一种蒸镀坩埚及蒸镀系统

    公开(公告)号:CN114481038B

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202210168538.8

    申请日:2022-02-23

    摘要: 一种蒸镀坩埚和蒸镀系统。所述蒸镀坩埚包括:坩埚本体,包括底壁和所述侧壁围成的具有开口的容纳腔;设置在所述容纳腔内的网板组件,所述网板组件包括第一网板和第二网板,二者之间具有避让间隙,所述第一网板设置有至少一个第一网孔;所述第二网板包括开口部,所述开口部设置有至少一个第二网孔,在垂直于所述底壁的平面上,所述开口部的截面包括至少一个开口朝向所述底壁或者背离所述底壁的开口单元,所述开口单元为V形或者梯形;喷嘴,设置在所述容纳腔的开口处,所述喷嘴开设有喷气孔。本公开实施例中,通过增加梯形或V形开口的网板,使得气流通过两层网板之间的气孔通道产生类似涡流效应,从而减少喷溅,避免暗点不良和损坏掩膜版等。

    一种液体检漏装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109764247A

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201910245737.2

    申请日:2019-03-28

    IPC分类号: F17D5/02

    摘要: 本发明提供了一种液体检漏装置,涉及检漏技术领域。其中,液体检漏装置包括柔性基板和处理模块;柔性基板上设置有多个分立的电极;处理模块与电极电连接;处理模块用于监测柔性基板上各个电极的电阻值,当检测到目标电极从第一电阻值变为第二电阻值时,确定出现漏液情况,根据目标电极的目标位置和/或第二电阻值,确定漏液液滴的物理参量,根据物理参量,确定漏液液滴的液体种类。本发明中,处理模块可以监测柔性基板上的电极电阻值,当目标电极的电阻值发生变化时,确定出现漏液,进而可根据目标电极的目标位置和/或变化后的电阻值,确定漏液液滴的物理参量,并根据该物理参量及时判断出漏液种类,从而提高了对不同液体种类的漏液检测效率。