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公开(公告)号：CN1318878C
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN02829427.0
申请日：2002-08-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058
Abstract: 一种微型摇动元件，具有框架(113)和通过连结部(112)与该框架(113)连结的摇动部件(111)。各连结部(112)包含2个扭杆(112a)，各扭杆(112a)形成多个孔(112b)，由此，按照朝向框架(113)刚性相对高、且朝向摇动部件(111)刚性相对低的方式构成。
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公开(公告)号：CN1856440A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200480027286.7
申请日：2004-09-21
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G02B26/0816 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81C1/00484 , B81C2201/0109 , B81C2201/019 , G02B6/3516 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/355 , G02B6/357 , G02B6/3584 , H02N1/008
Abstract: 一种用于制造包括固定地支撑在底座上的固定元件和可动地支撑在所述底座上的可动元件的微机电系统(MEMS)的方法。所述方法采用与下衬底分离的上衬底。所述上衬底在其顶层被选择性蚀刻以在其中形成多个柱，所述柱从所述上衬底的底层一起突出。所述柱包括将被固定到所述下衬底的所述固定元件和仅弹性地支撑于一个或多个所述固定元件以相对于所述固定元件可移动的所述可动元件。所述下衬底在其顶表面形成有至少一个凹陷。然后所述上衬底颠倒结合到所述下衬底的顶部，使得把所述固定元件直接设置在所述下衬底上，并把所述可动元件设置在所述凹陷上方。最后，除去所述上衬底的底层，以从所述底层释放所述可动元件，从而把所述可动元件浮置在所述凹陷上，并允许它们相对于所述下衬底移动，同时保持所述固定元件固定到所述下衬底的顶部。
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公开(公告)号：CN1214971C
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN03155680.9
申请日：2003-09-02
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B81B3/0062 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , B81C2201/019 , G02B26/0841 , H02N1/008
Abstract: 本发明公开了一种激励器，包括具有第一方向和垂直第一方向的第二方向并围绕垂直于第一方向和第二方向的第三方向相对沿第一方向的中心轴往复运动的平台。第一支撑部分支撑平台的往复运动。基体在平台下面对平台并由第一支撑部分支撑。平台驱动部分具有第一驱动梳状电极和与第一驱动梳状电极对应的第一静止梳状电极，位于平台的下表面和基体面对平台的上表面上。第二支撑部分支撑第一支撑部分，使得第一支撑部分相对于沿该第二方向设置的旋转中心轴往复运动。第一支撑部驱动部分具有设置在第一支撑部分处的第二驱动梳状电极和固定地处于第二驱动梳状电极对应位置处的第二静止梳状电极从而产生第一支撑部分的往复运动。
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公开(公告)号：CN1370284A
公开(公告)日：2002-09-18
申请号：CN00811629.6
申请日：2000-08-01
Applicant: ADC电信股份公司
Inventor： N·张
CPC classification number: G02B6/357 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81C1/00182 , B81C2201/0109 , B81C2203/0136 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/3544 , G02B6/3584 , H02N1/008
Abstract: 提供了具有改善特性的一种基于MEMS的光学开关(100),以及用于制造该光学开关的方法。根据一个实施例,光学开关包括具有偏移梁结构(124)的单梳(122)驱动致动器(104)和与致动器耦合的镜(102)。镜能在插入在所述波导通道(106)间的伸展位置和远离所述波导通道的收缩位置之间移动。致动器施加力就能将梁结构偏移并将镜向伸展位置或收缩位置之一移动,并且在不施加力时,梁结构将镜返回到伸展位置或收缩位置中的另一位置。
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公开(公告)号：CN108710203A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810471362.7
申请日：2015-01-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: B81B3/0062 , B81B3/0043 , B81B7/008 , B81B2201/018 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2201/045 , B81B2203/058 , G02B26/0841 , G03B21/142 , G03B21/2033 , G03B21/28
Abstract: 本申请涉及静电驱动MEMS器件。MEMS器件具有经由接合臂对由支撑区域支撑的支撑物体。一种耦合到接合臂的静电驱动系统具有耦合到彼此的移动电极和固定电极。静电驱动系统由布置在相应的接合臂的相对侧上并且通过连接元件连接到接合臂的两对致动组件形成。每个致动组件横向延伸到悬挂物体并且具有支撑相应的多个移动电极的附属臂。每个附属臂平行于接合臂。连接元件可以是刚性的或者由联动装置形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104820285B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201510049858.1
申请日：2015-01-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: B81B3/0062 , B81B3/0043 , B81B7/008 , B81B2201/018 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2201/045 , B81B2203/058 , G02B26/0841 , G03B21/142 , G03B21/2033 , G03B21/28
Abstract: 本发明涉及静电驱动的MEMS器件。MEMS器件具有经由接合臂对由支撑区域支撑的悬置块。耦合到接合臂的静电驱动系统具有彼此耦合的移动电极和固定电极。静电驱动系统由布置在相应的接合臂的相对侧上并且通过连接元件连接到接合臂的两对致动组件形成。每个致动组件横向延伸到悬置块并且具有承载相应的多个移动电极的附属臂。每个附属臂平行于接合臂。连接元件可以是刚性的或者由联动装置形成。
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公开(公告)号：CN104820285A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510049858.1
申请日：2015-01-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: B81B3/0062 , B81B3/0043 , B81B7/008 , B81B2201/018 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2201/045 , B81B2203/058 , G02B26/0841 , G03B21/142 , G03B21/2033 , G03B21/28
Abstract: 本发明涉及静电驱动的MEMS器件。MEMS器件具有经由接合臂对由支撑区域支撑的悬置块。耦合到接合臂的静电驱动系统具有彼此耦合的移动电极和固定电极。静电驱动系统由布置在相应的接合臂的相对侧上并且通过连接元件连接到接合臂的两对致动组件形成。每个致动组件横向延伸到悬置块并且具有承载相应的多个移动电极的附属臂。每个附属臂平行于接合臂。连接元件可以是刚性的或者由联动装置形成。
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公开(公告)号：CN103328372B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201180061504.9
申请日：2011-11-04
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: H02N2/005 , B81B7/0006 , B81B2201/033 , B81B2203/0154 , B81B2207/07
Abstract: 本发明涉及一种装置，其可包括由第一半导体材料形成的挠曲。第一沟槽可形成在所述挠曲中。所述第一沟槽可将所述第一半导体材料分离成其第一部分及第二部分。氧化物层可形成在所述第一沟槽中。所述氧化物层可在所述第一半导体材料的顶部部分上延伸。第二半导体材料可形成在所述氧化物层上。所述第一沟槽及所述氧化物层可协作以将所述第一部分及所述第二部分彼此电隔离。
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公开(公告)号：CN103717997A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201180072685.5
申请日：2011-08-09
Applicant: 丰田自动车株式会社
Inventor： 成田胜俊
CPC classification number: G01B7/14 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , G01C19/5733
Abstract: 本发明的位移量监视电极的构造在即使固定电极与可动电极的相对关系发生变化也能将检测质量的振幅保持为恒定的目标振幅的基础上，分别由基部及从该基部沿着与基板平行的预定轴向延伸的电极指构成的梳齿状的、相对于基板被固定的固定电极和能在预定轴向上位移的可动电极以相互的电极指彼此啮合的方式相向配置，基于固定电极与可动电极之间的静电电容的变化量来监视应以目标振幅驱动的检测质量的位移量，静电电容的变化量相对于可动电极向预定轴向的位移量的变化灵敏度在该可动电极向该预定轴向的位移达到与检测质量的目标振幅对应的目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变大。
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公开(公告)号：CN102387983A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200980129796.8
申请日：2009-06-15
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0037 , B81B2201/033 , H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种微机械结构(1)，尤其是传感器或执行器，包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6，7，8，9)限制的工作间隙(4，5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定，该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间相对于一个参照点固定的结构部段(6，7)相对于在运行中相对于这个参照点可运动的结构部段(8，9)进行调节来扩宽该工作间隙(4，5)。本发明此外涉及一种用于调整工作间隙宽度的方法。
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