公开(公告)号：WO2018022154A2

公开(公告)日：2018-02-01

申请号：PCT/US2017/029180

申请日：2017-04-24

Applicant: STC. UNM

Inventor： BRUECK, Steven, R.J. ,  FEEZELL, Daniel ,  RANDALL, John ,  BUSANI, Tito ,  BALLARD, Joshua, B. ,  BEHZADIRAD, Mahmoud ,  RISHINARAMANGALAM, Ashwin Krishnan

CPC classification number: G01Q60/16 ,  B82B3/0004 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/14 ,  G01Q80/00 ,  G03F7/0002

Abstract: Provided is a composite metal-wide-bandgap semiconductor tip for scanning tunneling microscopy and/or scanning, tunneling lithography, a method of forming, and a method for using the composite metal-wide-bandgap semiconductor tip.

公开(公告)号：WO2014033452A1

公开(公告)日：2014-03-06

申请号：PCT/GB2013/052257

申请日：2013-08-28

Applicant: INFINITESIMA LIMITED

Inventor： HUMPHRIS, Andrew

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q20/02 ,  G01Q70/06 ,  G01N29/036 ,  B82Y35/00 ,  G03F7/20 ,  G11B9/14

CPC classification number: G01Q10/00 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/106 ,  G01Q10/045 ,  G01Q20/02 ,  G01Q70/06 ,  G03F1/24 ,  G03F1/84 ,  G03F7/2002 ,  G03F7/2049 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1445 ,  G11B11/002

Abstract: A method of actuating a plurality of probes. Each probe may be made of two or more materials with different thermal expansion coefficients which are arranged such that when the probe is illuminated by an actuation beam it deforms to move the probe relative to a sample. Energy is delivered to the probes by sequentially illuminating them with an actuation beam via an objective lens in a series of scan sequences. Two or more of the probes are illuminated by the actuation beam in each scan sequence and the actuation beam enters the objective lens at a different angle to an optical axis of the objective lens for each probe which is illuminated in a scan sequence. The actuation beam is controlled so that different amounts of energy are delivered to at least two of the probes by the actuation beam during at least one of the scan sequences.

Abstract translation: 一种致动多个探针的方法。 每个探针可以由具有不同热膨胀系数的两种或更多种材料制成，这些材料被布置为使得当探针被致动束照射时，其变形以使探针相对于样品移动。 通过一系列扫描序列中的物镜通过致动束依次照射能量来将能量传送到探针。 两个或更多个探针在每个扫描序列中由致动束照射，并且致动束以与以扫描序列照亮的每个探针的物镜的光轴成不同的角度进入物镜。 控制致动束，使得在至少一个扫描序列期间，通过致动束将不同量的能量传送到至少两个探针。

公开(公告)号：WO2014003547A1

公开(公告)日：2014-01-03

申请号：PCT/NL2013/050447

申请日：2013-06-24

Applicant: NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： SADEGHIAN MARNANI, Hamed ,  VAN DEN DOOL, Teunis Cornelis ,  RIJNVELD, Niek

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/06 ,  B82Y35/00

CPC classification number: G01Q10/04 ,  B82Y35/00 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/06

Abstract: Scanning probe microscope for mapping a sample surface, comprising a plurality of probes for scanning the sample surface, and one or more motion actuators for enabling motion of the probes relative to the sample, the device further comprising a plurality of Z-position detectors for determining a position of each probe along a Z-direction when the probe is in contact with the sample surface; wherein the plurality of probes are mounted on a plurality of heads and each of said heads is mounted on a support base, which is arranged for individually moving its associated head relative to the sample; and wherein each support base comprises a plane actuator unit comprising at least one of said motion actuators for moving the head in at least one direction parallel to the sample surface, wherein the plane actuator unit is located at a first mounting position along said support base, said first mounting position being remote from a second mounting position, wherein the head associated with the support base is mounted on the second mounting position on the support base.

Abstract translation: 用于映射样品表面的扫描探针显微镜，包括用于扫描样品表面的多个探针和用于使探针相对于样品运动的一个或多个运动致动器，所述装置还包括多个Z位置检测器，用于确定 当探针与样品表面接触时，每个探针沿Z方向的位置; 其中所述多个探针安装在多个头部上，并且每个所述头部安装在支撑基座上，所述支撑基座布置成用于相对于所述样本单独移动其相关联的头部; 并且其中每个支撑底座包括平面致动器单元，所述平面致动器单元包括至少一个所述运动致动器，用于沿平行于所述样品表面的至少一个方向移动所述头部，其中所述平面致动器单元位于沿所述支撑基座的第一安装位置， 所述第一安装位置远离第二安装位置，其中与所述支撑基座相关联的所述头部安装在所述支撑基座上的所述第二安装位置上。

公开(公告)号：WO2013090887A1

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：PCT/US2012/070048

申请日：2012-12-17

Applicant: CORNELL UNIVERSITY

Inventor： LAL, Amit ,  AMPONSAH, Kwame

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  B81B7/00 ,  G01N37/00 ,  G01B21/30 ,  G01Q70/00

CPC classification number: G01Q20/00 ,  G01Q10/00 ,  G01Q60/30 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/08

Abstract: A multi-tip nano-probe apparatus and a method for probing a sample while using the multi-tip nano-probe apparatus each employ located over a substrate: (1) an immovable probe tip with respect to the substrate; (2) a movable probe tip with respect to the substrate; and (3) a motion sensor that is coupled with the movable probe tip. The multi-tip nano-probe apparatus and related method provide for improved sample probing due to close coupling of the motion sensor with the movable probe tip, and also retractability of the movable probe tip with respect to the immovable probe tip.

Abstract translation: 使用多头纳米探针装置的多尖端纳米探针装置和探测样品的方法各自使用位于基底上方：（1）相对于基底的不可移动的探针尖端; （2）相对于基板的可动探针尖端; 和（3）与可移动探针尖端连接的运动传感器。 多尖头纳米探针装置和相关方法提供了由于运动传感器与可移动探针尖端的紧密耦合而引起的改进的样本探测，以及可移动探针尖端相对于不可移动的探针尖端的伸缩性。

公开(公告)号：WO2007006834A8

公开(公告)日：2008-07-24

申请号：PCT/ES2006000405

申请日：2006-07-13

Applicant: CONSEJO SUPERIOR INVESTIGACION ,  TAMAYO DE MIGUEL FRANCISCO JAV ,  MERTENS JOHAN ,  CALLEJA GOMEZ MONTSERRAT

Inventor： TAMAYO DE MIGUEL FRANCISCO JAV ,  MERTENS JOHAN ,  CALLEJA GOMEZ MONTSERRAT

IPC: G01Q10/06 ,  G01Q20/02

CPC classification number: G01Q10/06 ,  G01Q20/02 ,  G01Q70/06

Abstract: The invention relates to a system for the inspection of surfaces, which is configured to detect vibration and/or relative displacement characteristics at different points of various elements (51) forming part of a mechanical structure (5), such as a micro or nanomechanical structure. According to the invention, a light beam is moved by the mechanical structure along a first path (A) in order to detect different successive reference positions (C) along the length of said path (A) and the light beam is also moved by the mechanical structure along various secondary paths (B) which are each associated with one of the aforementioned reference positions (C). In addition, the invention relates to a corresponding method and a program for performing said method.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检查表面的系统，其被配置为检测构成机械结构（5）的一部分的各种元件（51）的不同点处的振动和/或相对位移特性，例如微型或纳米机械结构 。 根据本发明，光束通过机械结构沿着第一路径（A）移动，以便沿着所述路径（A）的长度检测不同的连续参考位置（C），并且光束也被移动 各个次要路径（B）的机械结构各自与上述参考位置（C）中的一个相关联。 此外，本发明涉及用于执行所述方法的相应方法和程序。

公开(公告)号：WO2008013268A1

公开(公告)日：2008-01-31

申请号：PCT/JP2007/064773

申请日：2007-07-27

Applicant: 独立行政法人物質・材料研究機構 ,  株式会社堀場製作所 ,  中山 知信 ,  樋口 誠司

Inventor： 中山 知信 ,  樋口 誠司

IPC: G01N13/10 ,  G01N13/12

CPC classification number: G01Q10/06 ,  G01Q30/04 ,  G01Q70/06

Abstract: 　本発明の主目的は、複数の探針間の相対位置を正確に認識できる走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。そのために、ＸＹＺ方向に移動可能である複数の探針２１、２２、２３、２４と、前記試料Ｗが載置されＸＹ方向に移動可能であるステージ３と、前記各探針２１、２２、２３、２４又は前記ステージ３をＸＹ方向に移動したときに、前記試料Ｗの表面形状に伴う前記各探針２１、２２、２３、２４のＺ方向への移動により変化する物理量を検出する検出部６と、前記検出部６からの検出信号を受け付けて、前記試料の表面画像を生成する画像生成部７３と、前記各探針間のＸＹ方向の相対位置を変化させずに、前記ステージ３をＸＹ方向に移動させたときに、前記画像生成部７３により得られた各探針に基づく表面画像を取得し、それら各画像を照合して、前記各探針間の相対位置を算出する相対位置算出部７５と、を具備させた。

Abstract translation: 提供了能够精确地识别多个探针的相对位置的扫描型探针显微镜。 探针显微镜包括可沿XYZ方向移动的多个探针（21,22,23,24），承载试样（W）的台架（3）并且可在XY方向上移动;检测单元（6） 为了检测这样的物理特性，当各个探针（21,22,23,24）或载物台（3）在XY方向上移动时，如通过各个探针（21,22,23,24） 24）根据检体（W）的表面形状沿Z方向，根据检测单元（6）的检测信号形成样本的表面图像的图像形成单元（73），以及 相对位置计算单元，用于当阶段（3）在XY方向上移动而不改变各个探针的相对位置时，基于各个探针获取由图像形成单元（73）获得的表面图像 在XY方向上，对这些单独的图像进行整理，并计算各个探针的相对位置。

公开(公告)号：WO2005103646A1

公开(公告)日：2005-11-03

申请号：PCT/JP2005/008259

申请日：2005-04-22

Applicant: 独立行政法人科学技術振興機構 ,  丹田 聡 ,  小田 研 ,  稲垣 克彦 ,  大河 裕之 ,  豊嶋 剛司 ,  桃野 直樹 ,  西田 宗弘 ,  伊土 政幸

Inventor： 丹田 聡 ,  小田 研 ,  稲垣 克彦 ,  大河 裕之 ,  豊嶋 剛司 ,  桃野 直樹 ,  西田 宗弘 ,  伊土 政幸

IPC: G01N13/10

CPC classification number: G01Q70/06 ,  G01Q70/12

Abstract: Ｓｉなどからなる円錐体の表面に原料膜を堆積させ、円錐体の先端部からその側面に沿って所定距離離れた部位に円錐体が融解しない条件で電子ビームを照射することにより、原料膜を用いて針状結晶を成長させ、走査プローブ顕微鏡探針を製造する。また、電荷密度波結晶からなる探針を用いて電荷密度波量子位相顕微鏡を構成する。また、電荷密度波結晶からなる針状結晶を用いて電荷密度波量子干渉計を構成する。また、走査プローブ顕微鏡の探針として圧力誘起超伝導物質からなるものを用いる。

Abstract translation: 将材料膜沉积在由Si等构成的圆锥体的表面上，并且在不熔化的条件下，将电子束沿着其侧表面沿着其侧面施加到距离圆锥体的尖端特定距离的部分 使用该材料膜生长针状晶体，由此生成扫描探针显微镜探针。 由电荷密度波晶体构成的探针用于构成电荷密度波量子相显微镜。 此外，由电荷密度波晶体构成的针状晶体用于构成电荷密度波量子干涉仪。 此外，由扫描探针显微镜探针使用由压力诱导的超导物质组成的材料。

公开(公告)号：WO2004105046A2

公开(公告)日：2004-12-02

申请号：PCT/US2004015161

申请日：2004-05-14

Applicant: UNIV ILLINOIS ,  UNIV NORTHWESTERN ,  LIU CHANG ,  ZOU JUN ,  WANG XUEFENG ,  BULLEN DAVID ,  MIRKIN CHAD ,  ZHANG HUA

Inventor： LIU CHANG ,  ZOU JUN ,  WANG XUEFENG ,  BULLEN DAVID ,  MIRKIN CHAD ,  ZHANG HUA

IPC: B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  B82B3/00 ,  G01Q60/00 ,  G01Q70/16 ,  G01Q80/00 ,  G03F7/00 ,  G12B21/02 ,  G03F7/20

CPC classification number: G01Q70/16 ,  G01Q70/06 ,  G01Q80/00 ,  G03F7/0002 ,  Y10S977/857 ,  Y10S977/86 ,  Y10S977/875 ,  Y10S977/877

Abstract: A method for fabricating scanning probe microscopy (SPM) probes is disclosed. The probes are fabricated by forming a structural layer on a substrate, wherein the substrate forms a cavity. A sacrificial layer is located between the substrate and the structural layer. Upon forming the structural layer, the sacrificial layer is selectively removed, and the probe is then released from the substrate. The substrate may then later be reused to form additional probes. Additionally, a contact printing method using a scanning probe microscopy probe is also disclosed.

Abstract translation: 公开了一种制造扫描探针显微镜（SPM）探针的方法。 通过在衬底上形成结构层来制造探针，其中衬底形成空腔。 牺牲层位于基底和结构层之间。 在形成结构层时，选择性地去除牺牲层，然后从衬底释放探针。 然后可以再次使用底物以形成另外的探针。 此外，还公开了使用扫描探针显微镜探针的接触印刷法。

公开(公告)号：WO03021127A8

公开(公告)日：2003-06-05

申请号：PCT/IB0202865

申请日：2002-07-19

Applicant: IBM ,  BINNIG GERD K ,  HAEBERLE WALTER ,  LANTZ MARK A ,  ROTHUIZEN HUGO E

Inventor： BINNIG GERD K ,  HAEBERLE WALTER ,  LANTZ MARK A ,  ROTHUIZEN HUGO E

IPC: F16F7/00 ,  F16F7/10 ,  G01B7/34 ,  G01N27/00 ,  G01Q70/04 ,  G11B9/00 ,  G11B33/08 ,  G12B1/00 ,  H02K33/02 ,  G12B21/22

CPC classification number: G01Q70/06 ,  F16F7/10 ,  G01Q70/04 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1418 ,  G11B33/08

Abstract: Apparatus for reducing sensitivity of an article to mechanical shock comprises a frame; first and second planar masses mounted in the frame for bi-directional movement relative to the frame along a first axis of displacement; a first lever pivotable about a first fulcrum secured to the frame; the lever having one end connected to the first mass and the other end connected to the second mass, and the fulcrum being disposed between the ends of the lever; whereby the torque exerted about the fulcrum by the first mass is countered by the torque exerted about the fulcrum by the second mass in response to a mechanical shock applied to the frame along the axis of displacement such that an article carried by the first mass in use has reduced sensitivity to the shock.

Abstract translation: 用于降低制品对机械冲击的敏感性的装置包括框架; 安装在框架中的第一和第二平面质量块，用于沿着第一移动轴线相对于框架进行双向运动; 围绕固定到框架的第一支点可枢转的第一杠杆; 所述杆的一端连接到所述第一质量块，所述另一端连接到所述第二质量块，并且所述支点设置在所述杆的端部之间; 由此由第一质量块围绕支点施加的扭矩通过响应于沿着位移轴线施加到框架的机械冲击而由第二质量块围绕支点施加的扭矩抵消，使得由第一质量块在使用中承载的物品 已经降低了对休克的敏感性。

公开(公告)号：WO2003021127A2

公开(公告)日：2003-03-13

申请号：PCT/IB2002/002865

申请日：2002-07-19

Applicant: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  BINNING, Gerd, K. ,  HÄBERLE, Walter ,  LANTZ, Mark, A. ,  ROTHUIZEN, Hugo, E.

Inventor： BINNING, Gerd, K. ,  HÄBERLE, Walter ,  LANTZ, Mark, A. ,  ROTHUIZEN, Hugo, E.

IPC: F16F7/10

CPC classification number: G01Q70/06 ,  F16F7/10 ,  G01Q70/04 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1418 ,  G11B33/08

Abstract: Apparatus for reducing sensitivity of an article to mechanical shock comprises a frame; first and second planar masses mounted in the frame for bi-directional movement relative to the frame along a first axis of displacement; a first lever pivotable about a first fulcrum secured to the frame; the lever having one end connected to the first mass and the other end connected to the second mass, and the fulcrum being disposed between the ends of the lever; whereby the torque exerted about the fulcrum by the first mass is countered by the torque exerted about the fulcrum by the second mass in response to a mechanical shock applied to the frame along the axis of displacement such that an article carried by the first mass in use has reduced sensitivity to the shock.

Abstract translation: 用于降低物品对机械震动的敏感度的设备包括框架; 第一和第二平面质量块，其安装在所述框架中，用于沿着第一位移轴线相对于所述框架进行双向运动; 第一杠杆，其可围绕固定到框架的第一支点枢转; 所述杆的一端连接至所述第一质量体，另一端连接至所述第二质量体，并且所述支点位于所述杆的端部之间; 由此由第一质量体围绕支点施加的扭矩通过第二质量体围绕支点施加的扭矩抵消沿着位移轴线施加至框架的机械冲击，使得由使用中的第一质量体携带的物品 降低了对电击的敏感度。