保护带剥离方法和保护带剥离装置

    公开(公告)号:CN103681435A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310385413.1

    申请日:2013-08-29

    Inventor: 木内一之

    Abstract: 本发明提供保护带剥离方法和保护带剥离装置。在将带保护带的晶圆分割成芯片后,对借助粘合带保持于环形框的该芯片进行加热,从而使芯片形状的保护带沿同一轴向卷成筒状,而该保护带的局部自芯片剥离。使剥离用环形框与环形框叠合,利用粘贴辊按压剥离带,并且将该剥离带粘贴到剥离用环形框和芯片分布区域。使剥离用环形框和环形框相对地升降,使保护带与该剥离带一体地自芯片剥离去除。然后,将剥离带连同保护带一起自剥离用环形框剥离去除。

    自发卷绕性粘合薄膜
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103289585A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201310060368.2

    申请日:2013-02-26

    Abstract: 本发明提供一种自发卷绕性粘合薄膜。自发卷绕而剥离时,卷绕端部的粘合剂层与易剥离性粘合片的非粘合剂层侧的面即自身背面接触、挂上时,无法减小卷绕直径。这样一来,由于剥离角度变小因而变得难以将剥离应力最小化,导致残胶增加。进而,由于向筒状的卷绕在途中停止等,因而卷绕形状变得不稳定,顺利的向筒状形状的变形和随后的易剥离性粘合片的回收变得困难,而且由于局部的应力集中,使被粘物破损的可能性变高。形成一种自发卷绕性粘合薄膜,其是由至少具有一层热收缩薄膜的层叠体形成的基材薄膜、和在该基材薄膜的非热收缩薄膜侧的面上层叠粘合剂层而成的,该基材薄膜的该热收缩薄膜侧的面与该粘合剂层的剪切应力为240g/mm2以下。

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