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公开(公告)号：CN103748654A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201280040633.4
申请日：2012-06-25
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 克里斯多夫·西尔斯 , 迈赫兰·纳赛尔-古德西 , 哈什亚·沙德曼
IPC: H01J37/143
CPC classification number: H01J37/143 , H01F7/0278 , H01J37/28 , H01J2237/1405 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明涉及一种用于带电粒子聚焦的永久磁性透镜阵列，其包含第一软磁性材料薄片，其中所述第一软磁性材料薄片包含布置成阵列图案的多个通气管锥体突出部，其中每一通气管锥体轴向对称且包含从所述第一软磁性材料薄片的第一表面通到软磁性材料的第二表面的开口及多个永久磁性元件，其中每一永久磁性元件轴向对称且与所述第一软磁性材料薄片的通气管锥体同心地布置，其中所述第一软磁性材料薄片的所述通气管锥体及所述多个永久磁性元件经配置以形成多个磁性透镜，其中每一磁性透镜具有磁场，所述磁场具有垂直于所述软磁性材料的所述第一表面定向的轴向分量。
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公开(公告)号：CN102103966B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201010528286.2
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/145
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN102067268A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123998.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J2237/0492 , H01J2237/103 , H01J2237/1405 , H01J2237/1501 , H01J2237/1523 , H01J2237/153 , H01J2237/21 , H01J2237/24528 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法，其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析，其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析，离子束接着通过减速器(242)被减速，且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供，其中形成磁场，用于截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。
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公开(公告)号：CN101512717A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200780033271.5
申请日：2007-10-09
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/14
CPC classification number: H01J37/145 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
Abstract: 在此公开了使用磁透镜层的电子柱。该电子柱包括使用永磁体聚集电子束的磁透镜层。所述磁透镜层包括支撑板、穿过支撑板形成的孔、以及沿孔排列并布置在支撑板上或插入支撑板中的永磁体。
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公开(公告)号：CN107017142A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201610958663.3
申请日：2016-10-28
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/07 , H01J37/141 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/14 , H01J37/141 , H01J37/3174 , H01J2237/002 , H01J2237/20285 , H01J2237/31774 , H01J37/07 , H01J37/3177 , H01J2237/1405
Abstract: 本发明的目的在于提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置、以及带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置。提供一种带电粒子束透镜装置，具备：透镜部，形成在使带电粒子束通过的贯通孔的周围，且使带电粒子束收束或扩散；及支撑部，包围透镜部的外周；透镜部的与支撑部相接的外周部分及支撑部的与透镜部相接的内周部分的至少一者具有用来使冷却用流体沿着透镜部的外周流动的槽部。由此，能够提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104217779B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201410469965.5
申请日：2014-09-15
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01J37/143 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J3/12 , H01J33/00 , H01J37/3178 , H01J2237/0835 , H01J2237/1405 , H01J2237/152
Abstract: 本发明提供一种电子束扩散截面修整装置及方法，具体为：包括两组永磁铁，第一组永磁铁构成的磁场将电子束扩散为近似椭圆形；第二组永磁铁构成的磁场对电子束团边缘进行修整形成近似矩形；通过操作四个纵向调位连接机构，使得第一组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动，对近似椭圆形的电子束进行首次纵向压缩，以及使得第二组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动，对近似矩形的电子束再次纵向压缩，直到电子束团纵向尺寸被压缩逼近至80mm。本发明对扩散后的电子束团纵向尺寸进行合理压缩，既保证辐照均匀度及辐照效率最优，又维持在现有描盒钛窗的限定范围内。
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公开(公告)号：CN104217779A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410469965.5
申请日：2014-09-15
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01J37/143 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J3/12 , H01J33/00 , H01J37/3178 , H01J2237/0835 , H01J2237/1405 , H01J2237/152
Abstract: 本发明提供一种电子束扩散截面修整装置及方法，具体为：包括两组永磁铁，第一组永磁铁构成的磁场将电子束扩散为近似椭圆形；第二组永磁铁构成的磁场对电子束团边缘进行修整形成近似矩形；通过操作四个纵向调位连接机构，使得第一组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动，对近似椭圆形的电子束进行首次纵向压缩，以及使得第二组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动，对近似矩形的电子束再次纵向压缩，直到电子束团纵向尺寸被压缩逼近至80mm。本发明对扩散后的电子束团纵向尺寸进行合理压缩，既保证辐照均匀度及辐照效率最优，又维持在现有描盒钛窗的限定范围内。
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公开(公告)号：CN104094373A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380008021.1
申请日：2013-02-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。
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公开(公告)号：CN102067268B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN200980123998.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J2237/0492 , H01J2237/103 , H01J2237/1405 , H01J2237/1501 , H01J2237/1523 , H01J2237/153 , H01J2237/21 , H01J2237/24528 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法，其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析，其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析，离子束接着通过减速器(242)被减速，且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供，其中形成磁场，用于截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。
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公开(公告)号：CN103038855A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201180037664.X
申请日：2011-10-25
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01J37/143 , H01J37/141 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC classification number: H01J3/24 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/20 , H01J37/143 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/1405
Abstract: 本发明提供了一种用于使用永久磁铁有效地绘制微细图案的装置。所述装置具有：外筒（201），其由以Z轴作为中心轴的圆筒形铁磁体构成；圆筒形永久磁铁（202），其位于所述外筒的内部并且沿Z轴方向磁化；校正线圈（204），其位于所述圆筒形永久磁铁的内部，并且与所述筒形永久磁铁有间隙，并且用于调整由所述筒形永久磁铁沿Z轴方向产生的磁场强度；以及冷却剂通路（203），其位于所述筒形永久磁铁与所述校正线圈之间的间隙中，用于允许冷却剂流过其中并且控制在所述筒形永久磁铁中的温度变化。
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