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公开(公告)号：CN105158870A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510658500.9
申请日：2015-10-12
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种可调焦的高功率聚焦透镜，它涉及一种聚焦透镜，以解决现有高功率激光的大口径聚焦透镜不能精确移动，无法实现精确聚焦及多束高能激光聚焦到空间某一微小截面内存在困难的问题，它包括透镜屏蔽片组件、透镜替换单元组件、X向位置调整组件、Y向位置调整组件和Z向位置调整组件；透镜屏蔽片组件安装在透镜替换单元组件上，透镜替换单元组件安装在X向位置调整组件上，所述X向位置调整组件用于驱动透镜驱动组件在X方向上移动，X向位置调整组件安装在Y向位置调整组件上，Y向位置调整组件用于驱动X向位置调整组件在Y方向移动，Y向位置调整组件安装在Z向位置调整组件上。本发明用于聚焦透镜调焦。
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公开(公告)号：CN102156340B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201110080207.0
申请日：2011-03-31
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 拼接光栅的高精密位姿调整装置，它涉及一种光栅组高精密位姿调整装置。以解决高精度光栅姿态调整装置无法实现多自由度光栅精密调整问题。俯仰调整单元由俯仰调整微驱动器驱动，带动俯仰调整右导轨滑块在相应的导轨上滑动，实现方向光栅独立调整；偏摆调整单元由偏摆调整微驱动器驱动，带动偏摆调整框架及前、后侧偏摆导轨滑块在相应的导轨上滑动，实现方向光栅独立调整；面内调整单元由面内调整微驱动器驱动，带动面内调整前、后侧导轨滑块在相应的导轨上滑动，实现光栅独立调整；直线调整单元由直线调整微驱动器驱动，带动带动直线调整框架及左、右直线导轨滑块在相应的导轨上滑动，实现方向光栅独立调整。本发明用于拼接后光栅组高精度位姿调整。
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公开(公告)号：CN111644427A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010538177.2
申请日：2020-06-12
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种常压等离子体清洗系统，属于常压等离子体清洗技术领域，具体方案如下：一种常压等离子体清洗系统，包括工作台、固定架、等离子体喷枪、等离子体发生器、移动机构和夹具体，所述固定架设置在工作台上，所述等离子体喷枪安装在固定架上，所述等离子体喷枪通过气管Ⅰ与等离子体发生器连接，所述等离子体发生器通过气管Ⅱ与气源相连，所述移动机构设置在工作台上，所述夹具体安装在移动机构上，所述夹具体位于等离子体喷枪的下方。本发明所设计的等离子体清洗系统简单可靠，灵活度大，速度调节范围广，负载能力强，运动控制简单，能够对各种金属零部件进行清洗，是一款环保经济、高效易操作的常压等离子体清洗系统。
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公开(公告)号：CN110094899A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910436613.2
申请日：2019-05-23
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种用于材料低温表面特性研究的温控装置，所述温控装置由半导体制冷系统、冷循环系统和制冷片控制系统组成，其中：所述半导体制冷系统分为两级，由第一级半导体制冷系统和第二级半导体制冷系统组成；所述冷循环系统由第一级冷循环系统和第二级冷循环系统组成；所述制冷片控制系统由温度传感器和主板构成。本发明的装置具有体积小、功率小、成本低的优点，因而具有实现较为简单的好处，仅仅需要电源即可以方便地创造低温环境，可以为没有环境可控原子力显微镜的实验室提供低温条件。
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公开(公告)号：CN107058972B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201710249791.5
申请日：2017-04-17
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 热真空环境下应用的微刀具涂层三维精密位移工作台，属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。黄铜台、隔热板及升降台通过陶瓷螺钉连接，黄铜台的安装孔内套装有石墨套，微刀具安装在石墨套内，热电偶与黄铜台、隔热板及热电偶固定台紧固连接，黄铜台、隔热板与热电偶固定台三者连接；剪形升降机构的上端与升降台固接，下端与微调块固接；双旋向螺杆与剪形升降机构的连接柱的径向螺纹通孔连接，微调块设置在工作台底座上，工作台底座上位于微调块的四个侧面处对称设置有四个微调螺钉安装块，每个微调螺钉安装块的细牙螺纹孔内螺纹连接有细牙螺钉，四个细牙螺钉端部顶靠在微调块的侧面上。本发明用于热真空环境下制备微刀具化学气相沉积金刚石涂层。
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公开(公告)号：CN106932173B
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201710222479.7
申请日：2017-04-06
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M11/00
摘要： 本发明公开了一种高精度大口径光栅五自由度拼接精度的测量方法，所述方法步骤如下：一、光栅三维转动精度的测量：将测试光束入射至待拼接光栅的拼缝处，根据拼接光栅产生的零级反射光和一级衍射光获得待拼接光栅的三维转动拼接精度：俯仰角θx、偏转角θy、旋转角度θz；二、光栅二维平动精度的测量：将俯仰角θx、偏转角θy以及旋转角度θz调整至合格范围，将测试光束入射至待拼接光栅的拼缝处，根据拼接光栅产生的零级反射光的远场焦斑能量比值测量光栅的二维平动精度。本发明具有测量精度高、各自由度间耦合度弱、操作简便、能够有效地提高光栅的拼接效率和拼接精度等优点，可用于拼接光栅的空间五自由度拼接精度测量。
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公开(公告)号：CN106498367B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201610920789.1
申请日：2016-10-21
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/27
摘要： 一种用于化学气相沉积金刚石薄膜的紧凑型真空反应装置。属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。为了解决真空条件下CVD金刚石薄膜在微刀具上的沉积问题。壳体上下端分别与上盖和底座可拆卸密封连接构成反应室，真空计固定在上盖上，真空计的检测端紧密穿入上盖设置在壳体内，上盖上固定有与壳体内腔相通的管路，针阀固定在上盖的管路上，针阀与管路相通，上盖的观察孔一处固定有观察窗一，上盖上设有多个冷水环槽，壳体的侧壁上的两个观察孔二处各固定有一个观察窗二，电磁阀固定在底座的进气孔处，导气管一端连接于进气箱，另一端与反应室相通，导气管上安装有导气阀门，载物台设置在反应室内并固定在底座上。本发明主要用于对沉积件微刀具表面金刚石薄膜沉积。
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公开(公告)号：CN105511040B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201510410088.9
申请日：2015-07-13
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种用于大口径光学元件拆装的对接装置，包括拆装箱，所述拆装箱的上下两端均设有盖板，该盖板内壁上设有拆装导轨，所述拆装箱上下两端的盖板外壁上对称地设有对接机构；所述对接机构包括固定在盖板外壁上的滑道、可滑动地安装在所述滑道内的定位桥、以及位于定位桥与盖板外壁之间的搭接导轨；所述滑道靠近拆装箱敞口一端设有开口，所述搭接导轨与同侧的盖板之间留有间隙，当推动定位桥伸出开口时，所述搭接导轨能够在摩擦力作用下沿开口伸出拆装箱。本发明能够确保复杂光学系统中大口径光学元件的安全可靠的拆装，具有结构简单紧凑，调节方便，可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN105093466B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201510639641.6
申请日：2015-09-30
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 大口径光学元件的悬挂式在线拆装装置及拆装方法，它涉及一种在线拆装装置及拆装方法。本发明解决了现有的大口径光学元件的悬挂式在线拆装方法存在拆装维护时间长、装置运行效率低的问题。支撑架侧板、法兰面接口板和支撑架顶板两两相互垂直固装形成支撑架体，支撑架侧板和法兰面接口板均竖直设置，第一微调机构和第二微调机构上下对应设置在支撑架侧板上，第三微调机构固装在支撑架顶板的上端面上，第一起吊装置固装在支撑架顶板的上端面上，第二起吊装置固装在支撑架侧板的下部，且第二微调机构与第二起吊装置位于支撑架侧板的同侧。本发明用于大口径光学元件的悬挂式在线拆装。
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公开(公告)号：CN106067327A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610352556.6
申请日：2016-05-25
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G12B5/00
CPC分类号： G12B5/00
摘要： 大口径光栅超短行程纳米级精度解耦拼接的机械装置，目的是为解决大口径光栅拼接无法实现纳米级精度多自由度解耦调整的问题。多自由度的调整由三个运动平台实现，柔性支柱与两个压电陶瓷驱动器一连接着第一、二平台，两个压电陶瓷驱动器一的伸缩各控制着第一平台的X、Y方向的转动；第二平台通过两个弹性片簧和两个压电陶瓷驱动器二与第三平台连接，第二平台内悬浮于第三平台内，两个压电陶瓷驱动器二可以调节X方向平动和Z方向转动；第三平台与大理石底座之间有一个压电陶瓷驱动器三负责Y方向平动。本发明能实现光栅在‑0.05～+0.05mm超短行程范围内的精密调整，并能实现光栅10纳米的平动拼接精度。本发明用于大口径光栅拼接的高精度多自由度解耦调整。
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