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公开(公告)号：CN105655294B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201610025512.2
申请日：2016-01-14
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种阵列基板的制造方法、阵列基板和显示装置，属于显示技术领域。所述方法包括：在衬底基板上依次形成半导体层和导电氧化物层；在衬底基板上形成导电氧化物层图案和半导体层图案；对形成有导电氧化物层和半导体层图案的衬底基板进行退火处理；在形成有退火处理后的导电氧化物层图案的衬底基板上形成源极和漏极；去除源极和漏极之间的导电氧化物层图案。本发明通过在半导体层和导电氧化物层上形成导电氧化物层图案和半导体层图案，之后对导电氧化物层图案进行退火以提高该层的抗刻蚀能力，解决了相关技术中制作工序复杂的问题。
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公开(公告)号：CN105428245B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610052345.0
申请日：2016-01-26
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/336 , H01L29/786 , H01L29/423 , H01L27/12 , H01L27/32 , G02F1/1362
摘要： 本发明属于显示技术领域，涉及像素结构及其制备方法、阵列基板和显示装置。该像素结构的制备方法包括形成绝缘层以及形成嵌于所述绝缘层的内部的金属层的步骤，包括：形成透明介质层，并采用背曝光工艺和剥离工艺对所述透明介质层进行处理，形成包括所述绝缘层的图形以及嵌于所述绝缘层的内部的所述金属层的图形；所述绝缘层中开设有用于嵌入所述金属层的槽孔，所述槽孔的形状与所述金属层的形状相适，且所述槽孔的面积等于所述金属层的面积、所述槽孔的深度等于所述金属层的厚度。该像素结构的制备方法结合了背曝光工艺和剥离工艺，能有效避免形成绝缘层以及形成嵌于绝缘层的内部的金属层时二者之间的段差，而且工艺简单，能有效提高生产效率。
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公开(公告)号：CN106783688A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611239456.9
申请日：2016-12-28
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种剥离装置及其剥离方法，用于将柔性基板从衬底上剥离，包括：激光发射器和卷揭轮；卷揭轮具有滚锟和位于滚锟上的多个吸盘；激光发射器，用于在柔性基板的边缘区域向柔性基板与衬底的界面处发射激光；卷揭轮，用于采用吸盘吸附柔性基板，并利用滚锟的滚动，将整个柔性基板卷起。本发明实施例提供的上述剥离装置可以避免激光整体剥离技术对柔性基板造成的变形、损伤有源层等不利影响，保证柔性基板在剥离过程中不变形、无损伤。
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公开(公告)号：CN106773205A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611220093.4
申请日：2016-12-26
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： G02F1/1333
摘要： 一种显示面板及其制作方法以及显示装置。该显示面板包括相对间隔设置的阵列基板和对置基板；阵列基板包括第一衬底基板以及设置在第一衬底基板上的源极、漏极、有源层以及设置在源极、漏极和有源层上的钝化层；对置基板包括第二衬底基板和设置在第二衬底基板上的栅极；有源层包括源极区域、漏极区域以及源极区域和漏极区域之间的沟道区，栅极与沟道区所在位置处的钝化层相对间隔设置。由此，该显示面板可用于形成曲面显示面板，并具有较高的良率和品质。
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公开(公告)号：CN105428245A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201610052345.0
申请日：2016-01-26
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/336 , H01L29/786 , H01L29/423 , H01L27/12 , H01L27/32 , G02F1/1362
CPC分类号： G02F1/1368 , H01L21/0274 , H01L21/28 , H01L21/31144 , H01L21/768 , H01L21/84 , H01L27/1214 , H01L29/49 , H01L29/786 , H01L29/66742 , G02F1/1362 , H01L27/12 , H01L27/32 , H01L29/42364 , H01L29/42384
摘要： 本发明属于显示技术领域，涉及像素结构及其制备方法、阵列基板和显示装置。该像素结构的制备方法包括形成绝缘层以及形成嵌于所述绝缘层的内部的金属层的步骤，包括：形成透明介质层，并采用背曝光工艺和剥离工艺对所述透明介质层进行处理，形成包括所述绝缘层的图形以及嵌于所述绝缘层的内部的所述金属层的图形；所述绝缘层中开设有用于嵌入所述金属层的槽孔，所述槽孔的形状与所述金属层的形状相适，且所述槽孔的面积等于所述金属层的面积、所述槽孔的深度等于所述金属层的厚度。该像素结构的制备方法结合了背曝光工艺和剥离工艺，能有效避免形成绝缘层以及形成嵌于绝缘层的内部的金属层时二者之间的段差，而且工艺简单，能有效提高生产效率。
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公开(公告)号：CN104714376A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201510154683.0
申请日：2015-04-02
申请人： 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号： G03F7/30
摘要： 本发明公开了一种显影设备及显影方法，所述显影设备的显影区设置有信号处理系统、移动风干系统以及多个传感器，所述显影设备中的信号处理系统能够根据多个传感器生成的与正在显影的基板相关的位置感应信息，确定所述基板是否在显影区停留，并在确定所述基板在显影区停留且确定所述基板的显影时长到达设定的显影时长时，控制移动风干系统对所述基板上的显影液进行去除，从而避免了由于基板在显影单元出现停留而导致的基板上的光刻胶过度显影的问题，提高了基板产品质量、缩短了工艺周期。
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公开(公告)号：CN109727973B
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201910002207.5
申请日：2019-01-02
申请人： 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号： H01L27/02
摘要： 本发明提供一种阵列基板的制备方法、阵列基板，属于显示技术领域。本发明的阵列基板的制备方法包括：在基底上形成多层导电层；其中，形成每层所述导电层的步骤包括：通过构图工艺形成包括导电图案和防静电图案的图形，所述导电图案与所述防静电图案电连接；不同层中的所述防静电图案电连接。
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公开(公告)号：CN106773205B
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201611220093.4
申请日：2016-12-26
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： G02F1/1333
摘要： 一种显示面板及其制作方法以及显示装置。该显示面板包括相对间隔设置的阵列基板和对置基板；阵列基板包括第一衬底基板以及设置在第一衬底基板上的源极、漏极、有源层以及设置在源极、漏极和有源层上的钝化层；对置基板包括第二衬底基板和设置在第二衬底基板上的栅极；有源层包括源极区域、漏极区域以及源极区域和漏极区域之间的沟道区，栅极与沟道区所在位置处的钝化层相对间隔设置。由此，该显示面板可用于形成曲面显示面板，并具有较高的良率和品质。
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公开(公告)号：CN105467668A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201610069573.9
申请日：2016-02-01
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： G02F1/1335 , G02F1/1333 , G02F1/1343 , G06F3/041
CPC分类号： G02B5/201 , G02F1/133345 , G02F1/13338 , G02F1/133512 , G02F1/133514 , G02F1/13394 , G02F1/1341 , G02F1/134336 , G02F1/167 , G02F2201/123 , G02F2203/04 , G06F3/0412 , G06F3/0416 , G06F3/044 , G06F2203/04103 , G06F2203/04111 , H01L27/322 , H01L27/323 , H01L51/5284 , G02F1/133516 , G02F1/134309 , G06F3/041
摘要： 本发明提供一种彩膜基板的制备方法、彩膜基板及显示装置，属于显示技术领域，其可解决现有的触摸屏制备工艺复杂的问题。本发明的彩膜基板的制备方法，包括：在基底上，通过构图工艺形成包括多个第一电极块、多个第二电极块，以及将两相邻第一电极块连接的连接部的图形；通过构图工艺，在各个所述连接部上方形成层间绝缘层的图形，与此同时还形成至少一种颜色的彩色滤光片；其中，所述层间绝缘层与所形成的彩色滤光片断开设置，且断开位置裸露出所述第二电极块；通过构图工艺形成，包括将两相邻第二电极块桥接的桥接部的图形。
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公开(公告)号：CN105047609B
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201510537061.6
申请日：2015-08-27
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/77 , H01L27/32 , G09G3/3208
摘要： 本发明涉及一种有机发光二极管阵列基板及其制备方法、触控显示装置，该阵列基板包括：第一金属层图案、透明导电层图案和绝缘层图案，第一金属层图案包括金属桥线，透明导电层图案包括阳极、多个沿第一方向延伸的第一电极和多个沿第二方向延伸的第二电极，每个第一电极包括多个第一子电极，每个第一电极中的每个所述第一子电极与对应的一条所述金属桥线电连接。该阵列基板通过将第一电极和第二电极与有机发光二极管的阳极形成在同一层，通过金属桥线将多个第一子电极电连接形成第一电极，由第一电极构成的触控感应线和第二电极构成的触控驱动线，实现了触控传感器的功能，可以应用于不同封装工艺的AMOLED显示器中。
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