公开(公告)号：CN117897035A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202311695566.6

申请日：2023-12-11

申请人： 上海新硅聚合半导体有限公司

发明人： 欧欣 ,  柯新建 ,  黄凯

IPC分类号： H10N30/00 ,  H10N30/072 ,  H10N30/074 ,  H10N30/80 ,  H10N30/87 ,  H03H9/02 ,  H03H9/17

摘要： 本申请涉及一种压电异质衬底结构、制备方法及声波器件，该压电异质衬底结构包括功能衬底层和设置在功能衬底层上的压电复合层；压电复合层包括沿远离功能衬底层的方向上依次设置的介质层、界面层和压电薄膜层，界面层存在预设元素分布，其中，预设元素的浓度大于预设阈值，界面层用于对叉指电极所激发的体声波进行散射处理，利用本申请提供的技术方案可以减少对体声波的反射，进而可避免由于体声波的反射而对声表面波进行干扰的情况发生，从而可提高声波器件的性能。

公开(公告)号：CN112585870B

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN201980054142.7

申请日：2019-08-28

申请人： 株式会社村田制作所

发明人： 后藤雄一 ,  河合良太

IPC分类号： H03H9/02 ,  H10N30/87 ,  H10N30/20 ,  H10N30/30 ,  H10N30/853 ,  H10N30/06 ,  H03H9/24

摘要： 本发明提供一种谐振装置，能够抑制电容的不平衡。谐振装置(1)具备：谐振器(10)，其包含上部电极(125A～125D)、下部电极(129)、以及形成在上部电极(125A～125D)与下部电极(129)之间的压电薄膜(F3)；上盖(30)，其设置为第一面与谐振器(10)的上部电极(125A～125D)对置；电源端子(ST1)，其设置于上述基板的第二面，与上部电极(125B、125C)电连接；电源端子(ST2)，其设置于上盖(30)的第二面，与上部电极(125A、125D)电连接；以及接地端子(GT)，其设置于上盖(30)的第二面，与下部电极(129)电连接，电源端子(ST1)的面积与电源端子(ST2)的面积不同，以便在电源端子(ST1)与接地端子(GT)之间产生的电容与在电源端子(ST2)与接地端子(GT)之间产生的电容近似。

公开(公告)号：CN111557076B

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN201980007145.5

申请日：2019-01-18

申请人： 株式会社大真空

发明人： 幸田直树

IPC分类号： H03H9/56 ,  H10N30/87 ,  H10N30/88 ,  H10N30/20 ,  H03H9/58

摘要： 在收纳有两个压电滤波器元件的封装体的内面，形成有与各压电滤波器元件的各压电基板的输入电极及输出电极这两个电极对置的屏蔽电极，将压电基板的两个电极与封装体的内面的屏蔽电极之间的对置间隙设为100μm以上。

公开(公告)号：CN117813275A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202280055766.2

申请日：2022-05-24

申请人： 日本特殊陶业株式会社

发明人： 广瀬吉进 ,  小林亮介 ,  笠岛崇 ,  山崎正人

IPC分类号： C04B35/495 ,  C01G33/00 ,  C01G45/00 ,  H10N30/87 ,  H10N30/853 ,  H10N30/06

摘要： 无铅压电陶瓷组合物包含：由组成式(A1aM1b)c(Nbd1，Mnd2，M2d3)O3+e(其中，元素A1为碱金属中的至少1种，元素M1为Ba、Ca、Sr中的至少1种，元素M2为Ti、Zr中的至少1种，为0 1.0。

公开(公告)号：CN117769345A

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202311797283.2

申请日：2023-12-25

申请人： 北京信息科技大学

发明人： 王宏伟 ,  兰宇丹 ,  夏丽莉 ,  于肇贤

IPC分类号： H10N30/30 ,  H10N30/87 ,  H10N30/88 ,  H10N30/06

摘要： 本发明公开了一种高接收灵敏度压电复合材料结构及其制备工艺，涉及压电材料和换能器技术领域，包括由若干阵列分布的压电柱组成的压电柱阵列，压电柱阵列内填充有聚合物，若干压电柱依次串联，压电柱阵列设置有输出电极。制备工艺具体步骤：步骤S1：制备带有基底的压电柱阵列；步骤S2：填充聚合物和串联压电柱。采用上述一种高接收灵敏度压电复合材料结构及其制备工艺，能够提高压电材料结构受压力后的输出电压，从而提高压电材料结构的接收灵敏度。

公开(公告)号：CN114034377B

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202111140667.8

申请日：2021-09-28

申请人： 青岛国数信息科技有限公司 ,  青岛国数微电子有限公司

发明人： 杨华 ,  王晓波 ,  张浩

IPC分类号： G01H11/08 ,  H10N30/87 ,  H10N30/30

摘要： 本发明公开了一种双层AIN压电薄膜水听器芯片单元，其包括由下向上依次设置的SOI基片、第一AIN压电层、第一电极层、隔离层、第二AIN压电层以及第二电极层；第一电极层与第一AIN压电层的外缘轮廓的形状和大小均相同；第一电极层包括第一正电极和第一负电极；第一正电极设置于第一电极层的中心区域且呈圆形；第一负电极设置于第一电极层的外侧边缘区域且呈环形；第二电极层与第二AIN压电层的外缘轮廓的形状和大小均相同；第二电极层包括第二正电极和第二负电极；第二正电极设置于第二电极层的中心区域且呈圆形；第二负电极设置于第二电极层的外侧边缘区域且呈环形。本发明利于提高压电效率以及压电电荷的采集效率，从而提高水听器芯片的灵敏度。

公开(公告)号：CN112563404B

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202011329094.9

申请日：2020-11-24

申请人： 海鹰企业集团有限责任公司

发明人： 黄水兵 ,  李勤博 ,  沈莉 ,  赵蔚彬 ,  陈佳运

IPC分类号： H10N30/87 ,  H10N30/30 ,  G10K9/122

公开(公告)号：CN117642052A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311684104.4

申请日：2023-12-08

申请人： 瑞声开泰声学科技(上海)有限公司

发明人： 束成祥

IPC分类号： H10N30/80 ,  H10N30/87 ,  H10N30/20 ,  H10N30/30 ,  H03K17/96

摘要： 本发明提供了一种压电换能器，其包括呈片状的压电陶瓷、分别设置于所述压电陶瓷相对两侧的上弹片和下弹片；所述上弹片的两端分别固定于所述压电陶瓷的上表面，且所述上弹片至少部分与所述压电陶瓷间隔；所述下弹片的两端分别固定于所述压电陶瓷的下表面，且所述下弹片至少部分与所述压电陶瓷间隔；所述压电换能器还包括分别固定于所述上弹片和所述下弹片的多个电阻层，多个所述电阻层相互电连接以形成桥式结构。与相关技术相比，本发明的压电换能器可以通过电阻变化识别出压力感应按键受到的外力，实现压力变化检测。

公开(公告)号：CN117597010A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202311373036.X

申请日：2023-10-23

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 张甲 ,  李宇阳 ,  陈佳泰 ,  李星奇

IPC分类号： H10N30/87 ,  H10N30/853 ,  H10N30/097 ,  G01D5/48

摘要： 本发明提出了一种超声驱动液态金属作为导电材料的柔性超声传感器制备方法，首先使用超声泵入的方式在预埋铜线的流入道内泵入液态金属；在真空氛围中，通过装夹装置使得经过氧气等离子体处理的封装薄膜缓慢降落于之前得到的材料；再将得到的材料和液态金属电极底板夹住压电有机聚合物，并通过定位板使得压电有机聚合物位于中心位置，再将柔性封装层于真空氛围下粘贴在整体器件下方；最后在缓慢升温后使用600‑720瓦的功率超声对上下两层液态金属电极完成烧结，以确保其电气连通性，完成柔性超声传感器的制备。

公开(公告)号：CN117500357A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311537546.6

申请日：2023-11-17

申请人： 山东建筑大学

发明人： 曹鹏 ,  石磊 ,  王雪 ,  房俊炎 ,  王元昊 ,  王建鹏

IPC分类号： H10N30/06 ,  H10N30/87 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0224 ,  C23C14/18 ,  C23C14/30 ,  C23C14/02 ,  C23C14/04

摘要： 一种用于铌酸锂晶体表面周期性电极制备方法，在外加电场极化时，周期性电极的质量决定了极化时反转畴的质量，进而影响制备的铌酸锂器件的性能。选用1mm厚z切3英寸铌酸锂晶圆，在其+z面上旋涂光刻胶，经烘烤光刻显影后沉积一层铝层形成复合晶圆结构，经丙酮和乙醇混合液剥离后形成周期性电极结构。光刻胶的厚度控制在500‑600nm；使用物理气相沉积技术在铌酸锂晶圆+z面上沉积多孔铝层，铝电极宽度为9μm，电极孔径为3μm，电极厚度为180‑200nm；剥离过程中，1:1丙酮与乙醇混合液，60‑70℃剥离温度，超声时间30min，得到的均匀的周期性电极结构。本发明提供的周期性电极制作方法，工艺简单不损伤衬底，使得电极结构均匀分布、易于畴结构成核生长。