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公开(公告)号：CN108881746A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810298098.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
IPC: H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/3728
CPC classification number: H01J49/022 , G01B11/06 , G01N21/00 , H01J49/025 , H01L21/67242 , H01L27/148 , H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/357 , H04N5/372 , H04N5/378
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN106066206B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201610171306.2
申请日：2016-03-24
Applicant: 真实仪器公司
CPC classification number: H05B41/30 , G01J3/0205 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J2003/1278 , G01N21/84 , G01N2201/061 , G01N2201/0696
Abstract: 本发明涉及用于过程监测的高动态范围测量系统。提供了一种闪光灯控制系统，其具有静态电连接到高电压电源的电容器，接着电流感测部件电连接到静态电容器和数字控制电子器件以监测静态电容器的充电电流和/或放电电流。动态可开关的电容器也可以电连接到高电压电源和数字控制电子器件，用于基于所监测的充电电流和/或放电电流将动态可开关的电容器与高电压电源相隔离。一个或多个均质化元件，包括空气间隙、漫射均质化元件、成像元件、非成像元件或光管均质化元件，可以被布置在接近于闪光灯的光路中，例如多通道分配器如果存在的话，以在时间上或光谱上或者在这二者上降低光学信号的变化系数。
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公开(公告)号：CN102630337B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201080045397.6
申请日：2010-08-12
Applicant: 真实仪器公司
IPC: H01L21/306 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32944 , H01J37/32082 , H01J37/32091 , H01J37/32935 , H01J37/32972 , H01L21/3065 , H01L22/14
Abstract: 一种监测等离子体处理的至少一个工艺参数的方法，该方法在半导体晶圆、表面或基底上进行，且确定等离子体工具室内发生的电弧事件。该方法包括以下步骤：检测等离子体处理期间从等离子体鞘层产生的调制光、从RF传输线采样RF电压信号和RF电流信号、处理检测到的调制光信号和RF信号以产生等离子体处理的至少一个监测统计值、以及处理监测信号以确定晶圆处理期间发生的电弧作用事件。
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公开(公告)号：CN101689222B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200880015308.6
申请日：2008-05-06
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 麦克·威伦 , 安德鲁·威克斯·昆尼 , 凯尼斯·C·哈飞 , 约翰·道格拉斯·柯莱斯
CPC classification number: G01J3/443 , G01J3/28 , G01J2003/2866
Abstract: 本发明涉及一种在故障检验和过程监测中使用的光谱设备辐射校准系统和方法。首先，将参考摄谱仪校准到本地基本标准(具有已知光谱强度和可追溯到参考标准的经校准的光源)。然后根据参考摄谱仪而非本地基本校准标准来校准其它摄谱仪。这通过用参考摄谱仪和待校准的摄谱仪两者观察光源来完成。来自待校准的摄谱仪的输出与参考摄谱仪的输出相比较，然后进行调整以与该输出一致。当前的校准过程能分两个阶段完成，第一阶段将摄谱仪校准到参考摄谱仪，然后在等离子腔室微调到窄带光源。作为替代，参考摄谱仪能校准到本地基本标准而光学耦合到等离子腔室。在此，本地基本标准校准光源临时定位在等离子腔室内、或者在沿着腔室内部布置的光腔室中，用于校准参考摄谱仪。当耦合到具有本地基本标准校准光源的等离子腔室时，其它摄谱仪能校准到参考摄谱仪，从而将整个光学路径中的每个组件校准到参考光源。
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公开(公告)号：CN102203898A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200980136544.8
申请日：2009-07-16
Applicant: 真实仪器公司 , 德克萨斯大学达拉斯分校
Inventor： 吉米·W·霍斯克 , 马苏·J·郭克勒 , 麦克·威伦 , 安德鲁·威克斯·库尼 , 肯尼斯·C·赫文 , P.L.·司德文·瑟班
Abstract: 本发明涉及气体线路电子流激励器。所述电子束激励器通常包括用于在电子源腔中生成电子云的可变密度电子源，和用于将来自电子源腔的电子作为电子束加速成用于发射荧光的气体样本的可变能量电子激励器。电子束的电子能量是可通过调节越过可变能量电子抽取器可变控制的。所述变能量电子抽取器通过腔上的孔朝着该抽取器给电子供能。施加到电子源上的激励功率可独立于电子束的电子能量调节从而改变电子的电子密度而不改变电子束的电子的能级。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101128718B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200680006135.2
申请日：2006-02-21
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 亚恩·安娜斯·艾耶·艾耶 , 马克·A·麦勒尼 , 肯尼斯·C·哈维 , 安德鲁·威克斯·库尼
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B11/0641
Abstract: 一种用于根据外差光学信号获取相移信息的外差式反射计系统和方法，根据这些信号可以计算薄膜的深度。具有两个彼此正交、具有分离光学频率线性极化分量的线性极化光定向朝向薄膜，促使其中一个光学极化分量滞后于另一个分量，因为该分量在薄膜中的光学路径的增加。一对探测器分别接收从薄膜层反射的波束并且产生测量信号、以及入射到薄膜层之前的波束并且产生参考信号。测量信号和参考信号由鉴相器分析以获得相移。然后探测的相移供给厚度计算器以获得薄膜厚度结果。可以在外差式反射计系统中结合光栅干涉计，其中的光栅将反射的波束衍射到零阶和一阶带。
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公开(公告)号：CN101681802A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880016054.X
申请日：2008-04-29
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 凯尼斯·C·哈飞
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01J37/32477 , H01J37/3244 , H01J37/32449
Abstract: 本发明提供了多通道阵列结构和一种机制，用于在多通道阵列中建立粘滞流来阻止导致窗口模糊的微粒流入。提供反应腔室用于将反应压力限制在反应容积中，沿着该腔室具有视口窗口用于查看至少部分反应容积。在反应腔室中设置有进入口，连接至反应容积，用于在反应容积中接收反应气体，而排出口设置在反应腔室中，连接至反应容积用于从反应容积提取出气体流。多通道阵列(MCA)设置在视口窗口和反应腔室的反应容积之间。MCA具有多个通道，每个通道具有直径和长度。窗口腔室限制在视口窗口和MCA之间，具有腔室窗口开口用于接收气体进入腔室容积。在MCA的通道的窗口侧形成粘滞流阻止微粒进入窗口腔室和附着在窗口上。通过腔室窗口开口提高窗口腔室的压力来建立粘滞流，其中窗口腔室压力超出了反应压力，但不足以充分地提高反应容积的气体流动的速率。粘滞流速率实际上低于反应气体流入反应容积的速率。
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公开(公告)号：CN101128718A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200680006135.2
申请日：2006-02-21
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 亚恩·安娜斯·艾耶·艾耶 , 马克·A·麦勒尼 , 肯尼斯·C·哈维 , 安德鲁·威克斯·库尼
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B11/0641
Abstract: 一种用于根据外差光学信号获取相移信息的外差式反射计系统和方法，根据这些信号可以计算薄膜的深度。具有两个彼此正交、具有分离光学频率线性极化分量的线性极化光定向朝向薄膜，促使其中一个光学极化分量滞后于另一个分量，因为该分量在薄膜中的光学路径的增加。一对探测器分别接收从薄膜层反射的波束并且产生测量信号、以及入射到薄膜层之前的波束并且产生参考信号。测量信号和参考信号由鉴相器分析以获得相移。然后探测的相移供给厚度计算器以获得薄膜厚度结果。可以在外差式反射计系统中结合光栅干涉计，其中的光栅将反射的波束衍射到零阶和一阶带。
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公开(公告)号：CN113218935B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202110490515.4
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN113218935A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110490515.4
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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