公开(公告)号：CN101385396A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200780005507.4

申请日：2007-02-13

申请人： 东京毅力科创株式会社 ,  国立大学法人东北大学

发明人： 茂山和基 ,  八木靖司 ,  渡边伸吾 ,  河村忠一 ,  吉野公彦 ,  大见忠弘

IPC分类号： H05B33/26 ,  C23C14/06 ,  C23C14/22 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/24

CPC分类号： H05B33/26 ,  H01L51/5221 ,  H05B33/22

摘要： 本发明提供发光元件、发光元件的制造方法和基板处理装置，该发光元件包括：第一电极；与上述第一电极相对的第二电极；和包括形成在上述第一电极与上述第二电极之间的发光层的有机层，其特征在于：上述第二电极包括形成在上述有机层上的保护该有机层的导电性的保护层、和形成在该保护层上的导电性的主电极层。

公开(公告)号：CN102597587A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080050629.7

申请日：2010-10-29

申请人： 株式会社富士金 ,  东京毅力科创株式会社 ,  国立大学法人东北大学

发明人： 池田信一 ,  山路道雄 ,  谷川毅 ,  金子裕是 ,  八木靖司 ,  小野裕司 ,  大见忠弘 ,  白井泰雪

IPC分类号： F16K31/126 ,  F16K1/34 ,  F16K51/02

CPC分类号： F16K31/126 ,  F16K1/34 ,  F16K25/005 ,  Y10T137/776

摘要： 本发明提供一种提高阀的开关精度的调整阀装置。调整阀装置（300）包括：具有阀体头部（310a）的阀体（310）；向阀体传递动力的动力传递部件（320a）；以能够滑动的方式内置阀体的阀箱（305）；第一波纹管（320b），相对于动力传递部件在与阀体相反一侧的位置形成第一空间（Us）；第二波纹管（320c），相对于动力传递部件在阀体一侧的位置形成第二空间（Ls）；与第一空间连通的第一配管（320d）；和与第二空间连通的第二配管（320e）。根据从供给第一空间和供给第二空间的工作流体的压力比率，从动力传递部件向阀体传递动力，由此，通过阀体头部开关形成于阀箱中的搬送路径。阀体头部的维氏硬度比阀体头部所接触的搬送路径的阀座面的维氏硬度硬，其硬度差大概是200～300Hv。

公开(公告)号：CN101467493A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200780021797.1

申请日：2007-06-13

申请人： 东京毅力科创株式会社 ,  国立大学法人东北大学

发明人： 八木靖司 ,  渡边伸吾 ,  野沢俊久 ,  河村忠一 ,  吉野公彦 ,  大见忠弘

IPC分类号： H05B33/10 ,  H01L51/50

CPC分类号： H01L51/001 ,  C23C14/12 ,  C23C14/28 ,  H01L51/56

摘要： 公开了一种发光元件的制造装置，其特征在于：具有进行衬底处理的多个处理室，该衬底处理用于在被处理衬底上形成具有包含有机层的多个层的发光元件；多个处理室分别构成为：以被处理衬底的形成发光元件的元件形成面朝向与重力方向相反的方向的方式，进行被处理衬底的衬底处理。

公开(公告)号：CN1494736A

公开(公告)日：2004-05-05

申请号：CN02805687.6

申请日：2002-11-06

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 八木靖司 ,  青木一二 ,  牛岛满

IPC分类号： H01L21/3063 ,  C25F3/12 ,  C25F7/00

CPC分类号： C25D11/02 ,  C25D11/005 ,  H01L21/3063 ,  H01L21/67115

摘要： 本发明提供一种阳极氧化装置及阳极氧化方法，对被处理基板的被处理部的光照射均匀，由此在被处理基板面内能进行更均匀的阳极氧化处理。其具备：放射光的灯；设置于放射的光到达的位置上、可以保持被处理基板的被处理基板保持部；设置于放射的光到达被处理基板的途中、具有用于使光通过的开口部并具有不透过光的导体部的阴极电极；使阴极电极、上述灯或被处理基板保持部的空间位置周期振动的振动机构。维持灯、阴极电极、保持被处理基板的被处理基板保持部的这三者的大概位置关系，使其中的至少一个的空间位置周期地振动，由此，阴极电极的影子在被处理基板上随时间的推移而分散。

公开(公告)号：CN1225011C

公开(公告)日：2005-10-26

申请号：CN02805687.6

申请日：2002-11-06

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 八木靖司 ,  青木一二 ,  牛岛满

IPC分类号： H01L21/3063 ,  C25F3/12 ,  C25F7/00

CPC分类号： C25D11/02 ,  C25D11/005 ,  H01L21/3063 ,  H01L21/67115

摘要： 本发明提供一种阳极氧化装置及阳极氧化方法，对被处理基板的被处理部的光照射均匀，由此在被处理基板面内能进行更均匀的阳极氧化处理。其具备：放射光的灯；设置于放射的光到达的位置上、可以保持被处理基板的被处理基板保持部；设置于放射的光到达被处理基板的途中、具有用于使光通过的开口部并具有不透过光的导体部的阴极电极；使阴极电极、上述灯或被处理基板保持部的空间位置周期振动的振动机构。维持灯、阴极电极、保持被处理基板的被处理基板保持部的这三者的大概位置关系，使其中的至少一个的空间位置周期地振动，由此，阴极电极的影子在被处理基板上随时间的推移而分散。

公开(公告)号：CN1783390A

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN200510126030.8

申请日：2003-01-21

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 八木靖司 ,  青木一二 ,  牛岛满

IPC分类号： H01J9/02 ,  C25F3/12

CPC分类号： C25D11/02 ,  C25D11/005 ,  C25D11/32 ,  C25D17/005 ,  Y10S204/07

摘要： 本发明涉及阳极生成装置和阳极生成方法。它将被处理基板作为阳极，向其照射光线而进行电化学处理，使得在该阳极生成装置和阳极生成方法中，可利用更小型的结构要件处理大型的被处理基板。利用多个接触部件，使接触部件与被处理基板形成电接触，或者利用接触部件的移动改变位置。被处理基板的被处理部分的每一部分的导电层分别与多个接触部件的接触部分形成连接，由此开始制造。利用该被处理基板和接触部件的组合，由切换开关实现只与一部分接触部件形成通电，或者，利用接触部件的移动，对被处理基板的一部分导电层形成向接触部件的通电，使得处理所需的电流值，获得仅与被处理部分的一部分相对应的量。

公开(公告)号：CN1279218C

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：CN03800238.8

申请日：2003-01-21

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 八木靖司 ,  青木一二 ,  牛岛满

IPC分类号： C25D17/00 ,  H01L21/304

CPC分类号： C25D11/02 ,  C25D11/005 ,  C25D11/32 ,  C25D17/005 ,  Y10S204/07

摘要： 本发明涉及阳极生成装置和阳极生成方法。它将被处理基板作为阳极，向其照射光线而进行电化学处理，使得在该阳极生成装置和阳极生成方法中，可利用更小型的结构要件处理大型的被处理基板。利用多个接触部件，使接触部件与被处理基板形成电接触，或者利用接触部件的移动改变位置。被处理基板的被处理部分的每一部分的导电层分别与多个接触部件的接触部分形成连接，由此开始制造。利用该被处理基板和接触部件的组合，由切换开关实现只与一部分接触部件形成通电，或者，利用接触部件的移动，对被处理基板的一部分导电层形成向接触部件的通电，使得处理所需的电流值，获得仅与被处理部分的一部分相对应的量。

公开(公告)号：CN102202992A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200980143494.6

申请日：2009-11-11

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 松林信次 ,  川上聪 ,  户部康弘 ,  西村优 ,  八木靖司 ,  林辉幸 ,  小野裕司 ,  下茂文夫

IPC分类号： B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC分类号： H01L51/56 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6723

摘要： 本发明提供一种能够扩展与传输模块侧面相连接的各种处理装置之间的间隔，维护性优良，可以避免生产能力的恶化，确保充分的生产效率的基板处理系统。基板处理系统在基板上沉积例如包含有机层的多个层来制造有机EL元件，由可抽真空的一个或两个以上的传输模块构成直线状的搬送路径，在传输模块的内部沿着搬送路径相互串联配置有：将基板相对于处理装置搬入搬出的多个搬入搬出区域，和配置在它们之间的一个或两个以上贮存区域，在传输模块的侧面且与搬入搬出区域对置的位置连接有处理装置。

公开(公告)号：CN1509350A

公开(公告)日：2004-06-30

申请号：CN03800238.8

申请日：2003-01-21

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 八木靖司 ,  青木一二 ,  牛岛满

IPC分类号： C25D17/00 ,  H01L21/304

CPC分类号： C25D11/02 ,  C25D11/005 ,  C25D11/32 ,  C25D17/005 ,  Y10S204/07

摘要： 本发明涉及阳极生成装置和阳极生成方法。它将被处理基板作为阳极，向其照射光线而进行电化学处理，使得在该阳极生成装置和阳极生成方法中，可利用更小型的结构要件处理大型的被处理基板。利用多个接触部件，使接触部件与被处理基板形成电接触，或者利用接触部件的移动改变位置。被处理基板的被处理部分的每一部分的导电层分别与多个接触部件的接触部分形成连接，由此开始制造。利用该被处理基板和接触部件的组合，由切换开关实现只与一部分接触部件形成通电，或者，利用接触部件的移动，对被处理基板的一部分导电层形成向接触部件的通电，使得处理所需的电流值，获得仅与被处理部分的一部分相对应的量。

公开(公告)号：CN102365484A

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201080012496.4

申请日：2010-03-08

申请人： 株式会社富士金 ,  国立大学法人东北大学

发明人： 池田信一 ,  山路道雄 ,  谷川毅 ,  金子裕是 ,  八木靖司 ,  小野裕司 ,  大见忠弘 ,  白井泰雪

IPC分类号： F16K31/122 ,  F16K1/36 ,  F16K1/42 ,  F16K51/02 ,  H01L21/205

CPC分类号： F16K31/126 ,  F16K31/1268 ,  F16K41/10

摘要： 本发明提供一种利用工作流体开闭阀芯的调整阀装置。阀芯(310)具有利用阀杆(310c)连结阀芯头部(310a)和阀芯身部(310b)而成的构造。阀体(305)内置有能滑动的阀芯(310)和动力传递构件(320a)。通过将第一波纹管(320b)固定安装于动力传递构件(320a)和阀体(305)，相对于动力传递构件(320a)来说在与阀芯相反一侧的位置形成第一空间(Us)。通过将第二波纹管(320c)固定安装于动力传递构件(320a)和阀体(305)，相对于动力传递构件(320a)来说在靠阀芯一侧的位置形成第二空间(Ls)。根据自第一配管(320d)供给到第一空间(Us)内的空气与自第二配管(320e)供给到第二空间(Ls)内的空气间的比率，自动力传递构件(320a)将动力传递给阀芯头部(310a)，开闭输送通路(200a)。