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公开(公告)号:CN105648389A
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201510800174.0
申请日:2015-11-19
Applicant: 丰田自动车株式会社
Abstract: 一种喷镀膜,具有形成于铝基材的表面的第1喷镀膜和形成于第1喷镀膜的表面的第2喷镀膜。第1喷镀膜中,具有层状晶体结构的无机材料分散于Ni系合金材料,相对于第1喷镀膜的截面积,上述无机材料的面积率在40%~80%。第2喷镀膜是含有30~50质量%SiO2且由ZrO2-SiO2系陶瓷构成的多孔膜,相对于第2喷镀膜的截面积,第2喷镀膜的气孔的面积率为30~80%。
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公开(公告)号:CN1301559C
公开(公告)日:2007-02-21
申请号:CN200310116965.9
申请日:2003-12-02
Applicant: 丰田自动车株式会社
Inventor: 中田博道
CPC classification number: H01M8/0206 , H01M8/0204 , H01M8/0213 , H01M8/0215 , H01M8/0228 , Y02P70/56
Abstract: 本发明涉及燃料电池隔离器及其制造方法。提供一种能长期稳定保持低电阻(高导电性)和高耐腐蚀性的具有金属基底的低成本燃料电池隔离器。该隔离器(10)包括:金属基底(11),该基底(11)具有形成其表面的由该基底的材料氧化而成的氧化膜(11a);以及形成在基底的该氧化膜表面上的导电薄膜(12)(贵金属膜(12A)或由原子水平制品形成的碳薄膜(12B)。在该隔离器中,在基底的氧化膜(11a)与导电薄膜(12)之间形成提高附着性的中间层(13)。此外,在该隔离器中,在导电薄膜(12)的表面上形成碳涂膜(14)。
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公开(公告)号:CN105648389B
公开(公告)日:2018-07-20
申请号:CN201510800174.0
申请日:2015-11-19
Applicant: 丰田自动车株式会社
Abstract: 一种喷镀膜,具有形成于铝基材的表面的第1喷镀膜和形成于第1喷镀膜的表面的第2喷镀膜。第1喷镀膜中,具有层状晶体结构的无机材料分散于Ni系合金材料,相对于第1喷镀膜的截面积,上述无机材料的面积率在40%~80%。第2喷镀膜是含有30~50质量%SiO2且由ZrO2-SiO2系陶瓷构成的多孔膜,相对于第2喷镀膜的截面积,第2喷镀膜的气孔的面积率为30~80%。
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公开(公告)号:CN106282974B
公开(公告)日:2018-06-12
申请号:CN201610457284.6
申请日:2016-06-22
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C23C16/517
CPC classification number: C23C16/513 , C23C16/455 , H01J37/32211 , H01J37/32311 , H01J37/32577
Abstract: 等离子化学气相沉积装置包括腔室(12)、具有伸长形状的第一导体(20)、具有管状形状的第二导体(30)、高频输出装置(45)和直流电源(46)。第一导体(20)的与高频输出装置(45)连接的第一连接部(23)以及第一导体(20)的与直流电源(46)连接的第二连接部(24)均被放置在腔室(12)的外侧。从第一导体(20)的一端到第一连接部(23)的距离短于从第一导体(20)的所述一端到第二连接部(24)的距离。在第一导体(20)中在第一连接部(23)和第二连接部(24)之间设置阻抗变化部(25),阻抗变化部具有的阻抗不同于在第一导体(20)的所述一端与第一连接部(23)之间的阻抗。
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公开(公告)号:CN107663629A
公开(公告)日:2018-02-06
申请号:CN201710607408.9
申请日:2017-07-24
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: C23C16/274 , C23C14/14 , C23C14/325 , C23C16/26 , C23C16/4581 , C23C16/511 , C23C28/32 , H01J37/32192 , H01J37/3222 , H01L21/205 , H05H1/46 , H05H2001/4607 , H05H2001/463
Abstract: 本发明提供高频波供给构造。该高频波供给构造具备在规定方向X上延伸的中心导体、与中心导体同轴配置且接地的外侧导体、及设置在中心导体与外侧导体之间的圆筒形状的绝缘构件。中心导体的顶端是支承工件W的支承部。在比外侧导体靠外侧处配置有与外侧导体及中心导体同轴配置的防附着构件。防附着构件的顶端比外侧导体的顶端在规定方向X上更接近支承部。绝缘构件具有从外侧导体的开口向支承部侧突出的突出部分,突出部分在规定方向上与外侧导体的顶端对向。
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公开(公告)号:CN107142461A
公开(公告)日:2017-09-08
申请号:CN201710111543.4
申请日:2017-02-28
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C23C16/26 , C23C16/513 , C23C16/52
CPC classification number: C23C16/26 , C23C16/511 , C23C16/52 , H05H1/46 , H05H2001/4622 , C23C16/513
Abstract: 本发明提供一种成膜方法及等离子体化学气相沉积装置。PCVD装置具备以位于反应炉内的部位支承工件并使从高频输出装置输出的微波向工件传播的导波构件。将使通过导波构件向工件传播的微波的强度从“0”开始逐渐加大的过程中该工件的偏置电流跳跃时的从高频输出装置输出的微波的强度设为第一强度,将使微波的强度从第一强度加大的过程中偏置电流再次跳跃时的微波的强度设为第二强度。在成膜时,从高频输出装置输出比第一强度大且比第二强度小的强度的微波。
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公开(公告)号:CN107043926A
公开(公告)日:2017-08-15
申请号:CN201710069000.0
申请日:2017-02-08
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C23C16/513
CPC classification number: H01J37/32853 , H01J37/32201 , H01J37/32477 , H01J37/32486 , H01J2237/3321 , C23C16/513 , C23C16/4401
Abstract: 本发明提供一种具有附着抑制片的等离子体化学气相生长装置。附着抑制片配置于工件的设置位置与该反应炉的内壁之间。该附着抑制片是具有在彼此不同的方向上延伸的第一纤维束和第二纤维束的织物。在第一纤维束中,正面侧部分与背面侧部分在第一方向上交替排列。另外,在第二纤维束中,正面侧部分与背面侧部分在第二方向上交替排列。
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