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公开(公告)号：CN104004128B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201410062164.7
申请日：2014-02-24
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC: C08F220/32 , C08F220/30 , C08F220/28 , C08F220/38 , C08F220/22 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: C08F220/10 , C08F220/30 , C08F220/32 , C08F220/36 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 本发明涉及一种光敏共聚物，包含所述光敏共聚物的光刻胶，和形成一种电子器件的方法。一种共聚物，其包含共聚单体与具有式（I）的单体的聚合产物：其中c是0、1、2、3、4或5，Ra是H、F、‑CN、C1‑10烷基或C1‑10氟烷基；Rx和Ry每个独立地是未取代的或取代的C1‑10线型或支化的烷基基团、未取代或取代的C3‑10环烷基基团、未取代或取代的C3‑10烯基烷基基团、或未取代或取代的C3‑10炔基烷基基团，其中Rx和Ry一起任选地形成环；Rz是由含有缩醛的基团或含有缩酮的基团取代的C6‑20芳基基团，或由含有缩醛的基团或含有缩酮的基团取代的C3‑C20杂芳基，其中C6‑20芳基基团或C3‑C20杂芳基可任选地被进一步取代。本发明还描述了：一种含有所述共聚物的光刻胶、具有所述光刻胶层的已涂覆的基材、和采用所述光刻胶制备电子器件的方法。
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公开(公告)号：CN103044256B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210496911.9
申请日：2012-09-24
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司 , 陶氏环球技术有限公司
CPC classification number: C07C67/29 , C07C69/76 , G03F7/0392
Abstract: 分子玻璃化合物包括式C(R1)2＝C(R2)-O-(L)n-Ar1的芳族乙烯基醚与杯[4]芳烃的乙烯基醚加合物，其中R1和R2各自独立地为单键、H、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳烷基、或C7-20卤代芳烷基，L为C1-20连接基团，n为0或1，Ar1是含卤单环、或取代的或非取代的多环或稠合多环C6-20含芳族基团的基团，其中，当R1和R2任一个或两者为单键且n为0时，R1和R2连接到Ar1。还公开了包含所述分子玻璃化合物、溶剂、以及光致酸产生剂的光致抗蚀剂，包括(a)在其表面上具有待图案化的一个层或多个层的基材，和(b)在待图案化的一个层或多个层上的光致抗蚀剂组合物层的涂覆基材。本发明还公开了形成所述分子玻璃化合物的方法。
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公开(公告)号：CN104049462A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201310757152.1
申请日：2013-11-19
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司 , 得克萨斯A&M大学系统
CPC classification number: G03F7/0382 , G03F7/0042 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/038 , G03F7/0387 , G03F7/075 , G03F7/0757 , G03F7/168
Abstract: 本发明公开了包含接枝嵌段共聚物、光酸产生剂和交联剂的组合物，上述接枝嵌段共聚物包含含有主链聚合物和第一接枝聚合物的共聚物，第一接枝聚合物包含表面能降低的部分，第一接枝聚合物接枝在主链聚合物上，其中上述表面能降低的部分包含氟原子、硅原子、或氟原子和硅原子的组合。
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公开(公告)号：CN103254346A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310048009.5
申请日：2013-02-06
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC: C08F220/10 , C08F220/22 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: G03F7/004 , C08F220/22 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 一种包含电子敏感的酸可脱保护单体如具有式(XX)的单体与共聚单体的聚合产物的共聚物：(XX)式中Ra是H,F,-CN,C1-10烷基或C1-10氟烷基；Rx和Ry各自独立地是取代或未取代的C1-10烷基或C3-10环烷基；Rz是取代或未取代的C6-20含芳族基团或C6-20含环脂族基团；其中Rx和Ry任选地一起形成环；Rx,Ry和Rz中的至少一个被卤代。还公开了一种包含所述共聚物的光致抗蚀剂和涂覆的基材，以及一种使用所述光致抗蚀剂制备电子器件的方法。
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公开(公告)号：CN102603579A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201110463334.9
申请日：2011-12-31
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司 , 陶氏环球技术有限公司
IPC: C07C309/42 , C07C309/12 , C07C303/32 , C07C381/12 , C07C25/02 , C07D333/76 , C08F220/38 , C08F220/18 , C08F220/30 , C08F220/28 , C08F212/32 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/12 , C07C309/42 , C07C381/12 , C07D333/76 , C08F220/38 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/20 , Y10S430/122 , Y10S430/123 , Y10S430/126
Abstract: 可聚合光产酸剂。一种化合物，具有结构式(I)：Q-O-(A)-Z-G+ (I)，其中Q是卤代或非卤代的含C2-30烯烃基团，A是氟代C1-30亚烷基、氟代C3-30亚环烷基、氟代C6-30亚芳基或氟代C7-30亚烷基-亚芳基，Z是包含磺酸盐、磺酰胺或磺酰亚胺的阴离子基团，以及G+具有结构式(II)：其中X是S或I，每个R0是卤代或非卤代的并独立地为C1-30烷基、多环或单环C3-30环烷基、多环或单环C4-30芳基或包含前述至少一种的组合，其中当X是S时，所述R0基团中的一个任选地通过单键与一个相邻的R0基团连接，并且a是2或3，其中当X是I时，a是2，或者当X是S时，a是3。公开了共聚物、光致抗蚀剂、涂覆的基材和图案化方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1900824B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200610101351.7
申请日：2006-07-05
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
CPC classification number: G03F7/11 , G03F7/0392 , G03F7/091
Abstract: 提供与外涂的光刻胶组合物一起使用的打底涂料组合物。一方面，所述涂料组合物可被交联并含有一种或多种含有一种或多种酸不稳定基团和/或一种或多种碱活性基团的组分，所述碱活性基团在交联之后是反应性的。另一方面，提供打底涂料组合物，该打底涂料组合物可进行处理，以得到已调节的水接触角。优选的涂料组合物可提高相关的光刻胶组合物的平版印刷性能。
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公开(公告)号：CN104678699B
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201410455403.5
申请日：2014-09-09
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司 , 得克萨斯A&M大学系统
IPC: G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , C08F293/00
Abstract: 本发明涉及自组装结构、其制备方法以及包含该结构的制品。本发明公开了一种光刻胶组合物，其含有接枝嵌段共聚物；溶剂和光致生酸剂；其中所述接枝嵌段共聚物含有第一嵌段聚合物和第二嵌段聚合物；所述第一嵌段聚合物含有主链聚合物和第一接枝聚合物；所述第一接枝聚合物含有包括卤代烃部分或含有硅的部分的表面能降低部分；所述第二嵌段聚合物与所述第一嵌段共价结合；其中所述第二嵌段含有主链聚合物和第二接枝聚合物；所述第二接枝聚合物含有用于进行脱保护反应并改变接枝嵌段共聚物的溶解性的官能团；所述接枝嵌段共聚物具有瓶刷状形态。
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公开(公告)号：CN104049462B
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201310757152.1
申请日：2013-11-19
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司 , 得克萨斯A&M大学系统
Abstract: 本发明公开了包含接枝嵌段共聚物、光酸产生剂和交联剂的组合物，上述接枝嵌段共聚物包含含有主链聚合物和第一接枝聚合物的共聚物，第一接枝聚合物包含表面能降低的部分，第一接枝聚合物接枝在主链聚合物上，其中上述表面能降低的部分包含氟原子、硅原子、或氟原子和硅原子的组合。
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公开(公告)号：CN103881111B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201310757153.6
申请日：2013-11-19
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司 , 得克萨斯A&M大学系统
CPC classification number: C08F283/14 , C08F2438/01 , C08G61/08 , C08G2261/126 , C08G2261/128 , C08G2261/135 , C08G2261/136 , C08G2261/1426 , C08G2261/145 , C08G2261/3324 , C08G2261/418 , C08G2261/74 , C08G2261/76 , C08G2261/77
Abstract: 本发明公开了包含第一嵌段聚合物和第二嵌段聚合物的接枝嵌段共聚物；上述第一嵌段聚合物包含主链聚合物和第一接枝聚合物；其中第一接枝聚合物包含表面能降低的部分；上述第二嵌段聚合物共价连接到第一嵌段；其中第二嵌段包含主链聚合物和第二接枝聚合物；其中第二接枝聚合物包含对交联所述接枝嵌段共聚物有效的官能团。
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公开(公告)号：CN104678699A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410455403.5
申请日：2014-09-09
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司 , 得克萨斯A&M大学系统
IPC: G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , C08F293/00
Abstract: 本发明涉及自组装结构、其制备方法以及包含该结构的制品。本发明公开了一种光刻胶组合物，其含有接枝嵌段共聚物；溶剂和光致生酸剂；其中所述接枝嵌段共聚物含有第一嵌段聚合物和第二嵌段聚合物；所述第一嵌段聚合物含有主链聚合物和第一接枝聚合物；所述第一接枝聚合物含有包括卤代烃部分或含有硅的部分的表面能降低部分；所述第二嵌段聚合物与所述第一嵌段共价结合；其中所述第二嵌段含有主链聚合物和第二接枝聚合物；所述第二接枝聚合物含有用于进行脱保护反应并改变接枝嵌段共聚物的溶解性的官能团；所述接枝嵌段共聚物具有瓶刷状形态。
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