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公开(公告)号：CN1701649B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN02829985.X
申请日：2002-12-13
申请人： 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC分类号： H01L24/12 , B23K3/0623 , H01L21/288 , H01L24/10 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L2224/05001 , H01L2224/05022 , H01L2224/05026 , H01L2224/05124 , H01L2224/05155 , H01L2224/05568 , H01L2224/05644 , H01L2224/13 , H01L2224/13099 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/0101 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H05K3/3484 , H05K2203/0425 , H05K2203/0776 , H01L2924/00 , H01L2924/00014
摘要： 本发明提供的焊料供给方法，不仅实现焊盘电极的精细间距，而且获得焊料量多而且随机误差也小的焊料凸起。首先，使表面(21)朝上将基板(20)置于液体槽(11)内的非活性液体(13)中。接着，从焊料微粒形成单元(15)将包含焊料微粒(14)的非活性液体(13)送至液体槽(11)，使焊料微粒(14)从供给管(16)下落到非活性液体(13)中的基板(20)上。焊料微粒(14)依靠重力自然下落到达基板(20)上。到达基板(20)的焊盘电极上的焊料微粒(14)，靠重力停留于该位置，经过焊料润湿融合时间的话，便在焊盘电极表面扩展而形成焊料被膜。
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公开(公告)号：CN101303989A
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200810100659.9
申请日：2005-03-29
申请人： 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC分类号： H01L2224/11 , H01L2924/014 , H01L2924/00012
摘要： 本发明涉及一种装置，其特征在于，第一点：在搭载基板或保持有基板的夹具的载置台上设有通过所述基板或所述夹具的载置而被封闭的开口部，透过该开口部将热风吹抵所述基板或所述夹具的下侧而加热，以及，第二点，加热及回流焊焊料组成物而在基板上的多个垫式电极上形成焊料隆起时，使用焊料粒子与液体材料的混合物组成的材料作为焊料组成物，该液体材料包含熔接剂成分且常温下为液态或加热而变成液态，从所述基板侧对所述焊料组成物进行加热。采用本发明可以期待如下的效果：采用第一点的结构，可以防止热风迂回不到的基板上的糊状钎焊料的氧化和粒子粘结到基板上，采用第二点的结构，使靠近垫式电极的焊料粒子率先熔化并在垫式电极上沾润蔓延，同时使远离垫式电极的上方的焊料粒子不充分熔化，减少焊料粒子合而为一的机会。
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公开(公告)号：CN1311537C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN03817991.1
申请日：2003-07-30
申请人： 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构 , 鹿野快男
CPC分类号： B23Q5/28 , B23Q1/34 , B23Q1/623 , H02K41/03 , H02K2201/18
摘要： 本发明的精密加工用载物台装置，利用台保持机构允许支承被加工物的可动台在同一面内向任意方向移动。所述可动台，利用电磁驱动装置而被赋予所述同一面内的送进。所述可动台，利用电磁制动机构而被停止在所述同一面内的任意位置上。所述电磁驱动装置，利用被驱动磁铁与驱动线圈的相互磁性作用而产生对所述可动台的送进。所述电磁制动机构具有制动用磁铁和非磁性及导电性的制动板，该制动用磁铁和该制动板的组，根据涡电流引起的磁力与该制动用磁铁的磁力的磁性作用而产生制动力，所述涡电流是随着所述可动台的移动而产生在该制动板上的。
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公开(公告)号：CN100521131C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200580009885.0
申请日：2005-03-29
申请人： 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC分类号： H01L2224/11 , H01L2924/014 , H01L2924/00012
摘要： 本发明涉及一种装置，其特征在于，第一点：在搭载基板或保持有基板的夹具的载置台上设有通过所述基板或所述夹具的载置而被封闭的开口部，透过该开口部将热风吹抵所述基板或所述夹具的下侧而加热，以及，第二点，加热及回流焊焊料组成物而在基板上的多个垫式电极上形成焊料隆起时，使用焊料粒子与液体材料的混合物组成的材料作为焊料组成物，该液体材料包含熔接剂成分且常温下为液态或加热而变成液态，从所述基板侧对所述焊料组成物进行加热。采用本发明可以期待如下的效果：采用第一点的结构，可以防止热风迂回不到的基板上的糊状钎焊料的氧化和粒子粘结到基板上，采用第二点的结构，使靠近垫式电极的焊料粒子率先熔化并在垫式电极上沾润蔓延，同时使远离垫式电极的上方的焊料粒子不充分熔化，减少焊料粒子合而为一的机会。
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公开(公告)号：CN1934690A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200580009026.1
申请日：2005-03-17
申请人： 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC分类号： H01L24/12 , B23K1/0016 , B23K1/203 , B23K35/0244 , B23K35/262 , B23K35/36 , B23K2101/40 , H01L24/11 , H01L2224/05001 , H01L2224/05022 , H01L2224/05026 , H01L2224/05124 , H01L2224/05147 , H01L2224/05155 , H01L2224/05568 , H01L2224/056 , H01L2224/131 , H01L2924/00013 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01327 , H01L2924/014 , H01L2924/10253 , H05K3/3484 , H05K3/3489 , H05K2203/0425 , H05K2203/043 , H05K2203/0776 , H01L2224/13099 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/01014 , H01L2924/013
摘要： 一种焊料组成物(10)，由液态体(12)和焊料粒子(11)的混合物组成，液态体(12)含有除去氧化膜的反应温度在所述焊料粒子的熔点附近的有机酸组成的熔接剂成分，且具有在常温下流动而在基板(20)上堆积成层状的粘性。焊料粒子(11)在液态体(12)内向焊接母材上沉淀，同时是具有可均匀分散在液态体(12)内的混合比和粒径的粒剂。通过将这样的焊料组成物在具有垫式电极(22)的基板(20)上涂布、加热，焊料粒子(11)附着在与熔接剂成分反应而被除去了表面氧化膜的垫式电极(22)上，促进形成在母材上的焊料皮膜与焊料粒子(11)的焊接，焊料粒子(11)彼此的结合被熔接剂成分的反应生成物阻碍，形成没有焊桥的焊料隆起(23)。采用本发明，可提供在基板上形成隆起时可简化涂布工序的焊料组成物。
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公开(公告)号：CN1701649A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN02829985.X
申请日：2002-12-13
申请人： 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC分类号： H01L24/12 , B23K3/0623 , H01L21/288 , H01L24/10 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L2224/05001 , H01L2224/05022 , H01L2224/05026 , H01L2224/05124 , H01L2224/05155 , H01L2224/05568 , H01L2224/05644 , H01L2224/13 , H01L2224/13099 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/0101 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H05K3/3484 , H05K2203/0425 , H05K2203/0776 , H01L2924/00 , H01L2924/00014
摘要： 本发明提供的焊料供给方法，不仅实现焊盘电极的精细间距，而且获得焊料量多而且随机误差也小的焊料凸起。首先，使表面(21)朝上将基板(20)置于液体槽(11)内的非活性液体(13)中。接着，从焊料微粒形成单元(15)将包含焊料微粒(14)的非活性液体(13)送至液体槽(11)，使焊料微粒(14)从供给管(16)下落到非活性液体(13)中的基板(20)上。焊料微粒(14)依靠重力自然下落到达基板(20)上。到达基板(20)的焊盘电极上的焊料微粒(14)，靠重力停留于该位置，经过焊料润湿融合时间的话，便在焊盘电极表面扩展而形成焊料被膜。
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公开(公告)号：CN101303989B
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200810100659.9
申请日：2005-03-29
申请人： 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC分类号： H01L2224/11 , H01L2924/014 , H01L2924/00012
摘要： 本发明涉及一种装置，其特征在于，第一点：在搭载基板或保持有基板的夹具的载置台上设有通过所述基板或所述夹具的载置而被封闭的开口部，透过该开口部将热风吹抵所述基板或所述夹具的下侧而加热，以及，第二点，加热及回流焊焊料组成物而在基板上的多个垫式电极上形成焊料隆起时，使用焊料粒子与液体材料的混合物组成的材料作为焊料组成物，该液体材料包含熔接剂成分且常温下为液态或加热而变成液态，从所述基板侧对所述焊料组成物进行加热。采用本发明可以期待如下的效果：采用第一点的结构，可以防止热风迂回不到的基板上的糊状钎焊料的氧化和粒子粘结到基板上，采用第二点的结构，使靠近垫式电极的焊料粒子率先熔化并在垫式电极上沾润蔓延，同时使远离垫式电极的上方的焊料粒子不充分熔化，减少焊料粒子合而为一的机会。
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公开(公告)号：CN100501955C
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200580009026.1
申请日：2005-03-17
申请人： 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC分类号： H01L24/12 , B23K1/0016 , B23K1/203 , B23K35/0244 , B23K35/262 , B23K35/36 , B23K2101/40 , H01L24/11 , H01L2224/05001 , H01L2224/05022 , H01L2224/05026 , H01L2224/05124 , H01L2224/05147 , H01L2224/05155 , H01L2224/05568 , H01L2224/056 , H01L2224/131 , H01L2924/00013 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01327 , H01L2924/014 , H01L2924/10253 , H05K3/3484 , H05K3/3489 , H05K2203/0425 , H05K2203/043 , H05K2203/0776 , H01L2224/13099 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/01014 , H01L2924/013
摘要： 一种焊料组成物(10)，由液态体(12)和焊料粒子(11)的混合物组成，液态体(12)含有除去氧化膜的反应温度在所述焊料粒子的熔点附近的有机酸组成的熔接剂成分，且具有在常温下流动而在基板(20)上堆积成层状的粘性。焊料粒子(11)在液态体(12)内向焊接母材上沉淀，同时是具有可均匀分散在液态体(12)内的混合比和粒径的粒剂。通过将这样的焊料组成物在具有垫式电极(22)的基板(20)上涂布、加热，焊料粒子(11)附着在与熔接剂成分反应而被除去了表面氧化膜的垫式电极(22)上，促进形成在母材上的焊料皮膜与焊料粒子(11)的焊接，焊料粒子(11)彼此的结合被熔接剂成分的反应生成物阻碍，形成没有焊桥的焊料隆起(23)。采用本发明，可提供在基板上形成隆起时可简化涂布工序的焊料组成物。
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公开(公告)号：CN1938838A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200580009885.0
申请日：2005-03-29
申请人： 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC分类号： H01L2224/11 , H01L2924/014 , H01L2924/00012
摘要： 本发明涉及一种装置，其特征在于，第一点：在搭载基板或保持有基板的夹具的载置台上设有通过所述基板或所述夹具的载置而被封闭的开口部，透过该开口部将热风吹抵所述基板或所述夹具的下侧而加热，以及，第二点，加热及回流焊焊料组成物而在基板上的多个垫式电极上形成焊料隆起时，使用焊料粒子与液体材料的混合物组成的材料作为焊料组成物，该液体材料包含熔接剂成分且常温下为液态或加热而变成液态，从所述基板侧对所述焊料组成物进行加热。采用本发明可以期待如下的效果：采用第一点的结构，可以防止热风迂回不到的基板上的糊状钎焊料的氧化和粒子粘结到基板上，采用第二点的结构，使靠近垫式电极的焊料粒子率先熔化并在垫式电极上沾润蔓延，同时使远离垫式电极的上方的焊料粒子不充分熔化，减少焊料粒子合而为一的机会。
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公开(公告)号：CN1672254A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN03817991.1
申请日：2003-07-30
申请人： 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构 , 鹿野快男
CPC分类号： B23Q5/28 , B23Q1/34 , B23Q1/623 , H02K41/03 , H02K2201/18
摘要： 本发明的精密加工用载物台装置，利用台保持机构允许支承被加工物的可动台在同一面内向任意方向移动。所述可动台，利用电磁驱动装置而被赋予所述同一面内的送进。所述可动台，利用电磁制动机构而被停止在所述同一面内的任意位置上。所述电磁驱动装置，利用被驱动磁铁与驱动线圈的相互磁性作用而产生对所述可动台的送进。所述电磁制动机构具有制动用磁铁和非磁性及导电性的制动板，该制动用磁铁和该制动板的组，根据涡电流引起的磁力与该制动用磁铁的磁力的磁性作用而产生制动力，所述涡电流是随着所述可动台的移动而产生在该制动板上的。
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