多晶硅硅芯的夹持组件及多晶硅还原炉

    公开(公告)号:CN220223609U

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202322338196.2

    申请日:2023-08-29

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本实用新型提供一种多晶硅硅芯的夹持组件及多晶硅还原炉,其中夹持组件包括:石墨座,呈圆柱状,石墨座的周侧壁具有第一螺纹;石墨卡瓣,两个石墨卡瓣均设于石墨座的上端面上,两个石墨卡瓣的形心在上端面的正投影点与上端面的圆心点构成第一夹角,第一夹角的角度值为180°;两个石墨卡瓣在上端面的正投影均呈角弧度为60°的扇形;石墨盖具有第一腔室,石墨盖还具有第一开口及第二开口;石墨卡瓣自第二开口伸入第一腔室中且自第一开口部分伸出至第一腔室外;第一腔室的内侧壁具有第二螺纹。本实用新型能够实现有效避免倒炉危害,确保高多晶硅生产效率,确保硅芯在多晶硅生产的高压电击穿过程中升温均匀,提高多晶硅生产效率。

    一种三氯氢硅汽化器
    23.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218095875U

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202221714515.4

    申请日:2022-06-29

    摘要: 本实用新型提供一种三氯氢硅汽化器,包括:壳体、换热管;所述换热管的至少部分设置在所述壳体的内部,所述换热管的一端设置有饱和蒸汽入口,所述换热管的另一端设置有凝液出口;所述壳体的外壁设置有三氯氢硅液体入口,且所述三氯氢硅液体入口与所述壳体内部连通;所述壳体的外壁设置有三氯氢硅气体出口,且所述三氯氢硅气体出口与所述壳体内部连通;所述壳体的底部设置有高沸物排放口,且所述高沸物排放口与所述壳体内部连通。本实用新型通过对三氯氢硅汽化器的结构优化,解决了高沸物在三氯氢硅汽化器内富集的问题,并且增加了三氯氢硅汽化器运行过程的稳定性和安全性,达到了提升多晶硅质量和稳定生产系统的目的。

    一种沸腾氯化炉
    24.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208594032U

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201821149610.8

    申请日:2018-07-19

    IPC分类号: C01G25/04

    摘要: 本实用新型提供一种沸腾氯化炉,其包括炉体,所述炉体内划分有反应段,所述反应段内设置有上下两端开口的石墨筒,所述石墨筒由多片石墨单元拼接而成。本实用新型所述沸腾氯化炉利用石墨拼接技术,将多片石墨单元拼接成一个石墨筒整体,使得反应段内的石墨筒的尺寸不再受现有石墨加工工艺技术的约束和限制,扩大了石墨筒的直径,有效地提高了单套沸腾氯化炉的产能。

    一种硅片母合金的生产装置

    公开(公告)号:CN203781854U

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201420126730.1

    申请日:2014-03-19

    IPC分类号: C01B33/03

    摘要: 本实用新型公开了一种硅片母合金的生产装置,包括:氯硅烷原料配料罐、氢气原料配料罐、金属杂质吸附柱、母合金掺杂剂储罐、反应炉,母合金掺杂剂储罐与氯硅烷原料配料罐的入口或氢气原料配料罐的入口连接,氯硅烷原料配料罐的出口与金属杂质吸附柱的入口连接,金属杂质吸附柱的出口与反应炉的入口连接,氢气原料配料罐的出口与反应炉的入口连接。该装置通过金属杂质吸附柱有效去除了制备过程中的金属杂质,使用本装置进行制备的过程就是在现有技术中的由氯硅烷通过还原反应制备多晶硅的生产过程中的反应原料氯硅烷中加入掺杂相应的第IIIA族元素的三氯化物、第IIIA族元素的氢化物、第VA族元素的三氯化物、第VA族元素氢化物中的一种。

    一种硅芯组合单元和多晶硅还原炉

    公开(公告)号:CN220537502U

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202322210409.3

    申请日:2023-08-15

    IPC分类号: C01B33/035 C01B33/03

    摘要: 本实用新型公开一种硅芯组合单元和多晶硅还原炉,该硅芯组合单元包括:硅芯、横梁和一对电极座。电极座包括第一电极座和第二电极座,第一电极座和第二电极座间隔设置。横梁位于电极座的上方,其两端分别设有与第一电极座对应的第一端部和与第二电极座对应的第二端部。硅芯包括多根第一硅芯和多根第二硅芯,第一硅芯和第二硅芯均沿竖直方向延伸。多根第一硅芯的侧壁贴合在一起,其上端均与第一端部连接,下端均与第一电极座连接,多根第二硅芯的侧壁贴合在一起,其均上端与第二端部连接,下端均与第二电极座连接。该硅芯组合单元具有较大的接触表面积,能够提高多晶硅的沉积效率。

    一种电极绝缘组件及多晶硅还原炉

    公开(公告)号:CN219098752U

    公开(公告)日:2023-05-30

    申请号:CN202222546301.7

    申请日:2022-09-26

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本实用新型公开一种电极绝缘组件以及包括该电极绝缘组件的多晶硅还原炉,所述电极绝缘组件包括四氟套、内绝缘磁环、外绝缘磁环,电极采用铜电极,所述铜电极设于还原炉底盘的贯穿孔内,所述四氟套套设在所述铜电极上,所述内绝缘磁环套设在所述铜电极上且延伸至所述四氟套上,其与还原炉底盘的上表面以及四氟套紧密接触,所述外绝缘磁环套设在所述铜电极上,并处于内绝缘磁环的外部,且位于还原炉底盘的上表面上,所述四氟套与所述内绝缘磁环的接触位置上设有环形密封单元,所述环形密封单元设置在所述四氟套的外壁上。所述电极绝缘组件能够有效提高其绝缘性,以避免四氟套被电流击穿。

    一种除尘装置
    29.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220992135U

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202322685121.1

    申请日:2023-10-07

    IPC分类号: B08B5/02 B08B15/04

    摘要: 本实用新型公开一种除尘装置,所述除尘装置包括吹扫侧板、吸尘侧板、手柄,吹扫侧板和所述吸尘侧板通过连接板与手柄连接,吹扫侧板和吸尘侧板相对设置,且两者分别设置在所述连接板的一侧,手柄在连接板的另一侧,手柄上设有第一快速接头和第二快速接头,第一快速接头用于与储气罐连通,第二快速接头与吸尘器连通,手柄内部设有第一通道和第二通道,连接板内部设有第三通道和第四通道,所述第一、第三通道连通第一快速接头和吹扫侧板,所述第二、第四通道连通第二快速接头和吸尘侧板,除尘装置工作时,硅棒置于吹扫侧板和吸尘侧板之间,吹扫气体对硅棒表面进行吹扫,吸尘器对吹扫出的灰尘进行收集。该装置能有效去除并收集多晶硅棒表面的灰尘。

    一种还原炉热能回收系统及物料生产系统

    公开(公告)号:CN216845683U

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202120982889.3

    申请日:2021-05-08

    IPC分类号: F27D1/12 F27D17/00 F22B3/04

    摘要: 本实用新型提供一种还原炉热能回收系统及物料生产系统,包括:第一闪蒸罐和第二闪蒸罐,第一闪蒸罐用于对第一闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第一蒸汽和第一冷却液,第一冷却液对还原炉进行冷却,再进入第一闪蒸罐中形成第一闪蒸液;第二闪蒸罐用于对第二闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第二蒸汽和第二冷却液,第二冷却液以对还原炉尾气进行冷却,再进入第二闪蒸罐中形成第二闪蒸液;第二冷却液的温度高于第一冷却液,第二蒸汽的压力大于第一蒸汽。本实用新型通过对还原工序热能进行梯级回收,以供生产系统中不同热量需求的用热设备使用,从而使还原工序热量尽可能多地被回收利用,且还降低了还原尾气温度,以降低尾气回收工序的冷却循环量。