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公开(公告)号：CN103930448A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201280055066.X
申请日：2012-10-24
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/50 , B29C59/02 , C08F2/44 , H01L21/027
CPC classification number: C08K5/06 , B05D3/067 , B05D3/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F2/24 , C08F2/48 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/038 , H05K3/0014 , H05K3/0017 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供需要小的脱模力的光固化性组合物。本发明还提供需要小的脱模力的UV压印法。该光固化性组合物含有聚合性单体(A)、聚合引发剂(B)和含氟表面活性剂(C)。该光固化性组合物的光固化物具有74度以下的水接触角。
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公开(公告)号：CN101256358B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200810004858.X
申请日：2008-02-05
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , C08F12/24 , C09D161/06 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/039 , C07C37/055 , C08G8/28 , C08L61/14 , Y10S430/106 , Y10S430/108 , C07C39/04
Abstract: 本发明提供了能形成具有低LER(线边缘粗糙度)的光刻胶图案的感光化合物。本发明还提供了其中感光化合物溶解于溶剂中的感光组合物，使用该感光组合物的光刻胶图案形成方法，和使用该光刻胶的器件制造方法。本发明的感光化合物是在分子中具有两个或者更多个由下面通式(1)表示的结构单元的感光化合物：其中R1-R5选自氢原子、卤素原子、烷基、烷氧基、乙酰氧基、苯基、萘基和部分或全部氢原子被氟原子取代的烷基；并且X是取代或者未取代的亚苯基或者取代或未取代的亚萘基。
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公开(公告)号：CN110392919B
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN201880016546.2
申请日：2018-03-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供了图案形成方法，其提供高生产量并可以均匀精度加工的注料区域。图案形成方法，其为光纳米压印技术，依次包括：步骤(1)，将由固化性组合物(A1)形成的层铺设在基板的表面上，该固化性组合物(A1)至少含有充当聚合性化合物的组分(a1)；步骤(2)，将固化性组合物(A2)的液滴离散地逐滴分配至固化性组合物(A1)的层上以铺设液滴，该固化性组合物(A2)至少含有充当聚合性化合物的组分(a2)；步骤(3)，将通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层夹在模具和基板之间；步骤(4)，用光从模具侧照射通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层以一次地使该层固化；和步骤(5)，在固化之后从由固化性组合物形成的层脱模模具，其中通过每注料区域固化性组
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公开(公告)号：CN109075034B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201780022394.2
申请日：2017-03-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 一种固化物图案的制造方法，所述方法包括：第一步骤(配置步骤)，将包含固化性组合物(α1)的层配置于基板上；和第二步骤(施加步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地施加在包含固化性组合物(α1′)的层上，所述固化性组合物(α1′)包含除了溶剂组分(D)以外的所述固化性组合物(α1)中的组分；其中所述固化性组合物(α1)的粒径为0.07μm以上的颗粒的个数浓度为小于2021个/mL，并且所述固化性组合物(α1′)具有比所述固化性组合物(α2)大的表面张力。
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公开(公告)号：CN106574007B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN201580041479.6
申请日：2015-07-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F20/20 , C08F2/46 , H01L21/027 , H01L21/3065
Abstract: 一种光固化性组合物，其包括聚合性化合物；和光聚合引发剂，其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物，其中通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115699254A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180036724.X
申请日：2021-06-08
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树 , 清原直树 , 千叶启子 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 , 山下敬司
IPC: H01L21/027
Abstract: 一种基板表面平坦化方法，其依次包括：布置步骤，将液体可固化组合物布置到具有不平度的基板上；等待步骤，进行等待，直到液体可固化组合物的层的表面变得平滑；曝光步骤，施加光以固化液体可固化组合物的层。布置步骤包括：第一布置步骤，布置由至少含有可聚合化合物(a1)的第一液体可固化组合物(A1)制成的层；以及第二布置步骤，将至少含有可聚合化合物(a2)的第二液体可固化组合物(A2)的液滴通过分散地滴下滴液的方式布置到由第一液体可固化组合物(A1)制成的层上。
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公开(公告)号：CN107756785B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201710709428.7
申请日：2017-08-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B29C64/135 , B29C64/255 , B29C64/386 , B29C64/393 , B33Y30/00 , B33Y50/00 , B33Y50/02
Abstract: 公开了用于制造三维制品的三维制造装置和方法。一种三维制品被制造出。将未固化的光固化树脂填充到用于下一层的空间中的速度被提高，以改进制造速度。容纳光固化树脂的容器的一个表面通过透气片以及透光板来配置，该透气片面向光固化树脂并且透射光照射装置的照射光，以及该透光板设置于容器的相对于该透气部件的外侧处。在透气片与透光板之间界定可通过压力控制装置进行压力控制的加压室。在移动制造台时，加压室的内部被减压，以引起透气片进行凹面变形，以及在进行光照射时，通过加压来引起加压室中的气体渗透入光固化树脂中。
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公开(公告)号：CN109073968A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780022031.9
申请日：2017-03-17
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 蒂莫西·布赖恩·斯塔霍维亚克 , 刘卫军 , 尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 , 叶正茂 , 伊藤俊树
Abstract: 一种从压印的纳米压印光刻基材除去未固化的预处理组合物的纳米压印光刻方法。该方法包括将预处理组合物配置在纳米压印光刻基材上以形成预处理涂层，和将压印抗蚀剂的离散部分配置在预处理涂层上，压印抗蚀剂的各离散部分覆盖纳米压印光刻基材的目标区域。随着压印抗蚀剂的各离散部分铺展超出其目标区域，在纳米压印光刻基材上形成复合聚合性涂层，并且使复合聚合性涂层与纳米压印光刻模板接触。使复合聚合性涂层聚合以在纳米压印光刻基材上产生复合聚合物层和预处理涂层的未固化部分，并且从纳米压印光刻基材除去预处理涂层的未固化部分。
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公开(公告)号：CN108885976A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780022176.9
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , C09D133/06 , C09D133/08 , C09D135/02
Abstract: 提供在基板上形成图案的方法，该方法包括：在基板的表面上层叠包含作为聚合性化合物的组分(a1)的固化性组合物(A1)的层；在固化性组合物(A1)的层上离散地滴落至少包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(A2)的液滴；将固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的混合层夹持在具有图案的模具和基板之间；用光照射混合层以使混合层固化；和使模具与固化后的混合层脱离，其中固化性组合物(A1)中的作为聚合性化合物的组分(a1)和固化性组合物(A2)之间的汉森距离Ra((a1)‑(A2))为6以下。
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