单晶炉熔料时间缩短装置及方法

    公开(公告)号:CN106222746A

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201610905601.6

    申请日:2016-10-17

    发明人: 潘永娥

    IPC分类号: C30B29/06 C30B15/14

    CPC分类号: C30B29/06 C30B15/14

    摘要: 本发明涉及单晶炉熔料时间缩短装置及方法,单晶炉熔料时间缩短装置包括石墨坩埚,所述石墨坩埚的外表面上绕有感应线圈,所述感应线圈具有电路接线端。单晶炉熔料时间缩短方法,包括单晶炉、装有硅料的石英坩埚、加热装置、单晶炉熔料时间缩短装置,在熔料开始时,打开加热装置,并且接通感应线圈,待硅料融化后,关闭感应线圈。通过在石墨坩埚的外表面上绕感应线圈,可以在开始熔化硅料的时候,将感应线圈通电,与现有的单晶炉内的加热装置一起对硅料进行加热,提高加热效率,缩短硅料融化时间,提高单晶棒的生产效率。

    单晶硅制造装置
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106029958A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201580008300.7

    申请日:2015-02-03

    IPC分类号: C30B29/06 C30B15/20

    摘要: 本发明是一种单晶硅制造装置,其是基于CZ法的单晶硅制造装置,具备在内部具有加热原料的加热器的腔室以及通过冷却介质来冷却腔室的装置,所述单晶硅制造装置具备:供冷却所述腔室的冷却介质在腔室内流通的流路上的入口温度、出口温度及流量的测定装置;基于入口温度、出口温度及流量的测定值来计算从腔室去除的去除热量的运算装置;以及基于计算出的去除热量来控制加热器功率的加热器功率控制装置。由此,提供一种单晶硅制造装置,其基于由冷却介质的温度及流量的测定值计算出的从腔室去除的去除热量来控制加热器功率,由此能够以更接近目标值的结晶直径及结晶提拉速度来进行单晶的提拉。

    一种节能型蓝宝石晶体生长炉

    公开(公告)号:CN104651934A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201510043615.7

    申请日:2015-01-29

    IPC分类号: C30B29/20 C30B15/00

    摘要: 一种节能型蓝宝石晶体生长炉,生长炉的炉腔内设置有坩埚和夹持籽晶棒的夹持杆,所述坩埚和籽晶棒分别由坩埚升降装置和籽晶棒升降装置控制其上下移动,以保证在晶体生长过程中坩埚内氧化铝熔体的液面始终保持在一个相同的位置;炉体内设置分隔板将其分隔成冷气室和热气室两部分,再加上籽晶棒和氧化铝熔体四部分形成四个温度场,通过热电偶监测四个温度场的温度并进行调节,以使其具有最佳的温度梯度,从而准确控制固液界面温度,提高晶体生长的最佳热场方式,进而找到晶体生长最佳途径,以利于提高晶体生长速度和晶体生长质量。

    磷化铟单晶炉热偶升降装置

    公开(公告)号:CN104404622A

    公开(公告)日:2015-03-11

    申请号:CN201410689349.0

    申请日:2014-11-26

    IPC分类号: C30B29/40 C30B15/20 C30B15/14

    摘要: 本发明公开了一种磷化铟单晶炉热偶升降装置,涉及单晶炉技术领域。所述升降装置包括:固定台、位置指针、标尺、热偶管、密封组件、丝杠、升降架、传动组件、动力源和热偶丝。所述升降装置用于液封直拉法磷化铟单晶生长工艺,可监控和测量磷化铟单晶生长时炉腔和熔体内不同位置的温度,进行在线精确测量,得到炉腔和熔体的实际温度,从而改善加热器和保温系统的结构、调节加热器功率,建立良好的热场,使熔体内温度梯度更加合理,生长出残余应力小、位错密度低、电学参数均匀的高质量磷化铟晶体,并能利用测量温度与相关仿真模拟软件的模拟温度进行对比。