ,  G01P1/003 ,  H01L23/49861 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/15311 ,  H05K1/142 ,  H05K1/181 ,  H05K3/202 ,  H05K2201/0133 ,  H05K2201/0187 ,  H05K2201/049 ,  H05K2201/10378 ,  H05K2201/10674 ,  H05K2201/10734 ,  H05K2201/2045 ,  Y02P70/611

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Leiterbahnenstruktur mit einer Dämpfungseinrichtung für ein Bauteil, insbesondere für ein elektronisches oder elektromechanisches, insbesondere ein mikroelektronisches Bauteil, die mindestens einen Grundkörper (10; 10') aus einem Trägermaterial (11; 11') und einen Anschlussbereich (2) zur Aufnahme des schwingungs- und/oder vibrationsdämpfenden Bauteils (B) aufweist, der mit einer intrinsischen Dämpfungsvorrichtung (20) der Leiterbahnenstruktur (1) zusammenwirkt. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die intrinsische Dämpfungsvorrichtung (20) durch mindestens eine Schicht (21; 22) aus einem dämpfenden Material, insbesondere aus einem dämpfenden Klebstoff, ausgebildet ist, und dass die derart ausgebildete intrinsische Dämpfungsvorrichtung (20) zwischen dem Anschlussbereich (2) und dem diesen (2) umgebenden Bereich des Grundkörpers (10; 10') angeordnet ist.

Abstract translation:

本发明涉及一种具有d＆AUML的导体轨道结构; mpfungseinrichtung˚F导航用途R A组分，特别是用于导航用途为r的电子或机电的，特别是微电子组件，包括至少一个初学者＆OUML;主体（10; 10“） germaterial;一个Tr的AUML的（11; 11“）和用于接收的振动和/或vibrationsd BEAR的连接区域（2），其具有mpfenden具有固有d＆AUML组分（B）; mpfungsvorrichtung（20）的导体轨道结构（1）相互作用 ， 发明＆AUML;大街 规定固有阻尼装置（20）由阻尼材料尤其是阻尼粘合剂的至少一个层（21; 22）形成，并且固有阻尼装置（20 ）在连接区域（2）与围绕它的基体（10,10'）的区域之间（2）

公开(公告)号：WO2015080793A1

公开(公告)日：2015-06-04

申请号：PCT/US2014/057495

申请日：2014-09-25

Applicant: RAYTHEON COMPANY

Inventor： BULLARD, Andrew L.

IPC: G01P1/02 ,  G01D11/30 ,  G12B9/00

CPC classification number: G01P1/003 ,  G01D11/30 ,  G01P1/023 ,  G12B9/00 ,  Y10T29/49826

Abstract: A system and a method are disclosed for a high bandwidth linear flexure bearing, which may be particularly useful in high end accelerometers and high-precision linear servo mechanisms. Certain embodiments may apply to sensors that measure motion in one dimension. Such embodiments may substantially improve the off-axis performance of the sensors providing ultra-repeatability while maintaining linearity of motion and linearity in spring rate. Some embodiments use spring flexures (602, 702, 802, 902) and flex-couplers (604, 704, 804, 904) to support the sensor stage (601, 701, 801, 901) and connect it to the reference base (603, 703, 803, 903). Several embodiments are disclosed that may fit the needs of specific applications in the area of high-end servos and accelerometers.

Abstract translation: 公开了一种用于高带宽线性挠曲轴承的系统和方法，其可以在高端加速度计和高精度线性伺服机构中特别有用。 某些实施例可以应用于在一个维度上测量运动的传感器。 这样的实施例可以显着改善提供超重复性的传感器的离轴性能，同时保持弹性速率的运动线性度和线性度。 一些实施例使用弹簧挠曲件（602,702,802,902）和挠性联接器（604,704,804,904）来支撑传感器级（601,701,801,901）并将其连接到参考基座（603） ，703，803，903）。 公开了可以满足特定应用在高端舵机和加速度计领域中的需要的几个实施例。

公开(公告)号：WO2008155312A1

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：PCT/EP2008/057549

申请日：2008-06-16

Applicant: THALES ,  QUER, Régis ,  TAURAND, Christophe

Inventor： QUER, Régis ,  TAURAND, Christophe

IPC: G01P1/00 ,  G01P15/097 ,  H03F1/00 ,  H04R3/00

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01P1/003

Abstract: Dispositif électrostatique d'amortissement d'un mouvement de vibrations mécaniques d'un mobile, le mobile étant réalisé en matériau électriquement conducteur, le mouvement du mobile comportant au moins un mode de vibration parasite de fréquence f p à amortir, le dispositif comportant une électrode ELE formant avec le mobile un entrefer de capacité C polarisée sous une tension continue V 0 par un circuit de polarisation, le circuit de polarisation comprenant, reliés électriquement en série avec l'électrode ELE: - une résistance de charge R; - éventuellement une inductance L; - une capacité parasite C p . caractérisé en ce que le circuit de polarisation comporte, en outre, un dispositif électronique compensateur DEC d'impédance Z eq , qui comprend une composante de capacitance C e q , une composante de résistance R eq , et éventuellement une composante d'inductance L eq .

Abstract translation: 1.一种静电装置，用于阻止运动物体的机械振动运动，所述运动物体由导电材料制成，所述运动物体的运动具有至少一个待衰减的频率fp的寄生振动模式，所述装置包括电极ELE 与移动物体形成通过偏置电路以直流电压V0偏压的电容C的间隙，所述偏置电路包括与电极ELE串联电连接：负载电阻器R; 可选地，电感器L; 和寄生电容Cp，其特征在于，偏置电路还包括具有阻抗Zeq的电子补偿装置DEC，其包括电容分量Ceq，电阻分量Req以及可能的电感分量Leq。

公开(公告)号：WO2014095871A1

公开(公告)日：2014-06-26

申请号：PCT/EP2013/076911

申请日：2013-12-17

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： PRUKSCH, Achim ,  KAEFERSTEIN, Berthold

IPC: G01P1/00 ,  F16F15/04 ,  G01D11/10

CPC classification number: F16F15/04 ,  F16F1/00 ,  F16F1/027 ,  F16F7/08 ,  F16F15/073 ,  G01D11/10 ,  G01P1/003 ,  G01P1/023 ,  G01P2015/0882

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Schwingungsdämpfer (10) für eine Sensoreinheit (1) mit einem elastischen Dämpfungselement (20), und eine zugehörige Sensoreinheit (1) mit einem solchen Schwingungsdämpfer (10). Erfindungsgemäß weist das Dämpfungselement (20) eine Zentralplatte (22), mehrere Dämpfungsfinger (24), welche an einem Ende mit der Zentralplatte (22) verbunden sind, und mehrere Befestigungsflächen (22.1, 24.2) auf, wobei mindestens zwei Befestigungsflächen (22.1, 24.2) in einer ersten Raumrichtung (z) beabstandet zueinander angeordnet sind, wobei das Dämpfungselement (20) entlang der ersten Raumrichtung (z) biegeelastisch weich und in einer zur ersten Raumrichtung (z) senkrecht angeordneten Haupterstreckungsebene (x-y) mit einer höheren Steifigkeit ausgebildet ist, wobei auf den mindestens zwei Befestigungsflächen (22.1, 24.2) jeweils eine Kleberschicht (12, 14) aufgebracht ist, welche durch Schwingungen in der Haupterstreckungsebene (x-y) des Dämpfungselements (20) auf Schub beansprucht sind.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于传感器单元（1）具有弹性阻尼元件（20）的振动阻尼器（10），以及相应的传感器单元（1）具有这样的振动阻尼器（10）。 根据本发明，所述阻尼元件（20）包括一个中心板（22），多个阻尼的手指（24），其在一端连接到所述中央板（22）连接的，以及多个附接表面（22.1，24.2），其中，至少两个固定表面（22.1，24.2 ）（在第一空间方向z）彼此，由此沿所述第一空间方向（z）弯曲弹性的柔软和垂直设置在所述阻尼元件（20）（第一空间方向z）的主延伸平面（xy）被构造成具有较高的刚性间隔开， 其中，所述至少两个固定表面（22.1，24.2）各自的粘合层（12，14）被施加，其通过在所述缓冲元件的主延伸平面（xy）的振动（20）进行剪切。

公开(公告)号：WO2013179647A2

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：PCT/JP2013/003356

申请日：2013-05-28

Applicant: 株式会社デンソー

Inventor： 城森　知也 ,  持田　洋一

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01P1/003 ,  G01C19/5747 ,  G01P1/026 ,  G01P3/14 ,  G01P3/44

公开(公告)号：WO2009031285A1

公开(公告)日：2009-03-12

申请号：PCT/JP2008/002359

申请日：2008-08-29

Applicant: パナソニック株式会社 ,  大越偉生 ,  三谷朋弘

Inventor： 大越偉生 ,  三谷朋弘

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01P1/003 ,  B81B7/0058 ,  B81B2201/025 ,  B81C1/0023 ,  G01C19/5607 ,  G01P1/023 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

Abstract: 　振動型の角速度検出素子（３２）と、この角速度検出素子（３２）から出力される出力信号を処理するＩＣ（３４）と、信号処理用のコンデンサ（３６）と、これら角速度検出素子（３２）およびＩＣ（３４）およびコンデンサ（３６）を収納するパッケージ（３８）とを備え、この角速度検出素子（３２）およびＩＣ（３４）は防振部を介してパッケージ（３８）に収納されるとともに、この防振部は、角速度検出素子（３２）を積層したＩＣ（３４）が載置された載置部（４０）と、載置部（４０）の外方に分離して配置されるとともに配線パターン（４２）を介して載置部（４０）と接続された外方部（４４）とを有するＴＡＢテープ（４６）からなる慣性力センサを提供する。

Abstract translation: 惯性力传感器设有振动型角速度检测元件（32）; 用于处理从角速度检测元件（32）输出的输出信号的IC（34）; 用于信号处理的电容器（36）; 以及用于存储角速度检测元件（32），IC（34）和电容器（36）的封装（38）。 角速度检测元件（32）和IC（34）通过防振部分存储在包装（38）中。 防振部分由具有放置部分（40）和外部部分（44）的TAB带（46）组成。 在放置部上放置有角速度检测元件（32）层叠的IC（34）。 外部部分分别设置在放置部分（40）的外部，并通过布线图案（42）连接到放置部分（40）。

公开(公告)号：WO2007116156A1

公开(公告)日：2007-10-18

申请号：PCT/FR2007/000618

申请日：2007-04-12

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ,  TASSETTI, Charles-Marie ,  TISSOT, André ,  HAUSSY, Jacques

Inventor： TASSETTI, Charles-Marie ,  TISSOT, André ,  HAUSSY, Jacques

IPC: G01P15/08

CPC classification number: G01P1/003 ,  G01P15/08

Abstract: Un dispositif micro-électronique inertiel comporte, dans un empilement de couches, une enceinte et une masse reliée à la paroi de cette enceinte par des éléments déformables en sorte d'être mobile dans cette enceinte parallèlement aux couches suivant une unique direction dite direction sensible, cette masse mobile étant montée mobile dans un alésage de l'enceinte en sorte de former un étranglement séparant cette enceinte en deux cavités, cette enceinte étant remplie par un fluide sensiblement incompressible formant une phase unique.

Abstract translation: 本发明涉及一种惯性微电子装置，其包括层叠体，腔室和重物通过可变形元件连接到所述腔室的壁，从而沿着单个方向在所述腔室中平行于层移动，或 所述移动重量可移动地安装在腔室的孔中，以便形成将所述腔室分成两个空腔的限制，所述腔室填充有形成单相的基本上不可压缩的流体。

公开(公告)号：WO2016005202A1

公开(公告)日：2016-01-14

申请号：PCT/EP2015/064419

申请日：2015-06-25

Applicant: CONTINENTAL TEVES AG & CO. OHG

Inventor： FISCHER, Thomas ,  SCHILLINGER, Jakob ,  HUBER, Dietmar ,  GÜNTHNER, Stefan ,  BIEBRICHER, Lothar ,  SCHULMEISTER, Michael

IPC: G01D11/10 ,  G01D11/30

CPC classification number: G01C19/5733 ,  B60W10/06 ,  B60W10/184 ,  B60W30/02 ,  B60W2520/105 ,  B60W2520/14 ,  B60W2720/00 ,  G01C19/5769 ,  G01D11/10 ,  G01D11/30 ,  G01P1/003 ,  G01P15/08 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2224/49171

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Sensor (14) zum Erfassen eines von einer zu messenden physikalischen Größe (16) abhängigen physikalischen Geberfeldes (32, 38), umfassend: eine Sensorschaltung (46) zum Erfassen des Geberfeldes (32, 38) und zum Ausgeben eines vom Geberfeld (32, 38) abhängigen Sensorsignals (26, 28), einen Schaltungsträger (48) mit einem ersten Bereich (68) in dem wenigstens ein Teil (34) der Sensorschaltung (46) getragen ist und einem zweiten Bereich (70), in dem wenigstens eine ersten mechanischen Schnittstelle (52) und eine zweiten mechanischen Schnittstelle (52) zum Anbinden des Schaltungsträgers (48) an einen Halter (56) angeordnet ist, und - ein zwischen dem ersten Bereich (68) und dem zweiten Bereich (70) angeordnetes Schallwiderstandselement (66), des eingerichtet ist, über die erste mechanische Schnittstelle (52) eintretenden Körperschall (64) zur zweiten mechanischen Schnittstelle (52) zu leiten.

Abstract translation: 本发明涉及的传感器（14），用于检测所测量的物理量（16）依赖物理换能器阵列（32，38）中的一个，包括：用于检测所述发射器场（32，38）的传感器电路（46），和用于从输出 发射机字段（32，38）相关的传感器信号（26,28），一个电路载体（48），其具有在其中至少一个传感器电路的一部分（34）（46）支撑的第一区域（68）和第二部分（70），在 所述至少一个第一机械接口（52）和用于在保持器电路载体（48）连接的第二机械接口（52）（56）被布置，以及 - 所述第一部分（68）和所述第二区域之间（70） 布置被布置在所述第一机械接口（52）进入传播的声音（64），以引导到所述第二机械接口（52）的声阻元件（66），。

公开(公告)号：WO2015103220A1

公开(公告)日：2015-07-09

申请号：PCT/US2014/072694

申请日：2014-12-30

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  KIM, Bonsang ,  FEYH, Ando ,  GRAHAM, Andrew ,  O'BRIEN, Gary ,  BAUS, Michael ,  MAIER, Ralf ,  KOC, Mariusz

Inventor： KIM, Bonsang ,  FEYH, Ando ,  GRAHAM, Andrew ,  O'BRIEN, Gary ,  BAUS, Michael ,  MAIER, Ralf ,  KOC, Mariusz

IPC: G01P15/08 ,  G01D5/241

CPC classification number: G01C19/5769 ,  B81B7/0016 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2207/012 ,  G01P1/003 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0882 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2924/16152

Abstract: In one embodiment, a sensor includes a rigid wafer outer body, a first cavity located within the rigid wafer outer body, a first spring supported by the rigid wafer outer body and extending into the first cavity, a second spring supported by the rigid wafer outer body and extending into the first cavity, and a first sensor structure supported by the first spring and the second spring within the first cavity.

Abstract translation: 在一个实施例中，传感器包括刚性晶片外部主体，位于刚性晶片外部主体内的第一腔体，由刚性晶片外部主体支撑并延伸到第一腔体中的第一弹簧，由刚性晶片外部支撑的第二弹簧 并且延伸到第一腔体中，以及由第一弹簧和第二弹簧支撑在第一腔内的第一传感器结构。

公开(公告)号：WO2010021242A1

公开(公告)日：2010-02-25

申请号：PCT/JP2009/063855

申请日：2009-08-05

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  出川 宗里 ,  鄭 希元

Inventor： 出川　宗里 ,  鄭　希元

IPC: G01C19/56 ,  B81B3/00 ,  G01P9/04 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01C19/5733 ,  G01C19/5712 ,  G01P1/003 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: 　応力に起因したＭＥＭＳの固有振動数の変動を抑制することにより、ＭＥＭＳの検出感度の変動による測定精度の劣化を抑制することができる技術を提供するため、まず、半導体基板２の変形によって固定部３ａ～３ｄは半導体基板２のｙ方向において外側方向に変位する。可動体５は、半導体基板２から浮いた状態で配置されているので、半導体基板２の変形の影響は受けずに変位しない。したがって、梁４ａには引張応力（＋σ １ ）が発生し、梁４ｂには圧縮応力（－σ ２ ）が発生する。このとき、梁４ａと梁４ｂを組み合わせたバネ系を考えると、梁４ａに働く引張応力に起因するバネ定数の増加と、梁４ｂに働く圧縮応力に起因するバネ定数の減少が互いに相殺する。

Abstract translation: 提供了一种用于通过使由应力引起的MEMS的本征频率的最小化的变化由于MEMS的检测灵敏度的变化而最小化测量精度降低的技术。 固定部分（3a-3d）通过半导体衬底（2）的变形在半导体衬底（2）的y方向上向外移位。 移动体（5）由于以从半导体基板（2）浮起的状态配置而不能使半导体基板（2）发生变形，因此移动体（5）不发生位移。 因此，在梁（4a）中产生拉伸应力（+ s1），并且在梁（4b）中产生压缩应力（-s2）。 考虑到组合梁（4a）和梁（4b）的弹簧系统，由作用在梁（4a）上的拉伸应力引起的弹簧常数的增加以及由作用在梁（4b）上的压缩应力引起的弹簧常数减小）。