公开(公告)号：CN102474974A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201180002577.0

申请日：2011-01-14

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  长田勇辉 ,  河西繁

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/511 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H01P5/08

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32211 ,  H01J37/3222 ,  H01J37/32229 ,  H01J37/32293 ,  H01J37/32311 ,  H01Q15/0006 ,  H05H2001/4622 ,  H05H2001/463

Abstract: 本发明的电磁波供电机构具备：微波电力导入端口(55)，其被设置于同轴构造的波导(44)的侧部，连接有作为供电线的同轴线路(56)；和供电天线(90)，其与同轴线路(56)连接，向波导(44)的内部辐射电磁波电力。供电天线(90)具有：天线本体(91)，该天线本体(91)具有与同轴线路(56)连接的第1极(92)和与波导(44)的内侧导体(53)接触的第2极(93)；和形成为环状的反射部(94)，该反射部(94)从所述天线本体(91)的两侧延伸。

公开(公告)号：CN101107693A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200680002469.2

申请日：2006-08-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 河西繁 ,  长田勇辉

IPC: H01J23/34 ,  C23C16/511 ,  H01J23/04 ,  H01L21/3065 ,  H05B6/68 ,  H05H1/00 ,  H05H1/46

CPC classification number: H05B6/666 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32201 ,  H05B6/806 ,  H05B2206/043

Abstract: 本发明以提高磁控管的寿命为目的，提供一种磁控管的寿命判定方法。本发明的微波发生装置，具备：具备包括灯丝(78)的阴极(80)和包括空腔谐振器(84)的阳极(82)的磁控管(74)；灯丝的电流测定部(100)；求出在灯丝上施加的电压的电压测定部(102)。基于电流测定部(100)和电压测定部(102)求出的电流和电压，在电阻值计算部(104)求出灯丝的电阻值。基于电阻－温度相关特性，在温度计算部(106)根据所述电阻值求出灯丝的温度。电源控制部(110)控制灯丝电源(98)，使得灯丝温度维持在规定的温度范围内。并且，逐渐降低在灯丝上施加的电压，求出发生模变现象时向灯丝施加的电压作为模变电压，基于该模变电压进行磁控管的寿命的判定。

公开(公告)号：CN1322559C

公开(公告)日：2007-06-20

申请号：CN02824694.2

申请日：2002-11-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 河西繁 ,  山本伸彦 ,  足立光 ,  长田勇辉

IPC: H01L21/31 ,  H01L21/302 ,  H05H1/46 ,  H01P5/00 ,  H01J27/16 ,  H01J37/08 ,  C23C16/511 ,  C23F4/00

CPC classification number: H01J37/32256 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32568 ,  H01P5/103

Abstract: 本发明提供了一种等离子体处理装置，可通过使匹配电路小型化而在密封盖部上一体化装载微波发生源等。等离子体处理装置，其特征在于，包括：可抽为真空的处理容器(42)；载放台(44)，设置在上述处理容器内，载放被处理体；微波透过板(70)，设置在上述处理容器的顶部的开口部；平面天线部件(74)，用于经上述微波透过板将微波供给上述处理容器内；密封盖体(78)，接地，使其覆盖上述平面天线部件的上方；波导管(82)，将来自微波发生源的微波导入到上述平面天线部件；部件升降机构(85)，相对改变上述天线部件和上述密封盖体间的上下方向上的距离；调谐棒(104)，设置成可插入到上述波导管内；调谐棒驱动机构(102)，移动上述调谐棒能够调整其插入量；匹配控制部(114)，通过控制上述平面天线部件的升降量和上述调谐棒的插入量来进行匹配调整。

公开(公告)号：CN108766881B

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN201810331134.X

申请日：2018-04-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  长田勇辉

IPC: H01L21/3065 ,  G01R31/26

Abstract: 本发明的等离子体处理装置和控制方法的目的在于，监视等离子体生成空间中的多个区域各自的等离子体点火的状态。提供一种等离子体处理装置，具有将从微波输出部输出的微波向处理容器的内部辐射的微波辐射机构，其中，所述微波辐射机构具有：天线，其用于辐射微波；电介质构件，其使从所述天线辐射的微波透过，且形成用于通过该微波来生成表面波等离子体的电场；传感器，其设置于所述微波辐射机构或者该微波辐射机构的附近，且监视生成的等离子体的电子温度；以及控制部，其基于由所述传感器监视到的等离子体的电子温度，来判定等离子体点火的状态。

公开(公告)号：CN108735568A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810330050.4

申请日：2018-04-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  长田勇辉

IPC: H01J37/32

Abstract: 提供一种等离子体处理装置和控制方法，目的在于监视等离子体的分布。该等离子体处理装置具有：多个气体供给喷嘴，其设置于处理容器的壁面，朝向该处理容器的径向内侧供给处理气体；N个微波导入模块，其沿所述处理容器的顶板的周向配置，将用于生成等离子体的微波导入到该处理容器内；以及传感器，在所述处理容器的壁面上设置有N或N的倍数个所述传感器，所述传感器监视在所述处理容器内生成的等离子体的电子密度Ne和电子温度Te中的至少一方，其中，N≥2。

公开(公告)号：CN105531800B

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201480050227.5

申请日：2014-09-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  河西繁 ,  原恵美子 ,  藤野豊 ,  长田勇辉 ,  中込淳 ,  小松智仁

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/455 ,  C23C16/511 ,  H01L21/205 ,  H05H1/46

CPC classification number: C23C16/511 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/45574 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/3222 ,  H01J37/3244 ,  H01J2237/332 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/02211 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262

Abstract: 一种等离子体处理装置，其具有等离子体产生用天线，该等离子体产生用天线包括向处理容器内供给第1气体和第2气体的喷淋板，利用由于微波的供给而形成于该喷淋板表面的表面波形成等离子体而对基板进行处理，其中，具有从喷淋板的下端面向下方突出的导电体的垂下构件，该垂下构件的外侧面从上端部朝向下端部向外侧扩展，喷淋板具有多个第1气体供给口和多个第2气体供给口，第1气体供给口配置于比垂下构件的外侧面靠内侧的位置，第2气体供给口配置于比垂下构件的外侧面靠外侧的位置。

公开(公告)号：CN102918932A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201180026983.0

申请日：2011-08-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  长田勇辉 ,  河西繁 ,  宫下大幸

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/511 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J23/005 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/511 ,  H01J37/3222 ,  H01J37/32256 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/463

Abstract: 微波导入机构（41）包括：具有将微波发射到腔室内的平面天线（81）的天线部（80）、匹配阻抗用的调谐器（60）、用于将天线部（80）的热散热的散热机构（90），调谐器（60）包括：具有呈筒状的外侧导体（52）和内侧导体（53）成为微波传递路径的一部分的主体（51）、在外侧导体（52）与内侧导体（53）之间能够移动的设置的芯部件（61a、61b）、使得芯部件移动的芯部件驱动部（70），散热机构（90）具有：热量输入端和位于天线部（80）、从热量输入端向散热端输送天线部（80）的热的热管（91）和设置于散热端的散热部（92）。

公开(公告)号：CN101107693B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200680002469.2

申请日：2006-08-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 河西繁 ,  长田勇辉

IPC: H01J23/34 ,  C23C16/511 ,  H01J23/04 ,  H01L21/3065 ,  H05B6/68 ,  H05H1/00 ,  H05H1/46

CPC classification number: H05B6/666 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32201 ,  H05B6/806 ,  H05B2206/043

Abstract: 本发明以提高磁控管的寿命为目的，提供一种磁控管的寿命判定方法。本发明的微波发生装置，具备：具备包括灯丝(78)的阴极(80)和包括空腔谐振器(84)的阳极(82)的磁控管(74)；灯丝的电流测定部(100)；求出在灯丝上施加的电压的电压测定部(102)。基于电流测定部(100)和电压测定部(102)求出的电流和电压，在电阻值计算部(104)求出灯丝的电阻值。基于电阻-温度相关特性，在温度计算部(106)根据所述电阻值求出灯丝的温度。电源控制部(110)控制灯丝电源(98)，使得灯丝温度维持在规定的温度范围内。并且，逐渐降低在灯丝上施加的电压，求出发生模变现象时向灯丝施加的电压作为模变电压，基于该模变电压进行磁控管的寿命的判定。

公开(公告)号：CN101320679B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200810137677.4

申请日：2003-10-06

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 河西繁 ,  长田勇辉 ,  荻野贵史

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/3065 ,  C23F4/00 ,  C23C16/513 ,  H01J37/32 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/3222 ,  H01J37/32192

Abstract: 本发明的等离子体处理装置具有：容纳被处理基板的腔室；向所述腔室内提供处理气体的气体供给装置；微波导入装置，向所述腔室内导入等离子体生成用的微波，所述微波导入装置具有：输出多个规定输出的微波的微波振荡器；天线部，具有分别传送从所述微波振荡器输出的多个微波的多个天线，所述微波振荡器具有：发生低功率的微波的微波发生器；将由所述微波发生器所发生的微波分配成多个微波的分配器；将由所述分配器分配的各微波放大到规定的功率的多个放大器部，从所述多个放大器部输出的多个微波，分别向所述多个天线传送，所述多个放大器部的每个具有分离反射微波的隔离器。

公开(公告)号：CN115696713A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202210808444.2

申请日：2022-07-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  长田勇辉 ,  宫下大幸 ,  小野田裕之 ,  川上聪

IPC: H05H1/46 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种等离子体源和等离子体处理装置。等离子体源具有：第1腔室，构成为形成扁平的第1等离子体生成空间，并具有构成第1腔室的多个壁中的面积最大且相对的第1壁和第2壁；气体供给部，构成为能够向第1腔室内供给气体；电磁波供给部，在设置于第1壁的开口具有面向第1等离子体生成空间设置的电介质窗，并构成为能够经由电介质窗向第1腔室内供给电磁波；等离子体供给部，向第1腔室的外部供给等离子体中所含的自由基，该等离子体是利用电磁波从供给到第1腔室内的气体生成的等离子体；和等离子体点火源，在第1腔室内从与电介质窗相对的第2壁的内壁突出，并与电介质窗隔开间隔地设置。根据本发明，能够使等离子体的点火变得容易。