蒸发结构、散热器、半导体器件及制备方法

    公开(公告)号:WO2022237388A1

    公开(公告)日:2022-11-17

    申请号:PCT/CN2022/085123

    申请日:2022-04-02

    Abstract: 一种蒸发结构、散热器、半导体器件及制备方法,其中,蒸发结构的制备方法,包括:提供基底,并于基底上形成底板、连接底板的侧板、及多个间隔布设于底板的回流件,其中,侧板形成有充液口,且侧板围设于底板周侧,以使基底形成具有开口的腔室(S11);在底板的内表面、侧板的内表面、及回流件的表面形成毛细结构层(S12);提供基顶,于基顶的焊接区设置保护件,并在基顶设置有保护件一侧形成毛细结构层以形成顶板(S13);将保护件和顶板分离,使焊接区外露(S14);将顶板的焊接区与侧板和回流件对应,并通过焊接区将顶板与侧板、及回流件焊接固定,以封盖开口使底板、顶板及侧板配合形成蒸发腔(S15);通过充液口注入蒸发液,并密封充液口,以形成蒸发结构(S16)。

    半导体装置和包括该半导体装置的电子设备

    公开(公告)号:WO2021249509A1

    公开(公告)日:2021-12-16

    申请号:PCT/CN2021/099498

    申请日:2021-06-10

    Inventor: 徐焰 姬忠礼 陈余

    Abstract: 本申请公开的实施例涉及半导体装置和包括该半导体装置的电子设备。该半导体装置包括:第一半导体层;第二芯片;导热层,与所述第一半导体层和所述第二芯片层叠设置并且位于所述第一半导体层与所述第二芯片之间,用于在所述导热层内传导来自所述第一半导体层和/或所述第二芯片的热量,所述导热层在水平方向的导热系数大于或等于在垂直方向的导热系数;以及第一导电柱,贯穿所述导热层,以使得所述第一半导体层与所述第二芯片通过所述第一导电柱实现电互连,其中所述第一导电柱与所述导热层电绝缘,所述第一导电柱的延伸方向为所述垂直方向,其中所述导热层在水平方向的导热系数大于所述第一半导体层的导热系数。通过设置导热层,这种半导体装置可以降低局部热点效应。

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