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公开(公告)号:CN1881096A
公开(公告)日:2006-12-20
申请号:CN200610091325.0
申请日:2006-06-12
申请人: 施乐公司
CPC分类号: G01N21/86 , G01N2021/8896 , G03G15/6564 , G03G15/6567
摘要: 通过在片材路径中移动片材经过多个光检测器阵列条以提供对应于初始片材定位的电信号来自动提供电子片材定位信息,其中,这个光检测器阵列条以非垂直角度横穿片材路径成角度地安装,使得光检测器的不同定位的子集可通过不同片材移动位置的片材的前沿来激活。这些信号可在不同的时间间隔进行比较并且以电子方式适当分析,以便提供片材偏斜、推移和横向定位信息,它们可用来自动控制片材配准校正系统、例如用于打印机。
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公开(公告)号:CN1092795C
公开(公告)日:2002-10-16
申请号:CN96122782.6
申请日:1996-09-21
申请人: 欧文斯-布洛克威玻璃容器有限公司
发明人: J·W·朱文纳尔
IPC分类号: G01N21/896
CPC分类号: G01N21/90 , G01N2021/8896
摘要: 在一个检查容器的系统中,容器被保持在静止位置上并绕自身轴线旋转。使光线射到旋转容器上,用摄像镜头获得该容器的图象。该容器图象由多个象素数据字节组成,每个字节形成图象的一部分,将该图象连续和顺序地输入可编程逻辑器件;该器件中有一组合构成的硬件逻辑元件阵列,以使阵列中的元件同时和实时地对多个顺序的象素数据字节进行操作。对象素数据分析获得作为容器一个光学特征函数的检查信息。
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公开(公告)号:CN104904194B
公开(公告)日:2018-08-07
申请号:CN201380069796.X
申请日:2013-12-10
申请人: 科磊股份有限公司
发明人: 戴维·L·布朗 , 勇-霍·亚历克斯·庄 , 尤里·尤迪特斯凯
IPC分类号: H04N5/225
CPC分类号: H04N5/3742 , G01N21/8851 , G01N2021/8896 , G01N2021/95676 , H04N5/2256 , H04N5/3743
摘要: 本发明描述种随着连续移动的对象操作图像传感器的方法。在此方法中,可在延长时间照明脉冲期间执行定时延迟积分模式TDI模式操作。在此TDI模式操作期间,仅在第方向中移位通过所述图像传感器的像素存储的电荷且其跟踪图像运动。值得注意的是,仅在非照明期间执行分裂读出操作。在此分裂读出操作期间,在所述第方向中移位通过所述图像传感器的第像素存储的第电荷,且同时在第二方向中移位通过所述图像传感器的第二像素存储的第二电荷,所述第二方向与所述第方向相反。
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公开(公告)号:CN107615050A
公开(公告)日:2018-01-19
申请号:CN201580080128.6
申请日:2015-11-02
申请人: 三菱电机株式会社
IPC分类号: G01N21/88
CPC分类号: G01N21/8851 , G01N21/88 , G01N2021/8896 , G06T7/0002 , G06T7/0008 , G06T7/73 , G06T7/75 , G06T2207/10024 , G06T2207/20092
摘要: 本发明获得一种能抑制检查的运用开始前的操作量、并且在运用开始后能提高变形的检查精度的检测装置。该检测装置包括:储存表示变形对象的特征的参数的对象特征储存装置(2);使用参数、根据图像信息来检测变形对象候选的对象检测部(3);储存变形对象候选的对象储存部(4);显示储存于对象储存部(4)的变形对象候选的对象显示部(5);接收针对变形对象候选的校正信息的输入、基于校正信息对储存于对象储存部(4)的变形对象候选进行修正的校正输入部(6);以及基于由校正输入部(6)所接收到的校正信息来对储存于对象特征储存装置(2)的参数进行校正的对象特征校正部(7)。
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公开(公告)号:CN101707180B
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN200910226393.7
申请日:2003-05-22
CPC分类号: G06T7/001 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N2021/8896 , G06T2207/30148 , Y10S430/146
摘要: 一种扩大半导体晶圆光学检查系统的制程监控能力的方法,其比现行的方法能更灵敏地检测晶圆表面上制程变异的微小影响。该方法实质上利用几何区块将检查表面上感测过的像素分组,并使每个区块与同一晶圆的另一晶粒上对应位置的区块相比较,以及与另一晶圆的一晶粒上对应位置区块的存储模型影像相比较。在本发明一实施例中,直接比较像素值,并在缺陷检测程序中将差异进行阈值控制在可接受的低水平内。另一实施例中,根据测得的光强度值来计算每个区块的信号,并与其对应的信号相比较。
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公开(公告)号:CN102362171B
公开(公告)日:2013-09-25
申请号:CN201080012974.1
申请日:2010-03-10
申请人: 丰田自动车株式会社
IPC分类号: G01N21/95 , G01N21/896
CPC分类号: G01N21/9501 , G01B11/22 , G01N21/9505 , G01N2021/8864 , G01N2021/8874 , G01N2021/8896 , G02B21/0056 , H01L22/24
摘要: 一种测量存在于单晶中的各种类型缺陷的多个缺陷的密度的方法,包括:蚀刻作为单晶表面的观察表面,以在各缺陷处形成蚀刻凹陷;计算在观察表面上预定区域内存在的多个缺陷处形成的各蚀刻凹陷的最大深度、平均深度和深度曲率;和将测量的最大深度、平均深度和深度曲率与参考值比较,以确定预定区域内部各缺陷的类型。
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公开(公告)号:CN1806167A
公开(公告)日:2006-07-19
申请号:CN200480016204.9
申请日:2004-06-14
CPC分类号: G01N33/206 , G01N21/8806 , G01N2021/8816 , G01N2021/8896 , G01N2201/06153 , G01N2201/0636
摘要: 一种杂质测量装置,包括:在其上放置着断裂表面(h)朝上的样品(S)的工作台(T);照明装置(7),其从多个方向用光(L)照射断裂表面(h);用来检测断裂表面(h)的图像的图像检测装置;用来将所检测图像处理成连续色调图像的连续色调图像处理装置;和用来通过连续色调图像处理结果与阈值之间的比较将连续色调图像二进制化的二进制化装置。由于从多个方向照射断裂表面(h),通过检测断裂表面(h)的图像所获得的图像没有由断裂表面(h)上的微小不规则性导致的阴影或光学不规则性。因而,所述图像经过连续色调图像处理和二进制化后,样品(S)中的杂质就能被从断裂表面(h)中精确地检测到。
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公开(公告)号:CN1672038A
公开(公告)日:2005-09-21
申请号:CN03817635.1
申请日:2003-05-22
申请人: 应用材料股份有限公司 , 应用材料以色列公司
CPC分类号: G06T7/001 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N2021/8896 , G06T2207/30148 , Y10S430/146
摘要: 一种扩大半导体晶圆光学监测系统的制程监控能力的方法,其比较现行的方法能更敏感地检测晶圆表面上制程变异的微小影响。该方法利用几何区块将监测表面上感测过的小点分组,并使每个区块与同一晶圆的另一晶粒上对应位置的区块相比较,以及与另一晶圆的一晶粒上对应位置区块的存储模型影像相比较。在本发明一较佳实施例中,直接比较小点值,并在缺陷检测程序中将差异控制在可接受的低范围内。另一较佳实施例中,根据测得的光强度值来计算每个区块的信号,并与其对应的信号相比较。
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公开(公告)号:CN105557082B
公开(公告)日:2018-09-11
申请号:CN201480050260.8
申请日:2014-09-11
申请人: 株式会社高永科技
IPC分类号: G01N21/956
CPC分类号: G01N21/8851 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N21/95684 , G01N2021/8896 , G01N2021/95638 , G01N2201/121 , G06T5/006 , G06T2207/20076 , G06T2207/30141
摘要: 本发明涉及基板检查时的补偿矩阵生成方法。所述方法包括:在基板上的测量区域(FOV)内,任意选择预先设置的N1(N1≥2)个特征客体的信息的步骤;以所述基板上的提取的特征客体的信息为基础,生成第一补偿矩阵的步骤;把所述测量区域内的所有特征客体应用于所述补偿矩阵,并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设置的基准值,从而对所述所有特征客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征客体的数量进行计数的步骤;把所述步骤反复执行N2次(N2≥1),在所述计数的特征客体的数量为最大的情况下,利用具有不足于所述预先设置的基准值的偏移值的特征客体的信息,生成第二补偿矩阵的步骤。
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公开(公告)号:CN108351308A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201680066245.1
申请日:2016-11-03
申请人: 普罗泰克纳赫伯斯特有限两合公司
CPC分类号: G01N21/8903 , G01N21/8851 , G01N2021/8896
摘要: 用于借助织物幅面(5)的经评估的图像数据尤其对于缺陷(F)而言监控连续的织物幅面(5)的监控装置(8)具有至少两个摄像元件(14,140),其垂直于织物幅面(5)的运输方向(T)可被并排地定位。其包括控制和评估单元(20,200)和至少一个串行通信链路(21,22),该串行通信链路连接至少一个摄像元件(14,140)与控制和评估单元(20,200)。每个摄像元件(14)具有用于采集原始数据(BI)的平面摄像元件(15)。监控装置(8)具有至少一个摄像模块(13,130,131),其包括至少一个带有至少两个摄像元件(14,140)的摄像组(G1,G2)和外壳(17)。摄像组(G1,G2)的摄像元件(14,140)被联接到串行通信链路(21,22)处。其构造用于将通过平面摄像元件(15)所采集的原始数据(BI)经由串行通信链路(21,22)传导至控制和评估单元(20,200)。控制和评估单元(20,200)构造用于图像数据由原始数据(BI)的产生且用于摄像组(G1,G2)的摄像元件(14,140)的图像数据的评估。
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