公开(公告)号：CN102844263B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201080049053.2

申请日：2010-10-27

Applicant: 英特尔公司

Inventor： 奥费·库加特 ,  尼古拉斯·亚贝利

IPC: G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  B81B5/00

CPC classification number: G02B26/085 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0181 ,  G02B26/023 ,  H02K26/00 ,  H02K33/18

Abstract: 本发明涉及一种电磁致动微控制器，包括：一块活动板(1)，该活动板可绕一个轴(11)旋转，由在该板的两侧上对齐到所述轴(11)的两个臂形件(7，9)连接到一个静止框架(3)上，并在其外围上包括一个导电环(13)；以及在由该静止框架和该活动板形成的组件下面，一组磁铁(51，53，55)具有相异磁定向，以关于该活动板在该框架的平面中创建相对于该旋转轴的倾斜的一个横向磁场(57)的方式排列。

公开(公告)号：CN105008980A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201480012027.0

申请日：2014-03-05

Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司

Inventor： J·维拉瑞欧 ,  T·J·布罗斯妮汉 ,  M·B·安德森 ,  E·巴克利 ,  E·非克

IPC: G02B26/02 ,  G02B27/00

CPC classification number: G02B26/02 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/045 ,  G02B26/023 ,  G09G5/003

Abstract: 本发明提供用于调制光以在显示器上形成图像的系统、方法和设备以及制造此类设备的方法。显示设备包含快门，所述快门具有沿所述快门的运动轴从快门光圈的相对侧向外延伸的不对称的光阻挡部分。致动器沿所述运动轴横向移动所述快门以使所述快门在完全关闭、部分打开与完全打开状态之间移动以调制光，借此形成图像。

公开(公告)号：CN104884991A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201380068506.X

申请日：2013-12-16

Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司

Inventor： E·E·菲克三世 ,  T·J·布洛斯妮汉

IPC: G02B26/02 ,  B81B7/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: G02B26/00 ,  B81B3/0005 ,  B81B7/0012 ,  B81B7/0029 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/0096 ,  G02B26/02 ,  G02B27/0006 ,  G02F1/0102 ,  G09G3/00

Abstract: 本发明提供用于防止粒子进入机电系统EMS显示装置的系统、方法和设备。在一方面中，一种设备包含：板；衬底，其支撑至少一EMS装置；密封件，其接合所述板和所述衬底以在其间界定腔和用于接收流体的至少一端口；以及过滤器，其安置于所述端口与所述EMS装置之间。所述过滤器包含形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上的元件，从而界定间隙，所述间隙经设定大小以容许所述所接收的流体通过且抑制所述流体中所载送的非流体粒子进入所述EMS装置。

公开(公告)号：CN102323666B

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201110265548.5

申请日：2006-02-23

Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司

Inventor： N·W·哈古德 ,  J·L·斯泰恩

IPC: G02B26/02

CPC classification number: G09G3/3433 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/051 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0841 ,  G09G2300/0809 ,  G09G2310/0262

Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。

公开(公告)号：CN102798974A

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN201210163617.6

申请日：2012-05-22

Applicant: 株式会社日本显示器东

Inventor： 藤吉纯 ,  木村泰一

IPC: G02B26/02 ,  G09G3/34

CPC classification number: B81C1/00182 ,  B81B2201/045 ,  B81C2203/054 ,  G02B26/02

Abstract: 本发明提供显示装置及其制造方法，其目的在于不增加制造工序地形成耐油性高的凸块。以包围第三上表面(68)的方式形成有贯穿树脂层(50)的切槽(76)。膜(52)形成为，在切槽(76)的内侧覆盖除了树脂层(50)的底面以外的整体且在切槽(76)的外侧使树脂层(50)的至少一部分露出。在切槽(76)的内侧残留被膜(52)整体覆盖的树脂层(50)，在切槽(76)的外侧除去与相对于膜(52)的露出面连续的树脂层(50)的整体。在切槽(76)的内侧由树脂层(50)及膜(52)形成凸块(48)，在切槽(76)的外侧以从第一基板(10)浮起的状态由膜(52)形成光闸(14)和驱动部(40)的至少一部分。

公开(公告)号：CN1832899B

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN03826880.9

申请日：2003-06-06

Applicant: 亨斯迈先进材料(瑞士)有限公司

Inventor： J·T·拉夫恩基尔德 ,  H·亨宁森

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81C3/008 ,  B81B2201/045 ,  B81C2203/0109 ,  G02B26/02

Abstract: 本发明涉及一种光学微机电结构(MEMS)，其包括：(至少一个)光学透射层(UTL)；(至少一个)中间层结构(IL)；(至少一个)器件层(DL)，所述中间层结构(IL)限定了在所述实质光学透射层(UTL)与所述器件层(DL)之间的一个或多个光路(OP)，所述中间结构层(IL)限定了所述光学透射层(UTL)与所述器件层(DL)之间的距离(d)。

公开(公告)号：CN1672241A

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN03818030.8

申请日：2003-05-14

Applicant: 硅光机器公司

Inventor： J·A·亨特

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/82 ,  H01L21/302

CPC classification number: G02B26/0808 ,  B81B2201/045 ,  B81B2207/015 ,  B81B2207/07 ,  B81C1/00246 ,  B81C2201/016 ,  B81C2203/0735 ,  B81C2203/0778 ,  H01L27/0611

Abstract: 一种集成器件包括：一个或多个器件驱动器和单片地耦合到所述一个或多个驱动器电路的衍射光调制器。所述一个或多个驱动器电路被配置成用于处理接收的控制信号和将处理的控制信号传送给所述衍射光调制器。一种制造所述集成器件的方法优选地包括制造多个晶体管的每一个的前端部分；绝缘所述多个晶体管的前端部分；制造一个衍射光调制器的一前端部分；绝缘所述衍射光调制器的所述前端部分；为所述多个晶体管制造内部连线；应用一敞口阵列掩模和湿式蚀刻以达到所述衍射光调制器；和制造所述衍射光调制器的一后端部分，从而单片地耦合所述衍射光调制器和所述多个晶体管。

公开(公告)号：CN1423141A

公开(公告)日：2003-06-11

申请号：CN02108425.4

申请日：2002-03-29

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 洪允植 ,  姜埈锡 ,  尹湘基 ,  郑成天 ,  李浈铉 ,  李贤基

IPC: G02B6/35 ,  H04B10/12

CPC classification number: G02B6/358 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/053 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  H02N1/006

Abstract: 本发明中所涉及的MEMS光学开关包括:静电驱动器和底座,静电驱动器包括:往复块；对称位于所述往复块左右侧的一对第1旋转轴；连接于所述第1旋转轴并可旋转的第1旋转块；支撑所述第1旋转块的第1旋转弹簧；连接于所述第1旋转块,并与所述第1旋转弹簧一起支撑所述第1旋转块的线形弹簧；连接于所述线形弹簧的第2旋转块；在左右侧两端连接并支撑所述第2旋转块的第2旋转弹簧；连接于所述第2旋转块并可旋转的第2旋转轴；与所述第2旋转轴的为一体设置于驱动器、驱动电极一侧的固定器；超微镜片；对所述往复块和左右侧的旋转块具有两个结构稳定点的静电传动装置。其发明目的在于提供最大限度降低传动装置耗电量的光学开关。

公开(公告)号：CN1397816A

公开(公告)日：2003-02-19

申请号：CN02126312.4

申请日：2002-07-18

Applicant: 日本电气株式会社

Inventor： 宇都宫基恭

IPC: G02B6/35 ,  H04B10/12

CPC classification number: G02B6/357 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/045 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3556

Abstract: 一个用于连接和切换大量光学信号的模拟光束真空光学开关，包括大量的光学装置和用于驱动光学装置的静电驱动器。各个光学装置被以中枢轴方式支撑，在光学装置和驱动电极之间施加静电电压。大量驱动电极被排列成相对于电极中心的放射状图样。各个驱动电极被设计成这样一种形状，使得规定的外边部分的电极宽度随着相对于电极中心向着外边的推进而减小。另外，各个驱动电极被设计成这样一种形状，使得规定的里边部分的电极宽度随着相对于电极中心向着里边的推进而减小。用这种方式设计驱动电极提高了微型反射镜的驱动扭转力矩特性，扩大了低电压驱动进行稳定定位的转向角范围。

公开(公告)号：CN108710203A

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201810471362.7

申请日：2015-01-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： R·卡尔米纳蒂 ,  S·康蒂

IPC: G02B26/08 ,  G03B21/14 ,  G03B21/20 ,  G03B21/28 ,  B81B7/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0062 ,  B81B3/0043 ,  B81B7/008 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841 ,  G03B21/142 ,  G03B21/2033 ,  G03B21/28

Abstract: 本申请涉及静电驱动MEMS器件。MEMS器件具有经由接合臂对由支撑区域支撑的支撑物体。一种耦合到接合臂的静电驱动系统具有耦合到彼此的移动电极和固定电极。静电驱动系统由布置在相应的接合臂的相对侧上并且通过连接元件连接到接合臂的两对致动组件形成。每个致动组件横向延伸到悬挂物体并且具有支撑相应的多个移动电极的附属臂。每个附属臂平行于接合臂。连接元件可以是刚性的或者由联动装置形成。