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公开(公告)号：CN101568796B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200780047607.3
申请日：2007-10-31
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01B11/06 , G01B11/0625 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 一种膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，其目的在于减轻作业员的负担，并且提高制造效率。通过线型照明器(3)，对在基板(W)上成膜的透明导电膜或透明光学膜照射直线照明光，并由摄像机检测由透明导电膜或透明光学膜反射的直线反射光，对检测出的反射光的色评价值进行计测，使用将色评价值和膜厚建立关联的膜厚特性，求出与计测的色评价值对应的膜厚。
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公开(公告)号：CN101960557B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200880127651.X
申请日：2008-03-11
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67092 , H01L21/6732 , H01L21/67748 , H01L21/68 , H01L21/683 , Y10T156/1744
摘要： 本发明提供一种常温接合装置，其具备：角度调节机构(12)，将保持第一基板的第一试料台(13)支承在第一架台(11)上并可变更所述第一试料台(13)的朝向；第一驱动装置(14)，沿第一方向驱动所述第一架台(11)；第二驱动装置(44)，沿第二方向驱动保持第二基板的第二试料台(46)；以及滑架支承台(45)，在压接所述第二基板和所述第一基板时，沿所述第一方向支承所述第二试料台(46)。此时，常温接合装置可将超过第二驱动装置(44)的耐负荷的大负荷施加于第一基板和第二基板。常温接合装置还能够利用角度调节机构(12)变更第一基板的方向以使第一基板和第二基板平行地接触，能够使接合面均匀地承载所述大负荷。
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公开(公告)号：CN102113088A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200980130073.X
申请日：2009-10-28
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/67005 , H01L21/682 , H01L23/544 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明的校准装置控制装置包括：拍摄单元，利用照相机拍摄分别摄有衬底的表面中的多个区域的多个图像；区域检测单元，基于多个图像，从多个区域中选择检测区域；以及位置对准单元，基于通过该照相机拍摄，且摄有在检测区域中形成的标记的校准用图像，对衬底进行位置对准。因此这样的校准装置控制装置无需为了在该照相机的视野中配置用于位置对准的标记而具有单独的机构，规模减小，能够更容易制造，能够更容易检测有校准标记的区域。
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公开(公告)号：CN1230474A
公开(公告)日：1999-10-06
申请号：CN99104135.6
申请日：1999-03-19
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： B21B38/12
摘要： 一种轧辊型面检测方法使用一个可沿工作辊的轴线方向往复移动的位移检测器支座和一组(两个)按彼此中心距为Lc安装在上述位移检测器支座上的、用于检测工作辊沿轴线方向上的表面不平度的位移检测器。上述的轧辊型面检测方法包含如下步骤:沿工作辊轴线方向移动上述位移检测器支座检测工作辊全长的表面不平度;和对根据各位移检测器测得的数据之间的差值算出的复合测量数据流进行处理,求出工作辊沿其轴线方向的型面。
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公开(公告)号：CN107430068B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201680020110.1
申请日：2016-03-29
申请人： 日本电信电话株式会社 , 三菱重工业株式会社
IPC分类号： G01N21/3504
摘要： 本发明提供可以不进行前处理而准确且迅速地测量废气中的SO3浓度的SO3分析装置及分析方法。所述SO3分析装置具备：光源(11)，对包含SO3、CO2和H2O的废气(1)照射激光(2)；光接收器(13)，接收对废气(1)照射的上述激光(2)；控制装置(14)的光源控制部(14a)，将光源(11)所照射的上述激光(2)的波长控制为4.060μm～4.182μm；以及控制装置(14)的浓度演算部(14b)，基于来自光接收器(13)的输出和来自光源控制部(14a)的参照信号，利用红外分光法演算SO3浓度。
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公开(公告)号：CN101956574B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201010230167.9
申请日：2010-07-13
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： F01D5/3038 , F01D5/3053 , F01D5/32 , F05D2220/31 , F05D2250/292
摘要： 本发明提供一种牢固地固着张紧键、动叶片和特殊动叶片的旋转体。该旋转体(1)具备：转子盘(10)，具有沿外周环状地设置的动叶片嵌合槽(11)和设置于外周并与动叶片嵌合槽(11)连通的动叶片导入孔(12)；动叶片(20)，在所述外周连续设置多个，且具有嵌合于动叶片嵌合槽(11)的叶根(21)和向转子盘(10)的外侧突出的叶片主体(23)；两个特殊动叶片(20A、20B)，各自具有一部分嵌合于动叶片嵌合槽(11)的叶根(21)和向转子盘(10)的外侧突出的叶片主体(23)，彼此相邻并堵塞动叶片导入孔(12)；张紧键(30)，插入动叶片(20)之间，该旋转体(1)的特征在于，张紧键(30)具备周方向的厚度尺寸从径方向内侧的一端朝向径方向外侧的另一端逐渐增大的插入部。
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公开(公告)号：CN102113088B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200980130073.X
申请日：2009-10-28
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/67005 , H01L21/682 , H01L23/544 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明的校准装置控制装置包括：拍摄单元，利用照相机拍摄分别摄有衬底的表面中的多个区域的多个图像；区域检测单元，基于多个图像，从多个区域中选择检测区域；以及位置对准单元，基于通过该照相机拍摄，且摄有在检测区域中形成的标记的校准用图像，对衬底进行位置对准。因此这样的校准装置控制装置无需为了在该照相机的视野中配置用于位置对准的标记而具有单独的机构，规模减小，能够更容易制造，能够更容易检测有校准标记的区域。
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公开(公告)号：CN101568821B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200780047527.8
申请日：2007-10-31
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01N21/8914 , G01N21/65 , G01N21/8422 , H01L22/12
摘要： 一种膜质评价方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，以在使作业员的负担减轻的同时使制造效率提升为目的。对薄膜硅系设备所使用的结晶质硅膜照射光，检测由结晶质硅膜反射的反射光，对检测出的反射光的辉度的参数进行计测，并根据该辉度的参数是否在预先设定的适当范围内来进行该结晶质硅膜的膜质评价。
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公开(公告)号：CN101960557A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200880127651.X
申请日：2008-03-11
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67092 , H01L21/6732 , H01L21/67748 , H01L21/68 , H01L21/683 , Y10T156/1744
摘要： 本发明提供一种常温接合装置，其具备：角度调节机构，将保持第一基板的第一试料台支承在第一架台上并可变更所述第一试料台的朝向；第一驱动装置，沿第一方向驱动所述第一架台；第二驱动装置，沿第二方向驱动保持第二基板的第二试料台；以及滑架支承台，在压接所述第二基板和所述第一基板时，沿所述第一方向支承所述第二试料台。此时，常温接合装置可将超过第二驱动装置的耐负荷的大负荷施加于第一基板和第二基板。常温接合装置还能够利用角度调节机构变更第一基板的方向以使第一基板和第二基板平行地接触，能够使接合面均匀地承载所述大负荷。
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