一种晶粒高定向取向的铱溅射靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN111235536A

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN202010186255.7

    申请日:2020-03-17

    摘要: 本发明公开了一种晶粒高定向取向的铱溅射靶材及其制备方法,铱溅射靶材呈现(111)晶面高定向取向,致密度不低于99.5%,晶粒尺寸1-10μm,氧含量100 ppm以内;所述(111)晶面与(200)晶面积分强度比不低于4。所述制备方法包括以下步骤:选择4N及以上纯度,粒度为1-10μm的铱粉;随后将粉末进行冷压成型;再将冷压成型的锭坯进行低温微波烧结;再将锭坯进行低温真空热压烧结进一步提高致密度;最后机加工获得靶材。本发明采用较低的烧结温度、低温真空热压技术及充氢气形成还原气氛,使得铱溅射靶材性能优异,高致密度和(111)晶面高定向取向有助于获得高溅射速率、厚度均匀的铱薄膜,制备工艺简便,条件温和易于操控,而且可大大提高了生产效率,极大地节约制备成本。

    一种微米级类球形铱粉体的制备方法

    公开(公告)号:CN108296491A

    公开(公告)日:2018-07-20

    申请号:CN201810066926.9

    申请日:2018-01-24

    IPC分类号: B22F9/22 B22F1/00

    摘要: 本发明公开了一种微米级类球形铱(Ir)粉体及其制备方法,所制备的微米级Ir粉体的纯度可达99.99%,颗粒尺寸为1~5μm,平均粒径为4μm。本发明以氯铱酸铵[(NH4)2IrCl6]为原料,采用雾化干燥结合微波煅烧技术制备了微米级类球形Ir粉体,本发明通过雾化干燥和微波煅烧工艺,制备的微米级Ir粉体,具有纯度高,尺寸均匀,近似球形和分散性好的优点,这使得粉体具有很好的流动性和烧结性能。这种铱粉体可以用于制备高温性能优异、高强度硬度、耐腐蚀和耐氧化的各种铱制品,广泛应用于电光、电气、航空航天和核反应堆领域。

    一种由易氧化金属镀膜保护制备的高均质NiCrPt合金靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN114293157A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111501941.X

    申请日:2021-12-09

    IPC分类号: C23C14/34 C22C19/05

    摘要: 本发明公开了一种由易氧化金属镀膜保护制备的高均质NiCrPt合金溅射靶材及其制备方法,所述溅射靶材之基材原料由纯度≥99.99wt%的Ni、Cr、Pt金属组成,其中Cr10~30at%,Pt1~4.5at%,余量为Ni,外加总质量比0.01~0.08%的除氧剂;基材表面保护镀膜厚度≤5μm;所述溅射靶材致密度≥99.5%,且无肉眼可见的缺陷,氧含量≤30ppm,靶材晶粒均匀,其平均粒径为20~100μm;所述溅射靶材之表层机加工处理的去除深度≤0.5mm。其制备方法由基材铸锭与清洗处理、基材镀膜、坯材轧制、再结晶处理和机加工处理工艺实现。本发明基于“控氧+优先保护”原理,降低基材氧含量,基材表面优先溅射易氧化金属保护镀层,抑制“夹生”脆性氧化物,提高了靶材优材率,降低了表层去除深度,减少靶材浪费,节约成本。

    一种高均质微粒径高纯钌粉及其制备方法

    公开(公告)号:CN114289727A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111501964.0

    申请日:2021-12-09

    IPC分类号: B22F9/22 B22F1/145 B22F1/065

    摘要: 本发明公开了一种高均质微粒径高纯钌粉及其制备方法,所述高纯钌粉的由重量百分浓度的钌离子水溶液、沉淀剂和分散保护剂制备得到;所述高纯钌粉纯度≥99.999%,近球形,分散性好,平均粒径<3μm;所述高纯钌粉由前驱体制备、前驱体煅烧、前驱体还原、钌粉纯化工艺制备获得。本发明采用化学液相法通过改变反应条件的一种或几种可以有效低控制反应进程,有效控制反应生成物的粒径、形貌;选择了不参与反应、易溶于水的高分子树脂作为分散保护剂,通过物理吸附作用,能有效控制反应生成物的粒径大小,使形貌趋于球形生长,同时改善分散性,助于获得高均质优分散性的产物。本发明获得具有尺寸稳定的微米粒径钌粉,其尺度在1~3μm之间得到控制。从附图可见钌粒子具有尺度均匀、呈类球形的特点,颗粒间分散性好。