部件测试装置
    122.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102175963A

    公开(公告)日:2011-09-07

    申请号:CN201110035179.0

    申请日:2009-03-10

    IPC分类号: G01R31/28 G01R1/02

    CPC分类号: G01R31/2893 G01R31/01

    摘要: 本发明提供了进行电子部件的测试的部件测试装置。该部件测试装置包括部件供给装置、输送爪和部件排出装置。上述多个功能台相互具有不同的功能,同时沿上述输送爪的移动方向等间隔地被排列。上述输送爪包括可分别保持上述电子部件且可相互独立地驱动的多个定位单元。上述多个定位单元沿从上述供给位置向上述测试位置的上述电子部件的输送方向以与上述功能台的排列间隔相同的间隔被排列。

    测试基片上电路
    123.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100385247C

    公开(公告)日:2008-04-30

    申请号:CN02820892.7

    申请日:2002-10-09

    CPC分类号: G01R31/01 G01R31/2886

    摘要: 本发明提供一种测试基片上的电路的方法。一般而言,基片位于传递卡盘(26)上,测试卡盘(32)的表面移动至与基片接触,该基片被固定到测试卡盘(32)上,测试卡盘(32)相对传递卡盘(26)移动,以便基片从传递卡盘(26)移开,基片上端子移动与触点接触,以通过端子和触点,将电路与电测试仪电连接,信号通过电测试仪和电路间的端子和触点中继,端子与触点断开,并且基片被从测试卡盘(32)上移走。

    电子零件试验用插座以及应用此插座的电子零件试验装置

    公开(公告)号:CN1291235C

    公开(公告)日:2006-12-20

    申请号:CN01820180.6

    申请日:2001-12-07

    IPC分类号: G01R31/26 H01L21/66

    摘要: 提供一种电子零件试验用插座以及应用此插座的电子零件试验装置。拟解决的问题是不使噪声进入施加给IC器件等电子零件的试验信号和从IC器件等电子零件读出的响应信号中,从而控制IC插座等电子零件试验用插座的温度,为了解决该课题,通过气体流出口(65)与气体流入口(76)使电子零件试验用插座底盘(6)的第一空间(67)与电子零件试验用插座(7)的插座主体内部空间(75)连通,同时通过气体流入口(66)与气体流出口(77)使电子零件试验用插座底盘(6)的第二空间(68)与电子零件试验用插座(7)的插座主体内部空间(75)连通。

    半导体器件的测量、检查、制造方法及其检查装置

    公开(公告)号:CN1288734C

    公开(公告)日:2006-12-06

    申请号:CN02119364.9

    申请日:2002-05-15

    发明人: 广木正明

    摘要: 一种检查方法,借助于消除在布线或探针端子上建立探针的必要而简化了检查步骤,以及一种用来执行检查步骤的检查装置。电压被施加到各个被检查的电路或电路元件,以便使其工作。对各个被检查的电路或电路元件在工作过程中的输出进行信号处理,以便形成包括有关电路或电路元件工作状态的信息的信号(工作信息信号)。工作信息信号被放大,并用被放大了的工作信息信号对分别输入的交流电流的电压幅度进行调制。以非接触的方式读出被调制了的交流电流的电压,从而确定相应的电路或电路元件无缺陷还是有缺陷。

    接触臂及采用该接触臂的电子零件试验装置

    公开(公告)号:CN1201159C

    公开(公告)日:2005-05-11

    申请号:CN01122028.7

    申请日:2001-06-22

    IPC分类号: G01R31/26 H01L21/66

    摘要: 本发明提供使被试验IC与接触部接触的接触臂,该接触臂备有保持头、浮动机构和隔膜压缸。上述保持头用于保持被试验电子零件。上述浮动机构,设在可接近或远离上述接触部的驱动机构与上述保持头之间,将保持头可摆动地支承在上述驱动机构上。上述隔膜压缸,设在上述驱动机构与上述保持头之间,调节从驱动机构对保持头的相对推压力。对一个保持头设有多个隔膜压缸。

    测试基片上电路
    128.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1575421A

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:CN02820892.7

    申请日:2002-10-09

    CPC分类号: G01R31/01 G01R31/2886

    摘要: 本发明提供一种测试基片上的电路的方法。一般而言,基片位于传递卡盘(26)上,测试卡盘(32)的表面移动至与基片接触,该基片被固定到测试卡盘(32)上,测试卡盘(32)相对传递卡盘(26)移动,以便基片从传递卡盘(26)移开,基片上端子移动与触点接触,以通过端子和触点,将电路与电测试仪电连接,信号通过电测试仪和电路间的端子和触点中继,端子与触点断开,并且基片被从测试卡盘(32)上移走。

    工件测定装置
    129.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1525179A

    公开(公告)日:2004-09-01

    申请号:CN200410007034.X

    申请日:2004-02-25

    发明人: 小岛智幸

    IPC分类号: G01R1/00

    CPC分类号: G01R1/06705 G01R31/01

    摘要: 课题:抑制探测头的接触面在工件上滑动的距离,防止在工件上发生条痕或发生脱落。解决方法:工件测定装置(1)具备:基台(2)、在基台(2)上滑动而且具有工件收放孔(6)的输送工作台(3)。在输送工作台(3)上固定导向板(4),在导向板(4)设有位于工件收放孔(6)的上端部位置的导向口(5)。在导向板(4)的上方设置探测头(8),该探测头(8)对于工件收放孔(6)内的工件W作用力。随着输送工作台(3)的旋转,探测头(8)在导向板(4)上滑动之后,从导向口(5)被引导向工件收放孔(6)内的工件W侧而与工件W相触。之后,探测头(8)从导向口(5)向外脱出。