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公开(公告)号：CN113193324A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110067295.4
申请日：2021-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供定向耦合器、处理基片的装置和处理基片的方法，能够使作为副线路的耦合线路与作为定向耦合器的主线路的中心导体疏耦合，并且得到良好的定向特性。在定向耦合器中，中空同轴线路包括构成主线路的中心导体和以包围中心导体的周围的方式设置的形成有开口部的外部导体，电介质基片以覆盖开口部的方式设置，并设置有接地的膜状的接地导体，该接地导体分别覆盖隔着上述开口部与上述中心导体相对的背面侧和与上述背面侧相反的正面侧。耦合线路是设置于由上述背面侧的上述接地导体包围的区域内设置的副线路。并且，在正面侧的上述接地导体，设置有将隔着上述电介质基片与上述耦合线路相对的区域内的导体膜的一部分去除而得的导体去除部。
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公开(公告)号：CN108766881A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810331134.X
申请日：2018-04-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065 , G01R31/26
CPC classification number: H01L22/26 , C23C16/45542 , C23C16/511 , C23C16/52 , G01J3/443 , H01J37/32972 , H01L21/02274 , H01L21/3065 , G01R31/26
Abstract: 本发明的等离子体处理装置和控制方法的目的在于，监视等离子体生成空间中的多个区域各自的等离子体点火的状态。提供一种等离子体处理装置，具有将从微波输出部输出的微波向处理容器的内部辐射的微波辐射机构，其中，所述微波辐射机构具有：天线，其用于辐射微波；电介质构件，其使从所述天线辐射的微波透过，且形成用于通过该微波来生成表面波等离子体的电场；传感器，其设置于所述微波辐射机构或者该微波辐射机构的附近，且监视生成的等离子体的电子温度；以及控制部，其基于由所述传感器监视到的等离子体的电子温度，来判定等离子体点火的状态。
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公开(公告)号：CN103227089B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201310039655.5
申请日：2013-01-31
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32027 , H01J37/32192 , H01J37/32293 , H01L21/3065 , H05H2001/4615
Abstract: 本发明提供一种即便在微波的投入电力低的情况下、压力高的情况下也能够确保所期望的表面波等离子体的直径的微波放射机构和表面波等离子体处理装置。微波放射机构（43）包括：传送微波的传送路径（44）；将从微波传送路径（44）传送来的微波经由缝隙（81a）放射到腔室（1）内的天线（81）；使从天线（81）放射的微波透过，在其表面形成表面波的电介质部件（110b）；和对由表面波生成表面波等离子体的等离子体生成区域施加正的直流电压的直流电压施加部件（112），直流电压施加部件（112）对上述等离子体生成区域施加正的直流电压，使得表面波等离子体扩散。
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公开(公告)号：CN102474974B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201180002577.0
申请日：2011-01-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H05H1/46 , C23C16/511 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H01P5/08
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32192 , H01J37/32211 , H01J37/3222 , H01J37/32229 , H01J37/32293 , H01J37/32311 , H01Q15/0006 , H05H2001/4622 , H05H2001/463
Abstract: 本发明的电磁波供电机构具备：微波电力导入端口(55)，其被设置于同轴构造的波导(44)的侧部，连接有作为供电线的同轴线路(56)；和供电天线(90)，其与同轴线路(56)连接，向波导(44)的内部辐射电磁波电力。供电天线(90)具有：天线本体(91)，该天线本体(91)具有与同轴线路(56)连接的第1极(92)和与波导(44)的内侧导体(53)接触的第2极(93)；和形成为环状的反射部(94)，该反射部(94)从所述天线本体(91)的两侧延伸。
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公开(公告)号：CN101529710B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200780039874.6
申请日：2007-10-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H02M3/3376 , H02M1/38
Abstract: 本发明提供一种电源装置，其特征在于，包括：交流/直流变换部，将交流电压变换为直流电压；开关电路，具有多个开关元件，在直流电压被输入时上述各开关元件产生导通、断开循环，根据所述各开关元件的导通、断开的组合输出脉冲状电压；和控制部，进行移相型PWM控制，所述移相型PWM控制通过使上述各开关元件的导通、断开循环的相位变化来控制从上述开关电路输出的脉冲状电压的脉冲宽度，其中，上述控制部使得在上述开关元件的导通、断开循环中插入上述多个开关元件全部断开的定时。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101788638A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN201010104207.5
申请日：2006-08-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H05B6/666 , H01J37/32192 , H01J37/32201 , H05B6/806 , H05B2206/043
Abstract: 本发明以提高磁控管的寿命为目的，提供一种磁控管的寿命判定方法。本发明的微波发生装置，具备：具备包括灯丝(78)的阴极(80)和包括空腔谐振器(84)的阳极(82)的磁控管(74)；灯丝的电流测定部(100)；求出在灯丝上施加的电压的电压测定部(102)。基于电流测定部(100)和电压测定部(102)求出的电流和电压，在电阻值计算部(104)求出灯丝的电阻值。基于电阻-温度相关特性，在温度计算部(106)根据所述电阻值求出灯丝的温度。电源控制部(110)控制灯丝电源(98)，使得灯丝温度维持在规定的温度范围内。并且，逐渐降低在灯丝上施加的电压，求出发生模变现象时向灯丝施加的电压作为模变电压，基于该模变电压进行磁控管的寿命的判定。
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公开(公告)号：CN101529710A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200780039874.6
申请日：2007-10-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H02M3/3376 , H02M1/38
Abstract: 本发明提供一种电源装置，其特征在于，包括：交流/直流变换部，将交流电压变换为直流电压；开关电路，具有多个开关元件，在直流电压被输入时上述各开关元件产生导通、断开循环，根据所述各开关元件的导通、断开的组合输出脉冲状电压；和控制部，进行移相型PWM控制，所述移相型PWM控制通过使上述各开关元件的导通、断开循环的相位变化来控制从上述开关电路输出的脉冲状电压的脉冲宽度，其中，上述控制部使得在上述开关元件的导通、断开循环中插入上述多个开关元件全部断开的定时。
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公开(公告)号：CN1692476A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200380100574.6
申请日：2003-10-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/3222 , H01J37/32192
Abstract: 本发明的等离子体处理装置具有：容纳被处理基板的腔室；向所述腔室内提供处理气体的气体供给装置；微波导入装置，向所述腔室内导入等离子体生成用的微波。所述微波导入装置具有：输出多个规定输出的微波的微波振荡器；天线部，具有分别传送从所述微波振荡器输出的多个微波的多个天线。
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公开(公告)号：CN113193324B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202110067295.4
申请日：2021-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供定向耦合器、处理基片的装置和处理基片的方法，能够使作为副线路的耦合线路与作为定向耦合器的主线路的中心导体疏耦合，并且得到良好的定向特性。在定向耦合器中，中空同轴线路包括构成主线路的中心导体和以包围中心导体的周围的方式设置的形成有开口部的外部导体，电介质基片以覆盖开口部的方式设置，并设置有接地的膜状的接地导体，该接地导体分别覆盖隔着上述开口部与上述中心导体相对的背面侧和与上述背面侧相反的正面侧。耦合线路是设置于由上述背面侧的上述接地导体包围的区域内设置的副线路。并且，在正面侧的上述接地导体，设置有将隔着上述电介质基片与上述耦合线路相对的区域内的导体膜的一部分去除而得的导体去除部。
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公开(公告)号：CN109427523B
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN201811030301.3
申请日：2018-09-05
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/244 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种等离子体探测装置，其包括：天线部，其隔着将真空空间与大气空间之间密封的密封部件安装于开口部中，其中，上述开口部形成在处理容器的壁部或载置台；与上述天线部连接的电极；和由电介质形成的对上述天线部从周围进行支承的电介质支承部，上述天线部与上述壁部或上述载置台的相对面以规定的距离隔开间隔，上述天线部的从上述开口部露出的面，与形成有该开口部的上述壁部或上述载置台的等离子体生成空间侧的面相比凹入到内侧。由此，能够提供避免气体侵入的等离子体探测装置。
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