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公开(公告)号：CN101681628B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN200880012241.0
申请日：2008-04-14
申请人： 大日本印刷株式会社
CPC分类号： G11B5/4833 , C23F1/00 , C23F1/02 , C23F1/18 , C23F1/28 , G11B5/3103 , G11B5/3133 , G11B5/484 , G11B5/486 , H05K1/056 , H05K3/28 , H05K3/285 , Y10T428/11 , Y10T428/1157 , Y10T428/1179
摘要： 悬浮臂用基板(10)具备金属基板(1)、在金属基板(1)上形成的绝缘层(2)、在绝缘层(2)上形成的布线层(3)、和覆盖布线层(3)的覆盖层(4)。绝缘层(2)的材料和覆盖层(4)的材料由不同材料构成，两者的吸湿膨胀系数在3×10-6/％RH～30×10-6/％RH的范围内，两者的吸湿膨胀系数之差在5×10-6/％RH以下的范围内。
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公开(公告)号：CN102290054A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110164600.8
申请日：2008-04-14
申请人： 大日本印刷株式会社
CPC分类号： G11B5/4833 , C23F1/00 , C23F1/02 , C23F1/18 , C23F1/28 , G11B5/3103 , G11B5/3133 , G11B5/484 , G11B5/486 , H05K1/056 , H05K3/28 , H05K3/285 , Y10T428/11 , Y10T428/1157 , Y10T428/1179
摘要： 悬浮臂用基板(10)具备金属基板(1)、在金属基板(1)上形成的绝缘层(2)、在绝缘层(2)上形成的布线层(3)、和覆盖布线层(3)的覆盖层(4)。绝缘层(2)的材料和覆盖层(4)的材料由不同材料构成，两者的吸湿膨胀系数在3×10-6/％RH～30×10-6/％RH的范围内，两者的吸湿膨胀系数之差在5×10-6/％RH以下的范围内。
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公开(公告)号：CN102234810A
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201010151259.8
申请日：2010-04-20
申请人： 深圳富泰宏精密工业有限公司
IPC分类号： C23G1/08
摘要： 本发明提供一种不锈钢蚀刻后的清洗剂及其使用方法。该清洗剂中含有：选自浓度为200-600g/L的无机酸、无机酸的碱金属盐、及无机酸的碱土金属盐中的一种或几种、浓度为26-275g/L的与铁或亚铁离子有络合作用的络合剂、选自浓度为75-250g/L的有机羧酸、有机羧酸盐中的一种或两种的组合。该不锈钢蚀刻后的清洗剂的使用方法包括将一经含铁的盐酸溶液蚀刻处理后的待清洗工件浸渍于该清洗剂中的步骤。
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公开(公告)号：CN101413127B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200710153750.2
申请日：2003-09-09
申请人： 株式会社开滋
发明人： 菅谷哲一
CPC分类号： C23C22/08 , C23F1/00 , E03B7/006 , Y10T428/12771 , Y10T428/12903 , Y10T428/1291
摘要： 本发明提供一种防止从包括阀门和管接头的由铜合金制造的管路器件上洗脱铅和镍的方法，包括在能够有效地除去铅和镍中的一种或两种的温度和时间条件下，用在其中加入了硝酸和作为抑制剂的盐酸的清洗流体洗涤含有铅和镍中的一种或两种的铜合金制造的管路器件的至少接触液体部分，借此对该接触液体部分的表面进行脱铅处理和除镍处理中的至少一项处理，使盐酸在该接触液体部分的表面上形成涂膜，以在此涂层存在下，有效地防止从该接触液体部分上洗脱铅和镍中的一种或两种。
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公开(公告)号：CN101023508B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200580027935.8
申请日：2005-06-17
申请人： 点35微结构有限公司
CPC分类号： H01L21/67069 , B01D7/00 , C23F1/00 , C23F1/12 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01L21/67017
摘要： 一种提供用于蚀刻位于处理室内的一个或多个微结构的蚀刻气体源的设备和方法。该设备具有连接到气体源的气体源供应线和用于容纳蚀刻材料的一个或多个室。在应用中，在一个或多个室内将蚀刻材料转换为蚀刻材料蒸气，并且气体供应线向蚀刻材料蒸气提供载气的供应并还将由载气传送的蚀刻材料蒸气提供给处理室。有利的是，本发明的设备不需要为了获得连续的蚀刻气体流而包括任何膨胀室或其它复杂的机械部件。
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公开(公告)号：CN100595894C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200680040225.3
申请日：2006-10-27
申请人： 关东化学株式会社
发明人： 高桥秀树
IPC分类号： H01L21/306 , C23F1/40
CPC分类号： C23F1/40 , C09K13/00 , C23F1/00 , H01L21/32134
摘要： 本发明的蚀刻液是对钯和金共存的材料进行蚀刻的碘系蚀刻液，其含有选自含氮五元环化合物、醇化合物、酰胺化合物、酮化合物、硫氰酸化合物、胺化合物和酰亚胺化合物中的至少一种添加剂，对钯和金的蚀刻速率之比(对钯的蚀刻速率/对金的蚀刻速率)为1以上。
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公开(公告)号：CN101443932A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200780011688.1
申请日：2007-03-29
申请人： 促进科学E.V.麦克斯-普朗克公司
IPC分类号： H01M4/02 , H01M8/10 , B22F9/24 , C01G55/00 , C25C5/02 , H01M10/40 , B01J37/34 , B01J37/06 , B22F1/00 , C01G1/02 , C01B31/04 , C25D5/48 , C25D5/54
CPC分类号： H01M8/1011 , B22F7/002 , B22F9/24 , B22F2998/10 , C25D5/48 , C25D5/54 , H01G11/26 , H01G11/36 , H01G11/46 , H01G11/86 , H01M4/131 , H01M4/133 , H01M4/8605 , H01M4/90 , H01M4/92 , H01M10/052 , H01M10/0525 , H01M2004/021 , Y02E60/13 , Y02E60/523 , B22F1/0003 , C25D5/00 , C23F1/00
摘要： 本发明提供了一种材料制备方法，该方法包括步骤：a)取含有第一金属的化合物或第一金属合金的化合物的第一材料；b)将所述第一材料插到电化学电池中作为第一电极，所述电化学电池包括第二电极和电解液，所述第二电极包括不同于第一材料中结合的金属的第二金属，所述电解液适于通过外部电路中的电流流动将第二金属输送到第一电极并将其插入到第一材料中，从而在第一电极材料中形成第二金属的化合物，该方法的特征在于下述步骤：在第二金属的化合物形成之后通过处理第一电极材料来化学地移除至少部分第二金属的化合物以剩下具有纳米多孔结构的材料。
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公开(公告)号：CN101297396A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200680040225.3
申请日：2006-10-27
申请人： 关东化学株式会社
发明人： 高桥秀树
IPC分类号： H01L21/306 , C23F1/40
CPC分类号： C23F1/40 , C09K13/00 , C23F1/00 , H01L21/32134
摘要： 本发明的蚀刻液是对钯和金共存的材料进行蚀刻的碘系蚀刻液，其含有选自含氮五元环化合物、醇化合物、酰胺化合物、酮化合物、硫氰酸化合物、胺化合物和酰亚胺化合物中的至少一种添加剂，对钯和金的蚀刻速率之比(对钯的蚀刻速率/对金的蚀刻速率)为1以上。
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公开(公告)号：CN101023508A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580027935.8
申请日：2005-06-17
申请人： 点35微结构有限公司
CPC分类号： H01L21/67069 , B01D7/00 , C23F1/00 , C23F1/12 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01L21/67017
摘要： 一种提供用于蚀刻位于处理室内的一个或多个微结构的蚀刻气体源的设备和方法。该设备具有连接到气体源的气体源供应线和用于容纳蚀刻材料的一个或多个室。在应用中，在一个或多个室内将蚀刻材料转换为蚀刻材料蒸气，并且气体供应线向蚀刻材料蒸气提供载气的供应并还将由载气传送的蚀刻材料蒸气提供给处理室。有利的是，本发明的设备不需要为了获得连续的蚀刻气体流而包括任何膨胀室或其它复杂的机械部件。
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公开(公告)号：CN1681968A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN03821361.3
申请日：2003-09-09
申请人： 株式会社开滋
发明人： 菅谷哲一
CPC分类号： C23C22/08 , C23F1/00 , E03B7/006 , Y10T428/12771 , Y10T428/12903 , Y10T428/1291
摘要： 本发明提供一种防止镍洗脱的技术，该技术包括可靠地除去附着在管路器件内表面上的镍，实施对除去铅和镍中的一种或两种有效(处理温度、处理时间等)的处理，对在防止洗脱的处理中使用的各种流体进行中和处理，借此使该流体可用作工业用水，能够大幅度地降低成本和允许充分关注对环境的影响。一种防止从包括阀门和管接头的由铜合金制造的管路器件上洗脱铅和镍的方法包括，在能够有效地除去铅和镍中的一种或两种的温度和时间条件下，用在其中加入了硝酸和作为抑制剂的盐酸的清洗流体洗涤含有铅和镍中的一种或两种的铜合金制造的管路器件的至少接触液体部分，借此对该接触液体部分的表面进行脱铅处理和除镍处理中的至少一项处理，使盐酸在该接触液体部分的表面上形成涂膜，以在此涂层存在下，有效地防止从该接触液体部分上洗脱铅和镍中的一种或两种。
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