III族氮化物结晶的制造方法

    公开(公告)号:CN110468455A

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201910386973.6

    申请日:2019-05-09

    Abstract: 本发明提供一种结晶中的氧杂质少的III族氮化物结晶的制造方法。本发明的III族氮化物结晶的制造方法是使用容纳碱金属、含III族元素的原料、种基板(11)的坩埚;容纳坩埚的反应容器;容纳反应容器(15)的压力容器;将含氮元素气体和/或氩气导入至压力容器的气体供给管;将压力容器密封的盖;将反应容器加热的加热器;用于将加热器和反应容器绝缘的绝缘材料;防止反应容器内的热泄露的绝热材料来制造III族氮化物结晶的方法,具有以下工序:将盖与所述压力容器分离,将反应容器容纳于压力容器内,用盖将压力容器密封后,将氩气填充于压力容器内的工序;将氩气加热并保持的工序;将经加热的氩气从压力容器排出的工序;和将含氮元素气体导入压力容器内,使碱金属与含III族元素的原料发生反应从而使III族氮化物结晶在种基板上生长的工序。

    III族氮化物结晶的制造方法

    公开(公告)号:CN110219047A

    公开(公告)日:2019-09-10

    申请号:CN201910135561.5

    申请日:2019-02-21

    Abstract: 本发明提供一种表面平坦、高品质且大尺寸的III族氮化物结晶的制造方法,其包括:在基板上准备作为种晶的多个III族氮化物的种晶准备工序;以及,通过在包含氮气的气氛下使种晶的表面接触包含碱金属和选自镓、铝和铟中的至少1种III族元素的熔液,从而使上述III族元素与上述氮在熔液中发生反应,使III族氮化物结晶生长的结晶生长工序,结晶生长工序包括:由多个种晶分别生长截面为三角形或梯形的多个第一III族氮化物结晶的第一结晶生长工序;使第二III族氮化物结晶在多个第一III族氮化物结晶的间隙中生长的第二结晶生长工序。

    III族氮化物基板和III族氮化物结晶的制造方法

    公开(公告)号:CN110714190A

    公开(公告)日:2020-01-21

    申请号:CN201910617944.6

    申请日:2019-07-09

    Abstract: 本发明提供一种低电阻且可控制晶格常数的III族氮化物基板。III族氮化物基板具有III族氮化物的基材部,所述III族氮化物的基材部具有表面、背面、和在表面与背面之间的内层,基材部的表面的碳浓度比内层的碳浓度高。III族氮化物结晶的制造方法中,从III族氮化物结晶的生长初期至生长中期,使III族元素氧化物气体与生长后期相比高浓度地生成,并高浓度地供给至育成室,并且将含碳元素气体高浓度地供给至育成室,在III族氮化物结晶的生长后期,使III族元素氧化物气体与生长初期至生长中期相比低浓度地生成,并低浓度地供给至育成室,并且将含碳元素气体低浓度地供给至育成室。

    III族氮化物结晶的制造方法

    公开(公告)号:CN111575796A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010094897.4

    申请日:2020-02-14

    Abstract: 本发明提供一种制造高品质的III族氮化物结晶的方法。III族氮化物结晶的制造方法包括:晶种准备工序,在基板上准备多个点状的III族氮化物作为用于生长III族氮化物结晶的多个晶种;以及结晶生长工序,在包含氮的气氛下,使上述晶种的表面接触包含选自镓、铝和铟中的至少1种III族元素以及碱金属的熔液,由此使III族元素与氮在熔液中发生反应而使III族氮化物结晶生长,结晶生长工序包括:成核工序,由多个晶种形成晶核;棱锥生长工序,使棱锥形状的第一III族氮化物结晶由多个晶核生长;以及横向生长工序,使第二III族氮化物结晶以填埋多个棱锥形状的第一III族氮化物结晶的间隙而使表面平坦的方式生长。

    III族氮化物结晶的制造方法

    公开(公告)号:CN110387581A

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201910296956.3

    申请日:2019-04-12

    Abstract: 本发明提供一种得到抑制装置的腐蚀、并且抑制冷却中的由基底基板对III族氮化物单晶的应力的III族氮化物单晶的III族氮化物结晶的制造方法。一种III族氮化物结晶的制造方法,其包括:(i)准备将蓝宝石作为基底基板且在所述基底基板上设置有III族氮化物层的种基板的工序;(ii)在由钽构成的盛具中准备锂或锂化合物的工序;(iii)使用III族元素与碱金属的混合熔液,使III族氮化物结晶生长于设置于种基板的III族氮化物层的工序;和(iv)将锂或锂化合物投入混合熔液,使其与基底基板反应的工序。

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