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公开(公告)号：CN107043926A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201710069000.0
申请日：2017-02-08
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C23C16/513
CPC classification number: H01J37/32853 , H01J37/32201 , H01J37/32477 , H01J37/32486 , H01J2237/3321 , C23C16/513 , C23C16/4401
Abstract: 本发明提供一种具有附着抑制片的等离子体化学气相生长装置。附着抑制片配置于工件的设置位置与该反应炉的内壁之间。该附着抑制片是具有在彼此不同的方向上延伸的第一纤维束和第二纤维束的织物。在第一纤维束中，正面侧部分与背面侧部分在第一方向上交替排列。另外，在第二纤维束中，正面侧部分与背面侧部分在第二方向上交替排列。
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公开(公告)号：CN102737947B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201210093675.6
申请日：2012-03-31
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01J37/32201 , C23C16/511 , H01J37/32211 , H01J37/32238 , H01J37/32431 , H05H1/46 , H05H2001/463
Abstract: 本发明的目的在于提供等离子处理装置以及微波导入装置，用简单的构成使等离子的分布均匀化。等离子处理装置(1)具备向处理容器(2)内导入微波的微波导入装置(5)。微波导入装置(5)包括嵌合于顶部(11)的多个开口部的多个微波透过板(73)。多个微波透过板(73)在嵌合于顶部(11)的多个开口部的状态下，配置于与载置台(21)的载置面(21a)平行的一个假想的平面上。多个微波透过板(73)包括微波透过板(73A～73G)。设定为微波透过板(73G、73A)的中心点(PG，PA)间距离与微波透过板(73G、73B)的中心点(PG、PB)间距离相互相等或者几乎相等。
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公开(公告)号：CN1958840A
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200610143249.3
申请日：2006-11-01
Applicant: 应用膜公司
Inventor： 迈克尔·W.·斯托厄尔
IPC: C23C16/00 , C23C16/52 , C23C16/448 , C23C16/513
CPC classification number: C23C16/515 , C23C16/029 , C23C16/308 , C23C16/401 , C23C16/52 , H01J37/32201
Abstract: 公开了一种在化学汽相淀积过程中生成膜的方法。一个实施例包括：产生具有第一脉冲振幅的第一电脉冲；使用第一电脉冲产生第一密度的原子团化物质；使用第一密度的原子团化物质中的原子团化物质分解原料气体，由此产生第一淀积材料；将第一淀积材料淀积到衬底上；产生具有第二脉冲振幅的第二电脉冲，其中，第二脉冲振幅与第一脉冲宽度不同；使用第二电脉冲产生第二密度的原子团化物质；使用第二密度的原子团化物质中的原子团化物质分解原料气体，由此产生第二淀积材料；和，将第二多种淀积材料淀积到第一淀积材料上。
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公开(公告)号：CN106465530A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580016675.8
申请日：2015-03-19
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H05H1/46
CPC classification number: H01J37/32229 , H01J37/32201 , H01J37/32311 , H01J37/32522 , H05H1/46 , H05H2001/4622
Abstract: 用于生成等离子体的装置包括等离子体放电管和导电盘管，导电盘管成螺旋状缠绕在等离子体放电管的外表面周围。波导联接至微波腔体部，所述微波腔体环绕等离子体放电管以将微波能量引导至等离子体放电管中，从而使得在等离子体放电管中生成等离子体。波导部布置成使得微波能量的电场相对于等离子体放电管的纵轴线定向成预定角度。导电盘管中所得的感应电流影响等离子体放电管中的功率吸收，预定角度可选择成使得等离子体放电管中的功率吸收取决于相对于等离子体放电管的纵轴线的预定分布图。
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公开(公告)号：CN101808458B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN200910146412.5
申请日：2009-06-02
Applicant: 浦项工科大学校产学协力团
CPC classification number: H01J37/32825 , H01J37/32192 , H01J37/32201 , H05H1/46
Abstract: 本发明提供了一种用于生成微波等离子体的便携式电源装置，通过使用具有特殊频率的微波生成等离子体、在生成等离子体之后监控从等离子体生成装置反射的功率、检测改变的阻抗匹配条件并校正频率，该便携式电源装置能够使从等离子生成装置反射的功率最小化并能够改善等离子体生成装置的功耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101107693B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200680002469.2
申请日：2006-08-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J23/34 , C23C16/511 , H01J23/04 , H01L21/3065 , H05B6/68 , H05H1/00 , H05H1/46
CPC classification number: H05B6/666 , H01J37/32192 , H01J37/32201 , H05B6/806 , H05B2206/043
Abstract: 本发明以提高磁控管的寿命为目的，提供一种磁控管的寿命判定方法。本发明的微波发生装置，具备：具备包括灯丝(78)的阴极(80)和包括空腔谐振器(84)的阳极(82)的磁控管(74)；灯丝的电流测定部(100)；求出在灯丝上施加的电压的电压测定部(102)。基于电流测定部(100)和电压测定部(102)求出的电流和电压，在电阻值计算部(104)求出灯丝的电阻值。基于电阻-温度相关特性，在温度计算部(106)根据所述电阻值求出灯丝的温度。电源控制部(110)控制灯丝电源(98)，使得灯丝温度维持在规定的温度范围内。并且，逐渐降低在灯丝上施加的电压，求出发生模变现象时向灯丝施加的电压作为模变电压，基于该模变电压进行磁控管的寿命的判定。
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公开(公告)号：CN103608892B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201280020919.6
申请日：2012-04-25
Applicant: 塞勒姆电子与微波工业应用研究公司
Inventor： 阿德里安·格朗德芒格 , 让-玛丽·雅各米诺 , 玛丽莱娜·拉多尤 , 路易斯·拉特拉斯
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H05B6/6447 , H01J37/32009 , H01J37/32192 , H01J37/32201 , H01J37/32229 , H01J37/32266 , H01J37/32302 , H01J37/32311 , H01J37/32678 , H05B6/664 , H05B6/74
Abstract: 本发明涉及一种负载微波处理设备，包括至少一个应用装置（30）;至少一个固态类型的在微波范围内的发生器（4），该发生器通过用于引导电磁波的装置（5）连接到至少一个应用装置（30）;至少一个频率调整系统（40），该频率调整系统设计用于调整所述对应的发生器（4）产生的电磁波的频率;所述或每个应用装置（30）的测量系统（31），该测量系统设计用于测量由该应用装置（30）发射的反射功率PR（i）;自动控制装置（6），该自动控制装置连接至所述或每个频率调整系统（40）和每个测量系统（31），从而根据该发射的功率控制对电磁波频率f（i）的调整,进而调整反射功率PR（i）和/或调整发射功率PT（i）。
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公开(公告)号：CN102737947A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210093675.6
申请日：2012-03-31
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01J37/32201 , C23C16/511 , H01J37/32211 , H01J37/32238 , H01J37/32431 , H05H1/46 , H05H2001/463
Abstract: 本发明的目的在于提供等离子处理装置以及微波导入装置，用简单的构成使等离子的分布均匀化。等离子处理装置(1)具备向处理容器(2)内导入微波的微波导入装置(5)。微波导入装置(5)包括嵌合于顶部(11)的多个开口部的多个微波透过板(73)。多个微波透过板(73)在嵌合于顶部(11)的多个开口部的状态下，配置于与载置台(21)的载置面(21a)平行的一个假想的平面上。多个微波透过板(73)包括微波透过板(73A～73G)。设定为微波透过板(73G、73A)的中心点(PG，PA)间距离与微波透过板(73G、73B)的中心点(PG、PB)间距离相互相等或者几乎相等。
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公开(公告)号：CN101788638A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN201010104207.5
申请日：2006-08-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H05B6/666 , H01J37/32192 , H01J37/32201 , H05B6/806 , H05B2206/043
Abstract: 本发明以提高磁控管的寿命为目的，提供一种磁控管的寿命判定方法。本发明的微波发生装置，具备：具备包括灯丝(78)的阴极(80)和包括空腔谐振器(84)的阳极(82)的磁控管(74)；灯丝的电流测定部(100)；求出在灯丝上施加的电压的电压测定部(102)。基于电流测定部(100)和电压测定部(102)求出的电流和电压，在电阻值计算部(104)求出灯丝的电阻值。基于电阻-温度相关特性，在温度计算部(106)根据所述电阻值求出灯丝的温度。电源控制部(110)控制灯丝电源(98)，使得灯丝温度维持在规定的温度范围内。并且，逐渐降低在灯丝上施加的电压，求出发生模变现象时向灯丝施加的电压作为模变电压，基于该模变电压进行磁控管的寿命的判定。
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公开(公告)号：CN107393798B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201710275334.3
申请日：2017-04-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32 , H01L21/3065 , H05H1/46
CPC classification number: H01J37/3244 , H01J37/32192 , H01J37/32201 , H01J37/32229 , H01J37/32247 , H01J37/32458 , H01J37/32715 , H01J2237/3321 , H01J2237/334
Abstract: 本发明提供能够使处理气体在与气体的特性对应的适当的解离状态下解离的、且能够兼顾处理气体的导入均匀性和所需的等离子体均匀性的等离子体处理装置。等离子体处理装置包括：腔室(1)、载置晶片的载置台(11)、经由顶壁(10)向腔室内导入微波的等离子体源(2)、从顶壁(10)将第一气体导入腔室内的第一气体导入部(21)、从顶壁与载置台(11)之间将第二气体导入腔室内的第二气体导入部(22)。第二气体导入部包括：环状部件(110)，形成有多个气体排出孔(116)，设置成位于顶壁与载置台(11)之间的规定高度位置；和连接顶壁与环状部件的脚部(111a)，第二气体向环状部件的供给经由脚部(11a)进行。
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